В портфеле редакции
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51916 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 51. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51916 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
2013-12-15T22:52:06Z 2013-12-15T22:52:06Z 2010 В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 51. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51916 ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Библиография В портфеле редакции Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
В портфеле редакции |
| spellingShingle |
В портфеле редакции Библиография |
| title_short |
В портфеле редакции |
| title_full |
В портфеле редакции |
| title_fullStr |
В портфеле редакции |
| title_full_unstemmed |
В портфеле редакции |
| title_sort |
в портфеле редакции |
| topic |
Библиография |
| topic_facet |
Библиография |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51916 |
| citation_txt |
В портфеле редакции // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 51. — рос. |
| first_indexed |
2025-11-26T11:19:09Z |
| last_indexed |
2025-11-26T11:19:09Z |
| _version_ |
1850621533494444032 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 2
51
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
ìàãíåòðîííûé â îáëàñòè îò 10�3 äî 10�9�10�10 ìáàð.
Íåïîñðåäñòâåííî â êîðïóñå äàò÷èêà èíòåãðèðîâàíà
âñÿ íåîáõîäèìàÿ äëÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ ñèãíàëà ýëåê-
òðîíèêà, è îí èìååò, êàê ïðàâèëî, ëèíåéíûé àíàëîãî-
âûé è/èëè öèôðîâîé âûõîä, à çà÷àñòóþ è èíòåãðèðî-
âàííûé äèñïëåé. Äàííûå ïðèáîðû êîìïàêòíû è îáåñ-
ïå÷èâàþò òî÷íîñòü 15�30% îò çíà÷åíèÿ ïîêàçàíèÿ
âî âñåì äèàïàçîíå èçìåðåíèé.
 îáëàñòè ôîðâàêóóìíûõ èçìåðåíèé îñíîâíûì
òèïîì ïðåîáðàçîâàòåëÿ ÿâëÿåòñÿ ïðåîáðàçîâàòåëü
Ïèðàíè, îáåñïå÷èâàþùèé òî÷íîñòü 10�15% îò ïî-
êàçàíèÿ â îáëàñòè îò 103 äî 10�4 ìáàð.
Òàêèå ïðåîáðàçîâàòåëè ïðåäëàãàþò ïðàêòè÷åñêè
âñå êðóïíûå ïðîèçâîäèòåëè âàêóóìíîãî îáîðóäîâà-
íèÿ, îäíàêî, íå ïðîèçâîäÿ èõ, à ïîñòàâëÿÿ îáîðóäî-
âàíèå ñâîèõ OEM- è ODM-ïàðòíåðîâ. Ñàìûìè çà-
ìåòíûìè â äàííîì ñåãìåíòå ðûíêà ÿâëÿþòñÿ êîìïà-
íèè, ñïåöèàëèçèðóþùèåñÿ íà ïðîèçâîäñòâå âàêóóì-
ìåòðîâ è àíàëèòè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ � Canon
Anelva, Thyracont, Inficon, Granville-Phillips, MKS
Instruments, Varian è äðóãèå.
Äðóãèì íàïðàâëåíèåì, ïîëó÷èâøèì ðàçâèòèå â
ïîñëåäíåå âðåìÿ, ÿâëÿþòñÿ âàêóóììåòðû íà áàçå
åìêîñòíîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ. Ýòîò òèï äàò÷èêîâ ïî-
çâîëÿåò îïðåäåëÿòü äàâëåíèå ãàçà ñ òî÷íîñòüþ 0,25�
0,08% îò ïîêàçàíèÿ. Îáû÷íî òàêèå äàò÷èêè ïîêðûâà-
þò äèàïàçîí â ÷åòûðå äåêàäû, íàïðèìåð îò 103 äî
10�1 ìáàð. Äèàïàçîí èçìåðÿåìûõ äàâëåíèé ñ ïîìî-
ùüþ âàêóóììåòðîâ äàííîãî òèïà � îò 104 äî
10�6 ìáàð. Îñíîâíûìè ïðîèçâîäèòåëÿìè äàííîãî îáî-
ðóäîâàíèÿ ÿâëÿþòñÿ MKS Instruments, Setra, Inficon,
Canon Anelva.
 îáëàñòè ñðåäñòâ òå÷åèñêàíèÿ îáû÷íî ïðåäëàãà-
þòñÿ äâà òèïà ðåøåíèé:
� òðàäèöèîííûå ãåëèåâûå ìàññ-ñïåêòðîìåòðè÷å-
ñêèå òå÷åèñêàòåëè, êîòîðûå ïðåäëàãàþò ïðàêòè÷åñêè
âñå êðóïíûå ïîñòàâùèêè âàêóóìíîãî îáîðóäîâàíèÿ �
Adixen, Leybold, Pfeiffer, Ulvac, Varian. Òàêæå ñâîþ
äîëþ èìåþò êîìïàíèè, ñïåöèàëèçèðóþùèåñÿ íà àíà-
ëèòè÷åñêîì îáîðóäîâàíèè � Shimadzu, Canon Anelva,
VIC, Inficon, MKS Instruments. Îáû÷íî òàêèå ìàññ-
ñïåêòðîìåòðû èìåþò ÷óâñòâèòåëüíîñòü ïî ìèíèìàëüíî
ôèêñèðóåìîìó ïîòîêó ãåëèÿ äî 10�12 ìáàð·ë/ñ è äî-
ñòàòî÷íî êîìïàêòíîå èñïîëíåíèå � ìàññà ñèñòåìû
âàðüèðóåòñÿ â äèàïàçîíå 30�60 êã;
� ñðåäñòâà òå÷åèñêàíèÿ, îñíîâàííûå íà îòëè÷-
íûõ îò ìàññ-ñïåêòðîìåòðà ïðèíöèïàõ îïðåäåëåíèÿ èí-
äèêàòîðíîãî ãàçà. Îáëàäàþò áîëåå íèçêîé ÷óâñòâè-
òåëüíîñòüþ, ÷åì ìàññ-ñïåêòðîìåòðè÷åñêèå òå÷åèñêà-
òåëè � îáû÷íî äî 10�7 ìáàð·ë/ñ, îäíàêî õàðàêòåðè-
çóþòñÿ áîëüøåé êîìïàêòíîñòüþ è ìåíüøåé ìàññîé
� îò 1,5 äî 15 êã è ðàáîòàþò â ðåæèìå ùóïà, çàáèðàÿ
ïðîáû ïðè àòìîñôåðíîì äàâëåíèè. Êðîìå êîìïàêò-
íîñòè ê èõ äîñòîèíñòâàì íóæíî îòíåñòè âîçìîæíîñòü
èñïîëüçîâàíèÿ â êà÷åñòâå èíäèêàòîðíîãî íå ãåëèé, à
äðóãîé ãàç. Ïîýòîìó äàííûå òå÷åèñêàòåëè àêòèâíî èñ-
ïîëüçóþò äëÿ ïîèñêà òå÷åé â êðèîãåííûõ òðóáîïðî-
âîäàõ, ðåôðèæåðàòîðàõ, ãàçîâûõ òðàêòàõ è ò. ï. Çäåñü
çàìåòíûå ïîçèöèè çàíèìàþò êîìïàíèè Varian, Ulvac,
Adixen, Ion Science.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Âàñèëüåâ Þ. Ê., Íåñòåðîâ Ñ. Á., Âàñèëüåâà Ò. Ñ. Àíàëèç
ñîâðåìåííîãî ñîñòîÿíèÿ ðûíêà îáîðóäîâàíèÿ ñèñòåì ñîçäàíèÿ è
ïîääåðæàíèÿ âàêóóìà // Âàêóóìíàÿ òåõíèêà è òåõíîëîãèÿ.�
2006.� Ò. 16, ¹ 1.� Ñ. 55�62.
2. Ïåðñïåêòèâíûå òåõíîëîãèè âàêóóìèðîâàíèÿ // ÍÌ-îáîðó-
äîâàíèå.� 2004.� ¹ 2.� http://www.nmet.ru/i/2/last.html
3. Âàñèëüåâ Þ. Ê., Íåñòåðîâ Ñ. Á. Ñîâðåìåííûå ïóòè îïòèìè-
çàöèè îòêà÷íûõ âàêóóìíûõ ñèñòåì íà áàçå äèôôóçèîííûõ íàñî-
ñîâ // Ìàòåðèàëû IV ÌÍÒÊ «Âàêóóìíàÿ òåõíèêà, ìàòåðèàëû è
òåõíîëîãèÿ».� Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà.� 2009.� Ñ. 81�84.
Ýêñïåðèìåíòàëüíîå äîêàçàòåëüñòâî ýêñèòîííî-ïëàçìåííîãî ôàçîâîãî ïåðåõîäà Ìîòòà. (Ãåð-
ìàíèÿ, ã. Øòóòãàðò)
Öèôðîâîé ìåòîä èçìåðåíèÿ êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ïîâåðõíîñòè. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
Óñòðîéñòâî ôîðìèðîâàíèÿ ýëåìåíòîâ îïòîýëåêòðîííîé àêóñòîîïòè÷åñêîé âû÷èñëèòåëüíîé
ñðåäû. (Óêðàèíà, ã. Äîíåöê)
Îïòîýëåêòðîííûå ñåíñîðû ãàçîâ íà îñíîâå ìíîãîýëåìåíòíûõ èñòî÷íèêîâ ÈÊ-èçëó÷åíèÿ.
(Óêðàèíà, ã. Ìóêà÷åâî)
Îïòèìèçàöèÿ ñòðóéíîé òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ êîììóòàöèîííûõ ýëåìåíòîâ ïå÷àòíûõ ïëàò.
(Óêðàèíà, ã. Ëüâîâ; Ãåðìàíèÿ, ã. Íþðíáåðã)
Èçìåðèòåëüíûå ïðåîáðàçîâàòåëè íà îñíîâå èîíîñåëåêòèâíûõ ïîëåâûõ òðàíçèñòîðîâ äëÿ
ôåðìåíòíîãî àíàëèçà òîêñè÷íûõ ïðèìåñåé â âîäíûõ ðàñòâîðàõ. (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ìèêðîïðîöåññîðû çâåçäîîáðàçíîé ñòðóêòóðû ñ ðàñøèðåííûìè ôóíêöèîíàëüíûìè âîçìîæ-
íîñòÿìè. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
Ìíîãîêàíàëüíûå óñòðîéñòâà öèôðîâîé îáðàáîòêè ñèãíàëîâ ñ ðàí-
æèðîâàííîé àðõèòåêòóðîé. (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
Òåïëîâèçèîííûé ïðèåìíèê äëÿ ñðåäíåé èíôðàêðàñíîé îáëàñòè ñïåê-
òðà íà îñíîâå ìàòðè÷íîãî ÊÐÒ ÔÏÓ ôîðìàòà 128×128. (Óêðàè-
íà, ã. Êèåâ)
Òåõíîëîãèÿ ñîçäàíèÿ ïåðåñòðàèâàåìîé ëèíèè çàäåðæêè ÑÂ×-äèà-
ïàçîíà íà îñíîâå ñåãíåòîýëåêòðè÷åñêèõ è àëìàçíûõ ïëåíîê. (Ðîñ-
ñèÿ, ã. Ôðÿçèíî)
â
ï
î
ð
ò
ô
åë
å
ð
åä
à
ê
ö
è
è
â
ï
î
ð
ò
ô
åë
å
ð
åä
à
ê
ö
è
è
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
Ø
Ø
Ø
â
ï
î
ð
ò
ô
åë
å
ð
åä
à
ê
ö
è
è
â
ï
î
ð
ò
ô
åë
å
ð
åä
à
ê
ö
è
è
|