Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов

• Опубліковано в: : Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Дата: 2010
• Автори: Ильин, В.Н., Дубешко, А.В., Михаевич, Д.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Теми: Электронные средства: исследования, разработки
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС. The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.