Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові в...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862636573473898496 |
|---|---|
| author | Ильин, В.Н. Дубешко, А.В. Михаевич, Д.А. |
| author_facet | Ильин, В.Н. Дубешко, А.В. Михаевич, Д.А. |
| citation_txt | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС.
Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС.
The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.
|
| first_indexed | 2025-11-30T21:36:16Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51947 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T21:36:16Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ильин, В.Н. Дубешко, А.В. Михаевич, Д.А. 2013-12-20T20:40:47Z 2013-12-20T20:40:47Z 2010 Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947 Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС. The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Электронные средства: исследования, разработки Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов Лазерні пристрої для виміру геометричних параметрів тривимірних об.єктів Laser devices for geometric parameters measuring of three-dimensional objects Article published earlier |
| spellingShingle | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов Ильин, В.Н. Дубешко, А.В. Михаевич, Д.А. Электронные средства: исследования, разработки |
| title | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов |
| title_alt | Лазерні пристрої для виміру геометричних параметрів тривимірних об.єктів Laser devices for geometric parameters measuring of three-dimensional objects |
| title_full | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов |
| title_fullStr | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов |
| title_full_unstemmed | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов |
| title_short | Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов |
| title_sort | лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов |
| topic | Электронные средства: исследования, разработки |
| topic_facet | Электронные средства: исследования, разработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947 |
| work_keys_str_mv | AT ilʹinvn lazernyeustroistvadlâizmereniâgeometričeskihparametrovtrehmernyhobʺektov AT dubeškoav lazernyeustroistvadlâizmereniâgeometričeskihparametrovtrehmernyhobʺektov AT mihaevičda lazernyeustroistvadlâizmereniâgeometričeskihparametrovtrehmernyhobʺektov AT ilʹinvn lazernípristroídlâvimírugeometričnihparametrívtrivimírnihobêktív AT dubeškoav lazernípristroídlâvimírugeometričnihparametrívtrivimírnihobêktív AT mihaevičda lazernípristroídlâvimírugeometričnihparametrívtrivimírnihobêktív AT ilʹinvn laserdevicesforgeometricparametersmeasuringofthreedimensionalobjects AT dubeškoav laserdevicesforgeometricparametersmeasuringofthreedimensionalobjects AT mihaevičda laserdevicesforgeometricparametersmeasuringofthreedimensionalobjects |