Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов

Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові в...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2010
Hauptverfasser: Ильин, В.Н., Дубешко, А.В., Михаевич, Д.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51947
record_format dspace
spelling Ильин, В.Н.
Дубешко, А.В.
Михаевич, Д.А.
2013-12-20T20:40:47Z
2013-12-20T20:40:47Z
2010
Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947
Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС.
Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС.
The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронные средства: исследования, разработки
Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
Лазерні пристрої для виміру геометричних параметрів тривимірних об.єктів
Laser devices for geometric parameters measuring of three-dimensional objects
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
spellingShingle Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
Ильин, В.Н.
Дубешко, А.В.
Михаевич, Д.А.
Электронные средства: исследования, разработки
title_short Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
title_full Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
title_fullStr Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
title_full_unstemmed Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
title_sort лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов
author Ильин, В.Н.
Дубешко, А.В.
Михаевич, Д.А.
author_facet Ильин, В.Н.
Дубешко, А.В.
Михаевич, Д.А.
topic Электронные средства: исследования, разработки
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
publishDate 2010
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Лазерні пристрої для виміру геометричних параметрів тривимірних об.єктів
Laser devices for geometric parameters measuring of three-dimensional objects
description Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС. The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947
citation_txt Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT ilʹinvn lazernyeustroistvadlâizmereniâgeometričeskihparametrovtrehmernyhobʺektov
AT dubeškoav lazernyeustroistvadlâizmereniâgeometričeskihparametrovtrehmernyhobʺektov
AT mihaevičda lazernyeustroistvadlâizmereniâgeometričeskihparametrovtrehmernyhobʺektov
AT ilʹinvn lazernípristroídlâvimírugeometričnihparametrívtrivimírnihobêktív
AT dubeškoav lazernípristroídlâvimírugeometričnihparametrívtrivimírnihobêktív
AT mihaevičda lazernípristroídlâvimírugeometričnihparametrívtrivimírnihobêktív
AT ilʹinvn laserdevicesforgeometricparametersmeasuringofthreedimensionalobjects
AT dubeškoav laserdevicesforgeometricparametersmeasuringofthreedimensionalobjects
AT mihaevičda laserdevicesforgeometricparametersmeasuringofthreedimensionalobjects
first_indexed 2025-11-30T21:36:16Z
last_indexed 2025-11-30T21:36:16Z
_version_ 1850858491956166656