Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов - Ильин, В.Н.; Дубешко, А.В.; Михаевич, Д.А. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2010)
Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС. The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.