Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2010
• Main Authors: Ильин, В.Н., Дубешко, А.В., Михаевич, Д.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Subjects: Электронные средства: исследования, разработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51947
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Описано метод вимірювання, представлено базові в...