Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
Предложенный вольт-фарадный метод измерения концентрации незаполненных глубоких центров вблизи границы «пленка - подложка» не требует дорогостоящего оборудования и может быть легко встроен в технологический цикл изготовления приборов. Запропоновано простий метод визначення концентрації глибоких цент...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51969 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 4. — С. 53-56. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859843848456372224 |
|---|---|
| author | Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. |
| author_facet | Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. |
| citation_txt | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 4. — С. 53-56. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложенный вольт-фарадный метод измерения концентрации незаполненных глубоких центров вблизи границы «пленка - подложка» не требует дорогостоящего оборудования и может быть легко встроен в технологический цикл изготовления приборов.
Запропоновано простий метод визначення концентрації глибоких центрів поблизу межі «плівка-підкладка». Метод оснований на визначенні збільшення ширини провідного каналу під дією домішкового освітлення за зсувом точки перегину вольт-фарадної характеристики. Вірогідність методу підтверджено вимірюваннями концентрації незаповнених глибоких центрів в арсенід-галієвих пластинах з буферним шаром і без нього.ѕ
A simple method for the determination of the concentration of vacant deep traps in the vicinity of the «film-substrate» interface is proposed. The method is based on determining the increase in the width of the conducting channel under extrinsic illumination from the shift of the inflection point in the capacitance-voltage curve. The reliability of the method is confirmed by measurement of the concentration of vacant deep traps in GaAs wafers with and without a buffer layer.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:38:16Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4
53
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
09.06 2010 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. ß. ß. ÊÓÄÐÈÊ
(ÈÏÔ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
Ê. ô.-ì. í. Í. Á. ÃÎÐÅÂ, ê. ô.-ì. í. È. Ô. ÊÎÄÆÅÑÏÈÐÎÂÀ,
ê. ô.-ì. í. Å. Í. ÏÐÈÂÀËÎÂ
Óêðàèíà, ã. Äíåïðîïåòðîâñê,
Èíñòèòóò òåõíè÷åñêîé ìåõàíèêè ÍÀÍÓ è ÍÊÀÓ
E-mail: gorev57@mail.ru
ÄÈÀÃÍÎÑÒÈÊÀ ÃËÓÁÎÊÈÕ ÖÅÍÒÐÎÂ ÍÀ ÃÐÀÍÈÖÅ
«ÏËÅÍÊÀ � ÏÎÄËÎÆÊÀ»  ÒÎÍÊÎÏËÅÍÎ×ÍÛÕ
ÝÏÈÒÀÊÑÈÀËÜÍÛÕ ÑÒÐÓÊÒÓÐÀÕ GaAs
Ïðåäëîæåííûé âîëüò-ôàðàäíûé ìåòîä
èçìåðåíèÿ êîíöåíòðàöèè íåçàïîëíåííûõ
ãëóáîêèõ öåíòðîâ âáëèçè ãðàíèöû «ïëåí-
êà � ïîäëîæêà» íå òðåáóåò äîðîãîñòî-
ÿùåãî îáîðóäîâàíèÿ è ìîæåò áûòü ëåã-
êî âñòðîåí â òåõíîëîãè÷åñêèé öèêë èç-
ãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ.
Íàëè÷èå ãëóáîêèõ öåíòðîâ çàõâàòà ÿâëÿåòñÿ îäíèì
èç íàèáîëåå âàæíûõ ôàêòîðîâ, âëèÿþùèõ íà ñâîé-
ñòâà êàê ñàìîãî ïîëóèçîëèðóþùåãî àðñåíèäà ãàë-
ëèÿ, òàê è ýïèòàêñèàëüíûõ ïëåíîê, âûðàùåííûõ íà
ýòîì ìàòåðèàëå. Êîíöåíòðàöèÿ è òèï ãëóáîêèõ öåíò-
ðîâ âáëèçè ãðàíèöû ðàçäåëà «ýïèòàêñèàëüíàÿ ïëåíêà
� ïîëóèçîëèðóþùàÿ ïîäëîæêà» è â îáúåìå ïîäëîæ-
êè ìîãóò ðàçëè÷àòüñÿ, ò. ê. â ïðîöåññå ðîñòà ýïèòàê-
ñèàëüíîé ïëåíêè ìîãóò âîçíèêàòü íîâûå ãëóáîêèå öåí-
òðû [1]. Êðîìå òîãî, íîâûå öåíòðû ìîãóò âîçíèêàòü è
âî âðåìÿ ïîñëåäóþùèõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññîâ
èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ, òàêèõ êàê èìïëàíòàöèÿ ïðè-
ìåñåé è îòæèã, ôîðìèðîâàíèå îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ,
íàíåñåíèå äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîêðûòèé [2].
Ãëóáîêèå öåíòðû íà ãðàíèöå «ýïèòàêñèàëüíàÿ
ïëåíêà � ïîäëîæêà» îêàçûâàþò çíà÷èòåëüíîå âëèÿ-
íèå íà õàðàêòåðèñòèêè ïðèáîðîâ, èçãîòîâëåííûõ íà
ýòîé ïëåíêå, è, ñëåäîâàòåëüíî, íà õàðàêòåðèñòèêè èí-
òåãðàëüíûõ ñõåì, â ñîñòàâ êîòîðûõ âõîäÿò ýòè ïðèáî-
ðû. Ê ÷èñëó øèðîêî èçâåñòíûõ íåãàòèâíûõ ýôôåê-
òîâ, ñâÿçàííûõ ñ íàëè÷èåì ãëóáîêèõ öåíòðîâ, îòíî-
ñÿòñÿ ýôôåêò óïðàâëåíèÿ ïî ïîäëîæêå, ãèñòåðåçèñ
âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê òðàíçèñòîðîâ, íèçêî-
÷àñòîòíûå îñöèëëÿöèè è óâåëè÷åíèå øóìà â êàíàëå
ïîëåâûõ òðàíçèñòîðîâ [3]. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî èí-
òåãðàëüíîå âëèÿíèå ãëóáîêèõ öåíòðîâ íà ðàáî÷èå õà-
ðàêòåðèñòèêè ïðèáîðîâ íà òîíêîïëåíî÷íûõ ýïèòàê-
ñèàëüíûõ ñòðóêòóðàõ îïðåäåëÿåòñÿ, â ïåðâóþ î÷åðåäü,
êîíöåíòðàöèåé Nvac íåçàïîëíåííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ
â ïîäëîæêå âáëèçè ãðàíèöû ñ ïëåíêîé [4]. Ïîýòîìó
âàæíî èìåòü ïðîñòûå è äîñòîâåðíûå ìåòîäû îïðåäå-
ëåíèÿ ýòîé êîíöåíòðàöèè.
Îáùåïðèíÿòûì ìåòîäîì äèàãíîñòèêè ãëóáîêèõ
öåíòðîâ âáëèçè ãðàíèöû «ïëåíêà � ïîäëîæêà» ÿâ-
ëÿåòñÿ òîêîâàÿ ðåëàêñàöèîííàÿ ñïåêòðîñêîïèÿ ãëóáî-
êèõ óðîâíåé [5]. Îäíàêî ýòîò ìåòîä ÿâëÿåòñÿ äîâîëü-
íî ãðîìîçäêèì, òðåáóåò äîðîãîñòîÿùåãî îáîðóäîâà-
íèÿ è ìîæåò îêàçàòüñÿ íåñîâìåñòèìûì ñ òåõíîëîãè-
÷åñêèì öèêëîì èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ. Êðîìå òîãî,
îí òðåáóåò íàëè÷èÿ îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ, ÷òî íå ïî-
çâîëÿåò èñïîëüçîâàòü åãî äëÿ êîíòðîëÿ èñõîäíûõ ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí ïåðåä èçãîòîâëåíèåì ïðè-
áîðîâ. Ïîýòîìó íàèáîëåå ïîäõîäÿùèì ðåøåíèåì ïðåä-
ñòàâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà ìåòîäà îïðåäåëåíèÿ Nvac, îñ-
íîâàííîãî íà âîëüò-ôàðàäíûõ èçìåðåíèÿõ.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ ñóùåñòâóåò ìíîãî âîëüò-ôà-
ðàäíûõ ìåòîäîâ äèàãíîñòèêè ãëóáîêèõ öåíòðîâ [6],
îäíàêî âñå îíè ðàçðàáîòàíû äëÿ îáúåìíûõ ïîëóïðî-
âîäíèêîâ, ãäå çîíäèðóþùèé êðàé îáëàñòè îáåäíåíèÿ
áàðüåðà Øîòòêè ãðàíè÷èò ñ íåéòðàëüíûì ïîëóïðîâîä-
íèêîì. Â ýïèòàêñèàëüíûõ æå ñòðóêòóðàõ íà ãðàíèöå
ðàçäåëà «ïëåíêà � ïîäëîæêà» íåèçáåæíî ïðèñóò-
ñòâóåò îáëàñòü âñòðîåííîãî îáúåìíîãî çàðÿäà, îáóñ-
ëîâëåííàÿ ðåçêèì ãðàäèåíòîì êîíöåíòðàöèè ëåãèðó-
þùåé ïðèìåñè. Ñìûêàíèå îáëàñòè îáåäíåíèÿ áàðüå-
ðà Øîòòêè ñ ýòîé îáëàñòüþ îáúåìíîãî çàðÿäà ïðèâî-
äèò ê ïîÿâëåíèþ êà÷åñòâåííûõ îòëè÷èé îò îáúåìíûõ
ïîëóïðîâîäíèîâ è, ñëåäîâàòåëüíî, ê íåïðàâèëüíîé
èíòåðïðåòàöèè ðåçóëüòàòîâ âîëüò-ôàðàäíûõ èçìåðåíèé.
 äàííîé ñòàòüå îïèñàí ðàçðàáîòàííûé âîëüò-ôà-
ðàäíûé ìåòîä èçìåðåíèÿ êîíöåíòðàöèè Nvac íåçàïîë-
íåííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ, ñâîáîäíûé îò óêàçàííûõ
íåäîñòàòêîâ, èñïîëüçóþùèé îñîáåííîñòè n�v-ïåðå-
õîäà íà ãðàíèöå «ïëåíêà � ïîäëîæêà». Ëîêàëèçî-
âàííàÿ â ïëåíêå îáëàñòü îáåäíåíèÿ ýòîãî ïåðåõîäà
îáðàçîâàíà çàðÿäîì èîíèçèðîâàííûõ äîíîðîâ, à åãî
îáëàñòü íàêîïëåíèÿ, ëîêàëèçîâàííàÿ â ïîäëîæêå, îá-
ðàçîâàíà çàðÿäîì, ñâÿçàííûì íà ãëóáîêèõ öåíòðàõ,
ïðè÷åì ïðàêòè÷åñêè âî âñåé îáëàñòè íàêîïëåíèÿ ïëîò-
íîñòü îòðèöàòåëüíîãî îáúåìíîãî çàðÿäà ρ� ðàâíà ïðî-
èçâåäåíèþ êîíöåíòðàöèè Nvac â íåéòðàëüíîé ÷àñòè ïîä-
ëîæêè âáëèçè ïëåíêè íà çàðÿä ýëåêòðîíà q. Â ñèëó
ýòîãî êîíöåíòðàöèÿ Nvac ìîæåò áûòü îïðåäåëåíà ïó-
òåì èçìåðåíèÿ îòêëèêà ïåðåõîäà «ïëåíêà � ïîäëîæ-
êà» íà êàêîå-ëèáî âíåøíåå âîçäåéñòâèå. Â ïðåäëàãà-
åìîì ìåòîäå òàêèì âîçäåéñòâèåì ÿâëÿåòñÿ îñâåùå-
íèå ïðèìåñíûì ñâåòîì, ïðèâîäÿùåå ê ñóæåíèþ îá-
ëàñòè îáúåìíîãî çàðÿäà ïåðåõîäà «ïëåíêà � ïîä-
ëîæêà» è ñîîòâåòñòâóþùåìó ðàñøèðåíèþ ïðîâîäÿ-
ùåãî êàíàëà â ïëåíêå, âåëè÷èíà êîòîðîãî îïðåäåëÿ-
åòñÿ èç âîëüò-ôàðàäíûõ èçìåðåíèé.
Ðàññìîòðèì ïëàíàðíóþ ñòðóêòóðó GaAs, ñîñòîÿ-
ùóþ èç íèçêîîìíîé ïëåíêè è ïîëóèçîëèðóþùåé êîì-
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4
54
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ïåíñèðîâàííîé ïîäëîæêè. Ïëåíêà ñîäåðæèò òîëüêî
ìåëêèå äîíîðû ñ êîíöåíòðàöèåé N0, à ïîäëîæêà �
ìåëêèå äîíîðû è êîìïåíñèðóþùèå èõ ãëóáîêèå ýëåê-
òðîííûå öåíòðû çàõâàòà àêöåïòîðíîãî òèïà ñ êîí-
öåíòðàöèåé Ns è Nt, ñîîòâåòñòâåííî. Ïðè ýòîì êîí-
öåíòðàöèÿ ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé â ãëóáèíå ïîäëîæ-
êè nsub << Ns, à êîíöåíòðàöèÿ Nvac â ïîäëîæêå ðàâíà
Nt � Ns. Ïðåíåáðåãàÿ çàðÿäîì ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé
â îáëàñòÿõ îáåäíåíèÿ è íàêîïëåíèÿ n�ν-ïåðåõîäà è
èçìåíåíèåì ïëîòíîñòè ñâÿçàííîãî çàðÿäà ïî øèðèíå
ñîîòâåòñòâóþùèõ îáëàñòåé, ìîæåì çàïèñàòü
0
0 ;vac nN d N d E
q
+ −
−ν
εε
= = (1)
( ) 01
ln ,
2 n n
sub
NkT
E d d V
q n
+ −
−ν −ν+ = = (2)
Ðàçðåøèâ (1) è (2) îòíîñèòåëüíî øèðèíû îáëàñ-
òè îáåäíåíèÿ d+, ïîëó÷èì
( )
0 0
2
0 0
2
ln .vac
subvac
kTN N
d
nq N N N
+ εε
=
+
(3)
Ôîòîèîíèçàöèÿ ãëóáîêèõ öåíòðîâ ïðè ïðèìåñíîì
îñâåùåíèè óâåëè÷èâàåò êîíöåíòðàöèþ ñâîáîäíûõ íî-
ñèòåëåé â ïîäëîæêå, ÷òî â ñîîòâåòñòâèè ñ (3) ïðèâî-
äèò ê óìåíüøåíèþ d+ è, ñëåäîâàòåëüíî, ê óâåëè÷åíèþ
øèðèíû ïðîâîäÿùåãî êàíàëà â ïëåíêå. Èç (3) ñëåäóåò,
÷òî óâåëè÷åíèå ∆hI øèðèíû ïðîâîäÿùåãî êàíàëà ïðè
ïðèìåñíîì îñâåùåíèè îïèñûâàåòñÿ âûðàæåíèåì
( )
0 0 0
2
00 0
2
ln ln ,vac
I
sub subIvac
kTN N N
h
n nq N N N
εε
∆ = − +
(4)
ãäå nsub0, nsubI � êîíöåíòðàöèÿ ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé
â îáúåìå ïîäëîæêè â îòñóòñòâèå è ïðè íàëè÷èè ïðè-
ìåñíîãî îñâåùåíèÿ, ñîîòâåòñòâåííî.
Ñ èñïîëüçîâàíèåì óðàâíåíèÿ êèíåòèêè çàõâàòà
íîñèòåëåé íà ãëóáîêèå öåíòðû è óðàâíåíèÿ ýëåêòðî-
íåéòðàëüíîñòè äëÿ îáúåìà ïîäëîæêè ìîæíî ëåãêî ïî-
êàçàòü, ÷òî êîíöåíòðàöèÿ nsubI âûðàæàåòñÿ ÷åðåç èí-
òåíñèâíîñòü îñâåùåíèÿ Ip ñëåäóþùèì îáðàçîì:
( )1 ,s
subI pe p e
t s
N
n n S I c
N N
= +
−
(5)
Ââåäÿ îáîçíà÷åíèå
pes
t s e
SN
N N c
β =
−
è ó÷èòûâàÿ ÷òî
0 1,s
sub
t s
N
n n
N N
=
−
ñîîòíîøåíèå (5) ìîæíî ïðåäñòàâèòü â ñëåäóþùåì
ïðîñòîì âèäå:
0 .subI sub pn n I= + β (6)
Ïîäñòàâèâ (6) â (4), ïîëó÷èì
( )
0
2
0 0
0 0
0 0
2
ln ln .
vac
I
vac
sub sub p
kTN
h
q N N N
N N
n n I
εε∆ = ×
+
× − + β
(7)
Ôîðìóëà (7) ïîçâîëÿåò îïðåäåëèòü êîíöåíòðàöèþ
íåçàïîëíåííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ Nvac (à òàêæå ñ nsub0
è β) ïðè óñëîâèè, ÷òî èçâåñòíà çàâèñèìîñòü ∆hI îò Ip.
Âõîäÿùàÿ â (7) êîíöåíòðàöèÿ N0 ëåãèðóþùåé ïðèìå-
ñè â ïëåíêå ìîæåò áûòü ïîëó÷åíà ñ èñïîëüçîâàíèåì
îáùåïðèíÿòûõ ñîîòíîøåíèé äëÿ îïðåäåëåíèÿ ïðîôèëÿ
ëåãèðîâàíèÿ ïîëóïðîâîäíèêà ñ ïîìîùüþ âîëüò-ôà-
ðàäíûõ èçìåðåíèé, êîòîðûå èìåþò âèä
3
0
2
0
( ) ;
rev
C
N x
dC
q S
dV
= −
εε
(8)
0 ,
S
x
C
εε
= (9)
Çàâèñèìîñòü ∆hI îò Ip òàêæå ìîæåò áûòü îïðåäåëå-
íà èç âîëüò-ôàðàäíûõ èçìåðåíèé. Èçâåñòíî [7], ÷òî â
îáùåì ñëó÷àå âûðàæåíèÿ (8), (9) äàþò «êàæóùèéñÿ»
ïðîôèëü êîíöåíòðàöèè �( )n x , êîòîðûé ñîâïàäàåò ñ ïðî-
ôèëåì ëåãèðîâàíèÿ òîëüêî â ñëó÷àå, êîãäà îáëàñòü
îáåäíåíèÿ áàðüåðà Øîòòêè ãðàíè÷èò ñ íåéòðàëüíûì
ïîëóïðîâîäíèêîì, â òî âðåìÿ êàê ïðè íàëè÷èè âñòðî-
åííîãî îáúåìíîãî çàðÿäà (íàïðèìåð, âáëèçè ãðàíè-
öû «ïëåíêà � ïîäëîæêà») �( )n x ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé
ñðåäíåå çíà÷åíèå êîíöåíòðàöèè ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé
n(x) íà äëèíå ïîðÿäêà äëèíû Äåáàÿ. Äèôôåðåíöèðî-
øèðèíà îáëàñòè îáåäíåíèÿ è îáëàñòè
íàêîïëåíèÿ n�ν-ïåðåõîäà;
îòíîñèòåëüíàÿ äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöà-
åìîñòü ïîëóïðîâîäíèêà;
äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïîñòîÿííàÿ;
ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå íà ãðàíèöå «ïëåíêà �
ïîäëîæêà»;
âñòðîåííîå íàïðÿæåíèå n�ν-ïåðåõîäà;
ïîñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà;
àáñîëþòíàÿ òåìïåðàòóðà.
ãäå d+, d� �
ε �
ε0 �
En�v �
Vn�v �
k �
T �
ãäå x �
C �
Vrev �
S �
êîîðäèíàòà, îòñ÷èòûâàåìàÿ îò áàðüåðíîãî êîí-
òàêòà;
áàðüåðíàÿ åìêîñòü;
îáðàòíîå íàïðÿæåíèå íà áàðüåðå Øîòòêè;
ïëîùàäü áàðüåðíîãî êîíòàêòà.
ãäå n1 � ïàðàìåòð Øîêëè�Ðèäà, ðàâíûé êîíöåíòðàöèè
ñâîáîäíûõ ýëåêòðîíîâ â çîíå ïðîâîäèìîñòè â
ñëó÷àå, êîãäà óðîâåíü Ôåðìè ñîâïàäàåò ñ ýíåð-
ãåòè÷åñêèì óðîâíåì ãëóáîêîãî öåíòðà;
ce �
Spe �
êîýôôèöèåíò çàõâàòà ýëåêòðîíà ãëóáîêèì öåí-
òðîì;
ñå÷åíèå çàõâàòà ôîòîíà çàïîëíåííûì ãëóáîêèì
öåíòðîì ïðè ïåðåõîäå ýëåêòðîíà â çîíó ïðîâî-
äèìîñòè.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4
55
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
âàíèå (8), (9) äàåò (øòðèõè îáîçíà÷àþò ñîîòâåòñòâó-
þùèå ïðîèçâîäíûå)
2
� ( )
3 .
�( )
rev
rev
V x
V
C xn x
C
C n x
′ ′ ′′ = +
Òàêèì îáðàçîì, èçìåíåíèå çíàêà âòîðîé ïðîèç-
âîäíîé åìêîñòè
revVC′′ ñ «+» íà «�» óêàçûâàåò íà ðåç-
êîå ïàäåíèå êîíöåíòðàöèè ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé, ò. å.
íà äîñòèæåíèå îáëàñòüþ îáåäíåíèÿ áàðüåðà Øîòòêè
ãðàíèöû ìåæäó ïðîâîäÿùèì êàíàëîì è îáëàñòüþ
îáåäíåíèÿ ïåðåõîäà «ïëåíêà � ïîäëîæêà». Ïîýòîìó
êîîðäèíàòó xchan ýòîé ãðàíèöû ìîæíî îöåíèòü êàê
0 ,chan
inf
S
x
C
εε
=
ãäå Cinf �îðäèíàòà òî÷êè ïåðåãèáà íà âîëüò-ôàðàä-
íîé êðèâîé, â êîòîðîé ýòà êðèâàÿ ñòàíîâèòñÿ èç âû-
ïóêëîé âíèç (åå îáû÷íîå ïîâåäåíèå) âûïóêëîé ââåðõ.
Ñëåäîâàòåëüíî, óâåëè÷åíèå ∆hI øèðèíû êàíàëà ïðè
îñâåùåíèè ìîæíî íàéòè ïî ôîðìóëå
0
inf inf 0
1 1
( ) ,
( )I p
I p
h I S
C I C
∆ = εε −
(10)
ãäå Cinf0, Cinfl � âåëè÷èíà Cinf â îòñóòñòâèå è ïðè íà-
ëè÷èè îñâåùåíèÿ, ñîîòâåòñòâåííî.
Êîíöåíòðàöèÿ íåçàïîëíåííûõ ãëóáîêèõ öåíòðîâ
Nvac îïðåäåëÿåòñÿ ïóòåì àïïðîêñèìàöèè çàâèñèìîñòè
(10), ïîëó÷åííîé èç ýêñïåðèìåíòàëüíûõ äàííûõ, ôîð-
ìóëîé (7).
Êàê áûëî óêàçàíî âûøå, ïðèâåäåííîå ðàññìîòðå-
íèå îòíîñèòñÿ ê ñëó÷àþ ïîäëîæêè n-òèïà ñ ìåëêèìè
äîíîðàìè, êîìïåíñèðîâàííûìè ãëóáîêèìè ýëåêò-
ðîííûìè öåíòðàìè àêöåïòîðíîãî òèïà. Îäíàêî íà
ïðàêòèêå ÷àñòî âñòðå÷àåòñÿ ñëó÷àé, êîãäà ïîäëîæêà
n-òèïà ñîäåðæèò ìåëêèå àêöåïòîðû, êîìïåíñèðîâàí-
íûå ãëóáîêèìè äîíîðàìè.  ÷àñòíîñòè, ïîëóèçîëè-
ðóþùèå ñâîéñòâà íåëåãèðîâàííîãî àðñåíèäà ãàëëèÿ
îáóñëîâëåíû íàëè÷èåì ãëóáîêîãî äîíîðíîãî öåíòðà
EL2.  ýòîì ñëó÷àå ìåëêèå àêöåïòîðû ïîëíîñòüþ
çàïîëíåíû ýëåêòðîíàìè, çàõâà÷åííûìè ñ ãëóáîêèõ
äîíîðîâ, è ïîýòîìó â íåéòðàëüíîì îáúåìå ïîäëîæ-
êè, ãäå ñóììàðíûé îáúåìíûé çàðÿä ðàâåí íóëþ, êîí-
öåíòðàöèÿ ïîëîæèòåëüíî çàðÿæåííûõ íåçàïîëíåííûõ
äîíîðîâ Nvac ðàâíà êîíöåíòðàöèè ìåëêèõ àêöåïòîðîâ
NA. Â îáëàñòè æå îáúåìíîãî çàðÿäà âáëèçè ãðàíèöû
ñ ïëåíêîé (îáëàñòè íàêîïëåíèÿ ïåðåõîäà «ïëåíêà �
ïîäëîæêà») âñå ãëóáîêèå äîíîðû ïîëíîñòüþ çàïîë-
íåíû äèôôóíäèðîâàâøèìè èç ïëåíêè ýëåêòðîíàìè
è, ñëåäîâàòåëüíî, íåéòðàëüíû. Â ñèëó ýòîãî îáúåì-
íûé çàðÿä ýòîé îáëàñòè îáðàçîâàí ýëåêòðîíàìè, ñâÿ-
çàííûìè íà ìåëêèõ àêöåïòîðàõ, ò. å. ïëîòíîñòü ρ îò-
ðèöàòåëüíîãî îáúåìíîãî çàðÿäà â ýòîé îáëàñòè ðàâ-
íà qNÀ. Îòñþäà ñëåäóåò, ÷òî îïèñàííûì âûøå ìåòî-
äîì â ýòîì ñëó÷àå òàêæå ìîæíî íàéòè êîíöåíòðàöèþ
Nvac íåçàïîëíåííûõ ãëóáîêèõ äîíîðîâ â íåéòðàëüíîì
îáúåìå ïîäëîæêè, ïîñêîëüêó â ñîîòâåòñòâèè ñî ñêà-
çàííûì âûøå ýòà êîíöåíòðàöèÿ ðàâíà NA.
Ïðåäëîæííûé ìåòîä àïðîáèðîâàí íà àðñåíèä-ãàë-
ëèåâûõ ïëàñòèíàõ ñî ñôîðìèðîâàííûìè ïîëåâûìè
òðàíçèñòîðàìè ñ áàðüåðîì Øîòòêè, èçãîòîâëåííûõ íà
îñíîâå ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóð n+� n � i (n+-ñëîé �
íèçêîîìíàÿ ïëåíêà � ïîëóèçîëèðóþùàÿ ïîäëîæêà)
è n+�n� bn− �i (n+-ñëîé � íèçêîîìíàÿ ïëåíêà � âû-
ñîêîîìíûé áóôåðíûé ñëîé � ïîëóèçîëèðóþùàÿ ïîä-
ëîæêà).
Âîëüò-ôàðàäíûå õàðàêòåðèñòèêè èçìåðÿëèñü ïðè
ïîìîùè èçìåðèòåëÿ åìêîñòè Å7-12, ðàáîòàþùåãî íà
÷àñòîòå 1 ÌÃö. Ïëàñòèíû îñâåùàëèñü ñî ñòîðîíû
ïëåíêè èíôðàêðàñíîé ëàìïîé íàêàëèâàíèÿ ìîùíî-
ñòüþ 175 Âò ÷åðåç êðåìíèåâûé ôèëüòð. Ýòî äàâàëî
ïðèìåñíûé ñâåò, ò. ê. øèðèíà çàïðåùåííîé çîíû êðåì-
íèÿ (1,1 ýÂ) ìåíüøå øèðèíû çàïðåùåííîé çîíû àð-
ñåíèäà ãàëëèÿ (1,4 ýÂ). Ïîñêîëüêó äëèíà çàòâîðà ñôîð-
ìèðîâàííûõ íà ïëàñòèíå òðàíçèñòîðîâ áûëà ðàâíà
2 ìêì, ýòîò ñâåò ìîã ëåãêî ïðîíèêàòü â ïîäçàòâîð-
íóþ îáëàñòü áëàãîäàðÿ äèôðàêöèè (äëèíà âîëíû ñâåòà
ñ ýíåðãèåé êâàíòà 1,1 ýÂ ðàâíà 1,1 ìêì).
Èíòåíñèâíîñòü îñâåùåíèÿ èçìåíÿëàñü ïóòåì èç-
ìåíåíèÿ ðàññòîÿíèÿ ìåæäó ëàìïîé è ïîëóïðîâîäíè-
êîâîé ïëàñòèíîé. Èç ôîðìóëû (7) âèäíî, ÷òî ïðè îï-
ðåäåëåíèè êîíöåíòðàöèè Nvac âìåñòî èíòåíñèâíîñòè
îñâåùåíèÿ Ip ìîæåò èñïîëüçîâàòüñÿ ëþáàÿ ïðîïîð-
öèîíàëüíàÿ åé âåëè÷èíà (ýòî ïðèâîäèò òîëüêî ê ïåðå-
îïðåäåëåíèþ êîýôôèöèåíòà β), à èç ôîðìóëû (6)
ñëåäóåò, ÷òî òàêîé âåëè÷èíîé ìîæåò áûòü ðàçíîñòü
ìåæäó çíà÷åíèÿìè ïðîâîäèìîñòè ïîäëîæêè ïðè íà-
ëè÷èè îñâåùåíèÿ GsubI è â åãî îòñóòñòâèå Gsub0. Ïî-
ýòîìó ïðè îïðåäåëåíèè Nvac â ôîðìóëå (7) âìåñòî èí-
òåíñèâíîñòè îñâåùåíèÿ èñïîëüçîâàëàñü èçìåðåííàÿ
ðàçíîñòü GsubI � Gsub0, íîðìèðîâàííàÿ íà åå çíà÷åíèå
ïðè ìàêñèìàëüíîì ðàññòîÿíèè ìåæäó ëàìïîé è ïî-
ëóïðîâîäíèêîâîé ïëàñòèíîé.
Òî÷íîñòü àïïðîêñèìàöèè èçìåðåííîé çàâèñèìî-
ñòè ∆hI(Ip) ôîðìóëîé (7) ñîñòàâèëà îêîëî 10%. Ïî-
ñêîëüêó â ôîðìóëå (7) äëÿ ∆hI êîíöåíòðàöèÿ Nvac ñòî-
8
6
4
2
1,2
0,8
0,4
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
Íîìåð òðàíçèñòîðà
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
Íîìåð òðàíçèñòîðà
N
va
c,
1
015
ñ
ì
�3
N
va
c,
1
015
ñ
ì
�3
Èçìåðåííûå ðàñïðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè Nvac ïî ïëàñòèíàì GaAs ñî ñôîðìèðîâàííûìè òðàíçèñòîðàìè
äëÿ ïëàñòèí ñ áóôåðíûì ñëîåì (à) è áåç íåãî (á)
à) á)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 4
56
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
èò ïîä çíàêîì êâàäðàòíîãî êîðíÿ, òî÷íîñòü îïðåäåëå-
íèÿ Nvac ìîæíî ïðèìåðíî îöåíèòü, óäâîèâ çíà÷åíèå
òî÷íîñòè àïïðîêñèìàöèè çàâèñèìîñòè ∆hI(Ip), ò. å.
ýòî âåëè÷èíà ïîðÿäêà 20%.
Èçìåðåíèÿ, ðåçóëüòàòû êîòîðûõ ïðèâåäåíû íà ðè-
ñóíêå, ïîêàçàëè, ÷òî êîíöåíòðàöèÿ Nvac èìååò çíà÷è-
òåëüíûé ðàçáðîñ ïî ïëàñòèíå äàæå ïðè äîñòàòî÷íî
îäíîðîäíîì ðàñïðåäåëåíèè êîíöåíòðàöèè ëåãèðóþ-
ùåé ïðèìåñè N0. Òàê, äëÿ ïëàñòèíû áåç áóôåðíîãî
ñëîÿ Nvac èçìåíÿåòñÿ îò 1015 äî 8⋅1015 cì�3, â òî âðå-
ìÿ êàê N0 èçìåíÿåòñÿ â ïðåäåëàõ (1,4�1,6)⋅1017 cì�3.
Ýòî óêàçûâàåò íà òî, ÷òî ïðè äèàãíîñòèêå ïëàñòèí êîí-
öåíòðàöèÿ Nvac äîëæíà êîíòðîëèðîâàòüñÿ ëîêàëüíî â
ìåñòå ðàñïîëîæåíèÿ êàæäîãî ïðèáîðà. Èç ðèñóíêà
òàêæå âèäíî, ÷òî äëÿ ïëàñòèíû ñ áóôåðíûì ñëîåì êîí-
öåíòðàöèÿ Nvac çàìåòíî íèæå, ÷åì äëÿ ïëàñòèíû áåç
áóôåðíîãî ñëîÿ, êàê è äîëæíî áûòü, ÷òî ñëóæèò ïîä-
òâåðæäåíèåì äîñòîâåðíîñòè ïðåäëîæåííîãî ïîäõîäà.
***
Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàí ïðîñòîé ìåòîä îïðå-
äåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè íåçàïîëíåííûõ ãëóáîêèõ öåíò-
ðîâ âáëèçè ãðàíèöû «ïëåíêà � ïîäëîæêà», ò. å. âå-
ëè÷èíû, ÿâëÿþùåéñÿ èíòåãðàëüíûì ïîêàçàòåëåì âëè-
ÿíèÿ ãëóáîêèõ öåíòðîâ íà ðàáîòó ïðèáîðîâ íà îñíîâå
òîíêîïëåíî÷íûõ àðñåíèä-ãàëëèåâûõ ñòðóêòóð. Äàí-
íûé ìåòîä íå òðåáóåò äîðîãîñòîÿùåãî îáîðóäîâàíèÿ
è ìîæåò áûòü ëåãêî âñòðîåí â òåõíîëîãè÷åñêèé öèêë
èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ è èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Ïðè
èñïîëüçîâàíèè ðòóòíûõ çîíäîâ îí ïîçâîëèò îïðåäå-
ëÿòü êîíöåíòðàöèþ íåçàïîëíåííûõ ãëóáîêèõ öåíò-
ðîâ â èñõîäíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèíàõ è
çàòåì ïîëó÷àòü äîñòîâåðíóþ èíôîðìàöèþ îá èçìå-
íåíèè ýòîé âåëè÷èíû íà ðàçíûõ ñòàäèÿõ ïðîöåññà
èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ (òàê êàê êîýôôèöèåíò ïîãëî-
ùåíèÿ ïðèìåñíîãî ñâåòà âåñüìà ìàë, ïðè èñïîëüçî-
âàíèè ðòóòíûõ çîíäîâ ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèíû
ìîãóò îñâåùàòüñÿ ñ òûëüíîé ñòîðîíû). Ýòî â ñâîþ
î÷åðåäü äàñò âîçìîæíîñòü îòáðàêîâûâàòü ïëàñòèíû
êàê äî íà÷àëà ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ, òàê è
íà ðàííèõ åãî ñòàäèÿõ, ÷òî ïîâûñèò âûõîä ãîäíûõ
ïðèáîðîâ è ñíèçèò èõ ñåáåñòîèìîñòü.
Äàííûé ìåòîä áûë àïðîáèðîâàí íà àðñåíèä-ãàë-
ëèåâûõ ïëàñòèíàõ ñ òðàíçèñòîðàìè, îäíàêî ìîæåò áûòü
ïðèìåíåí è ê äðóãèì ïîëóïðîâîäíèêîâûì ñòðóêòó-
ðàì ñîåäèíåíèé À3Â5 ñ ðåçêèì ïåðåõîäîì ìåæäó ëå-
ãèðîâàííûì ýïèòàêñèàëüíûì ñëîåì è ïîëóèçîëèðó-
þùåé êîìïåíñèðîâàííîé ïîäëîæêîé, òàêèì êàê
òîíêîïëåíî÷íûå ñòðóêòóðû íà îñíîâå InP èëè GaN.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ìèëüâèäñêèé Ì. Ã., Îñâåíñêèé Â. Á. Ñòðóêòóðíûå äåôåêòû
â ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîÿõ ïîëóïðîâîäíèêîâ.� Ì.: Ìåòàëëóðãèÿ,
1985.
2. Makram-Ebeid S., Minondo P. The roles of the surface and
the bulk of the semi-insulating substrate in low-frequency anomalies
of GaAs integrated circuits // IEEE Trans. Electron Devices.� 1985.�
Vol. ED-32, N 5.� P. 632�642.
3. Êîñòûëåâ Ñ. À., Ïðîõîðîâ Å. Ô., Óêîëîâ À. Ò. ßâëåíèÿ òîêî-
ïåðåíîñà â òîíêîïëåíî÷íûõ àðñåíèä-ãàëëèåâûõ ñòðóêòóðàõ.�
Êèåâ : Íàóêîâà äóìêà, 1990.
4. Khuchua N. P., Khvedelidze L. V., Gorev N. B. et al.
Determination of deep trap concentration at channel-substrate
interface in GaAs MESFET using sidegating measurements // Solid-
State Electron.� 2002.� Vol. 46, N 9.� P. 1463�1466.
5. Adlerstein M. G. Electrical traps in GaAs microvawe F.E.T.s //
Electron. Lett.� 1976.� Vol. 12, N 12.� P. 297�298.
6. Õó÷óà Í. Ï., Õâåäåëèäçå Ë. Â., Òèãèøâèëè Ì. Ã. è äð. Ðîëü
ãëóáîêèõ óðîâíåé â òåõíîëîãèè àðñåíèäà ãàëëèÿ // Ìèêðîýëåêò-
ðîíèêà.� 2003.� Ò. 32, ¹ 5.� Ñ. 323�343.
7. Kroemer H., Chen W.-Y. On the theory of Debye averaging in
the C�V profiling of semiconductors // Solid-State Electron.� 1981.�
Vol. 24, N 7.� P. 655�660.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Ñïðàâî÷íèê Øïðèíãåðà ïî íàíîòåõíîëîãèè (â òðåõ òîìàõ) / Ïîä ðåä.
Á. Áõóøàíà.� Ì.: Òåõíîñôåðà, 2010.
Ñïðàâî÷íèê îáúåäèíÿåò ñâåäåíèÿ ïî òåõíîëîãèÿì, ìåõàíèêå, ìàòåðèàëîâåäåíèþ
è íàäåæíîñòè. Âòîðîå èçäàíèå óâåëè÷èëîñü ñ 6 äî 8 ÷àñòåé (ñ 38 äî 58 ãëàâ).
Ïåðâàÿ ÷àñòü ïîñâÿùåíà íàíîñòðóêòóðàì è òåõíîëîãèÿì èçãîòîâëåíèÿ ìèêðî- è
íàíîñòðóêòóð, âêëþ÷àÿ èñïîëüçóåìûå ïðè ýòîì ìåòîäû è ìàòåðèàëû, âòîðàÿ �
ÌÝÌÑ/ÍÝÌÑ è ÁèîÌÝÌÑ/ÁèîÍÝÌÑ ïðèáîðàì. Ðàçëè÷íûå òèïû ñêàíèðóþ-
ùåé çîíäîâîé ìèêðîñêîïèè ðàññìîòðåíû â òðåòüåé ÷àñòè. ×åòâåðòàÿ ïîñâÿùåíà
îáçîðó íàíîòðèáîëîãèè è íàíîìåõàíèêè. Îáçîð ñìàçîê íà ïëåíêàõ ìîëåêóëÿð-
íîé òîëùèíû ïðåäñòàâëåí â ïÿòîé ÷àñòè ñïðàâî÷íèêà. Øåñòàÿ çíàêîìèò ÷èòàòå-
ëÿ ñ íåêîòîðûìè ïðèìåíåíèÿìè íàíîòåõíîëîãèé â ïðîìûøëåííîì ìàñøòàáå,
ñåäüìàÿ ñôîêóñèðîâàíà íà íàäåæíîñòè ìèêðîïðèáîðîâ. È, íàêîíåö, ïîñëåäíÿÿ
ïîñâÿùåíà òåõíîëîãè÷åñêîé êîíâåðãåíöèè, êîòîðóþ íåñóò ñ ñîáîé íàíîòåõíîëî-
ãèè, â íåé òàêæå ðàññìîòðåíû âîçìîæíûå ñîöèàëüíûå, ýòè÷åñêèå è ïîëèòè÷å-
ñêèå ïîñëåäñòâèÿ ïðèìåíåíèÿ íàíîòåõíîëîãèé.
Êíèãà ïîäãîòîâëåíà îïûòíûì ðåäàêòîðîì è íàïèñàíà êîìàíäîé èç 150 èçâåñò-
íûõ ìåæäóíàðîäíûõ ýêñïåðòîâ. Àäðåñîâàíà èíæåíåðàì-ìåõàíèêàì è èíæåíå-
ðàì-ýëåêòðèêàì, ñïåöèàëèñòàì ïî ìàòåðèàëîâåäåíèþ, ìåäèêàì è õèìèêàì, ðà-
áîòàþùèì â îáëàñòè íàíî èëè â ñìåæíûõ îáëàñòÿõ.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51969 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:38:16Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. 2013-12-21T01:12:07Z 2013-12-21T01:12:07Z 2010 Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 4. — С. 53-56. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51969 Предложенный вольт-фарадный метод измерения концентрации незаполненных глубоких центров вблизи границы «пленка - подложка» не требует дорогостоящего оборудования и может быть легко встроен в технологический цикл изготовления приборов. Запропоновано простий метод визначення концентрації глибоких центрів поблизу межі «плівка-підкладка». Метод оснований на визначенні збільшення ширини провідного каналу під дією домішкового освітлення за зсувом точки перегину вольт-фарадної характеристики. Вірогідність методу підтверджено вимірюваннями концентрації незаповнених глибоких центрів в арсенід-галієвих пластинах з буферним шаром і без нього.ѕ A simple method for the determination of the concentration of vacant deep traps in the vicinity of the «film-substrate» interface is proposed. The method is based on determining the increase in the width of the conducting channel under extrinsic illumination from the shift of the inflection point in the capacitance-voltage curve. The reliability of the method is confirmed by measurement of the concentration of vacant deep traps in GaAs wafers with and without a buffer layer. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs Діагностика глибоких центрів на межі «плівка-підкладка» у тонкоплівкових епітаксіальних структурах GaAs Deep trap diagnostics at the film-substrate interface in GaAs thin-film epitaxial structures Article published earlier |
| spellingShingle | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. Материалы электроники |
| title | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs |
| title_alt | Діагностика глибоких центрів на межі «плівка-підкладка» у тонкоплівкових епітаксіальних структурах GaAs Deep trap diagnostics at the film-substrate interface in GaAs thin-film epitaxial structures |
| title_full | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs |
| title_fullStr | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs |
| title_full_unstemmed | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs |
| title_short | Диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs |
| title_sort | диагностика глубоких центров на границе пленка–подложка в тонкопленочных эпитаксиальных структурах gaas |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51969 |
| work_keys_str_mv | AT gorevnb diagnostikaglubokihcentrovnagraniceplenkapodložkavtonkoplenočnyhépitaksialʹnyhstrukturahgaas AT kodžespirovaif diagnostikaglubokihcentrovnagraniceplenkapodložkavtonkoplenočnyhépitaksialʹnyhstrukturahgaas AT privaloven diagnostikaglubokihcentrovnagraniceplenkapodložkavtonkoplenočnyhépitaksialʹnyhstrukturahgaas AT gorevnb díagnostikaglibokihcentrívnamežíplívkapídkladkautonkoplívkovihepítaksíalʹnihstrukturahgaas AT kodžespirovaif díagnostikaglibokihcentrívnamežíplívkapídkladkautonkoplívkovihepítaksíalʹnihstrukturahgaas AT privaloven díagnostikaglibokihcentrívnamežíplívkapídkladkautonkoplívkovihepítaksíalʹnihstrukturahgaas AT gorevnb deeptrapdiagnosticsatthefilmsubstrateinterfaceingaasthinfilmepitaxialstructures AT kodžespirovaif deeptrapdiagnosticsatthefilmsubstrateinterfaceingaasthinfilmepitaxialstructures AT privaloven deeptrapdiagnosticsatthefilmsubstrateinterfaceingaasthinfilmepitaxialstructures |