Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах
Предложена технология формирования низкобарьерного катодного контакта Au.Ge.InP, обеспечивающая такие же выходные параметры диодов Ганна как и катодные контакты, полученные по более сложной технологии. Досліджено міжфазні взаємодії в контактах Ge-Au, Ge-TiBx та Au-TiBx-Au до n-n⁺-n⁺⁺-InP до і після...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51975 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах / Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, В.М. Ковтонюк, Н.С. Раевская, А.Е. Беляев, А.В. Бобыль, Р.В. Конакова, Я.Я. Кудрик, В.В. Миленин, С.В. Новицкий, В.Н. Шеремет // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862652540511846400 |
|---|---|
| author | Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. |
| author_facet | Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. |
| citation_txt | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах / Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, В.М. Ковтонюк, Н.С. Раевская, А.Е. Беляев, А.В. Бобыль, Р.В. Конакова, Я.Я. Кудрик, В.В. Миленин, С.В. Новицкий, В.Н. Шеремет // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена технология формирования низкобарьерного катодного контакта Au.Ge.InP, обеспечивающая такие же выходные параметры диодов Ганна как и катодные контакты, полученные по более сложной технологии.
Досліджено міжфазні взаємодії в контактах Ge-Au, Ge-TiBx та Au-TiBx-Au до n-n⁺-n⁺⁺-InP до і після швидкоїѕтермічної обробки та вихідні параметри діодів Ганна, виготовлених на основі структури InP з контактною металізацією Au-TiBx-Au-Ge, в діапазоні температури -40...+60°С. Показано, що омічний контакт до шару InPѕ формується внаслідок дифузії атомів Ge і Au вглиб шару, а вихідні параметри діодів Ганна з такими катодними контактами відповідають параметрам діодів Ганна, які отримано за складнішою технологією.
The article presents the research on interactions between phases in the Ge-Au, Ge-TiBx and Au-TiBx-Au contacts to n-n⁺-n⁺⁺-InP, both before and after rapid thermal annealing, and also the output parameters of Gunn diodes based on the InP structure with Au-TiBx-Au-Ge contact metallization in the -40...+60°С temperature range. It is shown that ohmic contacts to InP layer are formed as a result of diffusion of Ge and Au atoms deep inside the layer . The output parameters of Gunn diodes with Au-TiBx-Au-Ge cathode contacts agree with the data obtained for InP Gunn diodes made with the use of more complicated technology.
|
| first_indexed | 2025-12-01T21:08:54Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51975 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T21:08:54Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. 2013-12-22T00:20:58Z 2013-12-22T00:20:58Z 2010 Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах / Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, В.М. Ковтонюк, Н.С. Раевская, А.Е. Беляев, А.В. Бобыль, Р.В. Конакова, Я.Я. Кудрик, В.В. Миленин, С.В. Новицкий, В.Н. Шеремет // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51975 Предложена технология формирования низкобарьерного катодного контакта Au.Ge.InP, обеспечивающая такие же выходные параметры диодов Ганна как и катодные контакты, полученные по более сложной технологии. Досліджено міжфазні взаємодії в контактах Ge-Au, Ge-TiBx та Au-TiBx-Au до n-n⁺-n⁺⁺-InP до і після швидкоїѕтермічної обробки та вихідні параметри діодів Ганна, виготовлених на основі структури InP з контактною металізацією Au-TiBx-Au-Ge, в діапазоні температури -40...+60°С. Показано, що омічний контакт до шару InPѕ формується внаслідок дифузії атомів Ge і Au вглиб шару, а вихідні параметри діодів Ганна з такими катодними контактами відповідають параметрам діодів Ганна, які отримано за складнішою технологією. The article presents the research on interactions between phases in the Ge-Au, Ge-TiBx and Au-TiBx-Au contacts to n-n⁺-n⁺⁺-InP, both before and after rapid thermal annealing, and also the output parameters of Gunn diodes based on the InP structure with Au-TiBx-Au-Ge contact metallization in the -40...+60°С temperature range. It is shown that ohmic contacts to InP layer are formed as a result of diffusion of Ge and Au atoms deep inside the layer . The output parameters of Gunn diodes with Au-TiBx-Au-Ge cathode contacts agree with the data obtained for InP Gunn diodes made with the use of more complicated technology. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новые компоненты для электронной аппаратуры Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах Діоди Ганна з InP з катодним контактом, що інжектує гарячі електрони. Частина 1. Міжфазні взаємодії в катодних контактах InP Gunn diodes with a cathode contact injecting hot electrons. Part 1. Interactions between phases in the cathode contacts Article published earlier |
| spellingShingle | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| title | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_alt | Діоди Ганна з InP з катодним контактом, що інжектує гарячі електрони. Частина 1. Міжфазні взаємодії в катодних контактах InP Gunn diodes with a cathode contact injecting hot electrons. Part 1. Interactions between phases in the cathode contacts |
| title_full | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_fullStr | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_full_unstemmed | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_short | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_sort | диоды ганна из inp с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. часть 1. межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| topic | Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet | Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51975 |
| work_keys_str_mv | AT boltovecns diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT ivanovvn diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT kovtonûkvm diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT raevskaâns diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT belâevae diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT bobylʹav diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT konakovarv diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT kudrikââ diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT mileninvv diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT novickiisv diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT šeremetvn diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT boltovecns díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT ivanovvn díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT kovtonûkvm díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT raevskaâns díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT belâevae díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT bobylʹav díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT konakovarv díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT kudrikââ díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT mileninvv díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT novickiisv díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT šeremetvn díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT boltovecns inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT ivanovvn inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT kovtonûkvm inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT raevskaâns inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT belâevae inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT bobylʹav inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT konakovarv inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT kudrikââ inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT mileninvv inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT novickiisv inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT šeremetvn inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts |