Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах
Предложена технология формирования низкобарьерного катодного контакта Au.Ge.InP, обеспечивающая такие же выходные параметры диодов Ганна как и катодные контакты, полученные по более сложной технологии. Досліджено міжфазні взаємодії в контактах Ge-Au, Ge-TiBx та Au-TiBx-Au до n-n⁺-n⁺⁺-InP до і після...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51975 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах / Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, В.М. Ковтонюк, Н.С. Раевская, А.Е. Беляев, А.В. Бобыль, Р.В. Конакова, Я.Я. Кудрик, В.В. Миленин, С.В. Новицкий, В.Н. Шеремет // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51975 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. 2013-12-22T00:20:58Z 2013-12-22T00:20:58Z 2010 Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах / Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, В.М. Ковтонюк, Н.С. Раевская, А.Е. Беляев, А.В. Бобыль, Р.В. Конакова, Я.Я. Кудрик, В.В. Миленин, С.В. Новицкий, В.Н. Шеремет // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51975 Предложена технология формирования низкобарьерного катодного контакта Au.Ge.InP, обеспечивающая такие же выходные параметры диодов Ганна как и катодные контакты, полученные по более сложной технологии. Досліджено міжфазні взаємодії в контактах Ge-Au, Ge-TiBx та Au-TiBx-Au до n-n⁺-n⁺⁺-InP до і після швидкоїѕтермічної обробки та вихідні параметри діодів Ганна, виготовлених на основі структури InP з контактною металізацією Au-TiBx-Au-Ge, в діапазоні температури -40...+60°С. Показано, що омічний контакт до шару InPѕ формується внаслідок дифузії атомів Ge і Au вглиб шару, а вихідні параметри діодів Ганна з такими катодними контактами відповідають параметрам діодів Ганна, які отримано за складнішою технологією. The article presents the research on interactions between phases in the Ge-Au, Ge-TiBx and Au-TiBx-Au contacts to n-n⁺-n⁺⁺-InP, both before and after rapid thermal annealing, and also the output parameters of Gunn diodes based on the InP structure with Au-TiBx-Au-Ge contact metallization in the -40...+60°С temperature range. It is shown that ohmic contacts to InP layer are formed as a result of diffusion of Ge and Au atoms deep inside the layer . The output parameters of Gunn diodes with Au-TiBx-Au-Ge cathode contacts agree with the data obtained for InP Gunn diodes made with the use of more complicated technology. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новые компоненты для электронной аппаратуры Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах Діоди Ганна з InP з катодним контактом, що інжектує гарячі електрони. Частина 1. Міжфазні взаємодії в катодних контактах InP Gunn diodes with a cathode contact injecting hot electrons. Part 1. Interactions between phases in the cathode contacts Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| spellingShingle |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| title_short |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_full |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_fullStr |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_full_unstemmed |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| title_sort |
диоды ганна из inp с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. часть 1. межфазные взаимодействия в катодных контактах |
| author |
Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. |
| author_facet |
Болтовец, Н.С. Иванов, В.Н. Ковтонюк, В.М. Раевская, Н.С. Беляев, А.Е. Бобыль, А.В. Конакова, Р.В. Кудрик, Я.Я. Миленин, В.В. Новицкий, С.В. Шеремет В.Н. |
| topic |
Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet |
Новые компоненты для электронной аппаратуры |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Діоди Ганна з InP з катодним контактом, що інжектує гарячі електрони. Частина 1. Міжфазні взаємодії в катодних контактах InP Gunn diodes with a cathode contact injecting hot electrons. Part 1. Interactions between phases in the cathode contacts |
| description |
Предложена технология формирования низкобарьерного катодного контакта Au.Ge.InP, обеспечивающая такие же выходные параметры диодов Ганна как и катодные контакты, полученные по более сложной технологии.
Досліджено міжфазні взаємодії в контактах Ge-Au, Ge-TiBx та Au-TiBx-Au до n-n⁺-n⁺⁺-InP до і після швидкоїѕтермічної обробки та вихідні параметри діодів Ганна, виготовлених на основі структури InP з контактною металізацією Au-TiBx-Au-Ge, в діапазоні температури -40...+60°С. Показано, що омічний контакт до шару InPѕ формується внаслідок дифузії атомів Ge і Au вглиб шару, а вихідні параметри діодів Ганна з такими катодними контактами відповідають параметрам діодів Ганна, які отримано за складнішою технологією.
The article presents the research on interactions between phases in the Ge-Au, Ge-TiBx and Au-TiBx-Au contacts to n-n⁺-n⁺⁺-InP, both before and after rapid thermal annealing, and also the output parameters of Gunn diodes based on the InP structure with Au-TiBx-Au-Ge contact metallization in the -40...+60°С temperature range. It is shown that ohmic contacts to InP layer are formed as a result of diffusion of Ge and Au atoms deep inside the layer . The output parameters of Gunn diodes with Au-TiBx-Au-Ge cathode contacts agree with the data obtained for InP Gunn diodes made with the use of more complicated technology.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51975 |
| citation_txt |
Диоды Ганна из InP с катодным контактом, инжектирующим горячие электроны. Часть 1. Межфазные взаимодействия в катодных контактах / Н.С. Болтовец, В.Н. Иванов, В.М. Ковтонюк, Н.С. Раевская, А.Е. Беляев, А.В. Бобыль, Р.В. Конакова, Я.Я. Кудрик, В.В. Миленин, С.В. Новицкий, В.Н. Шеремет // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT boltovecns diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT ivanovvn diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT kovtonûkvm diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT raevskaâns diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT belâevae diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT bobylʹav diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT konakovarv diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT kudrikââ diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT mileninvv diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT novickiisv diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT šeremetvn diodygannaizinpskatodnymkontaktominžektiruûŝimgorâčieélektronyčastʹ1mežfaznyevzaimodeistviâvkatodnyhkontaktah AT boltovecns díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT ivanovvn díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT kovtonûkvm díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT raevskaâns díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT belâevae díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT bobylʹav díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT konakovarv díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT kudrikââ díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT mileninvv díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT novickiisv díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT šeremetvn díodigannazinpzkatodnimkontaktomŝoínžektuêgarâčíelektroničastina1mížfaznívzaêmodíívkatodnihkontaktah AT boltovecns inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT ivanovvn inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT kovtonûkvm inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT raevskaâns inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT belâevae inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT bobylʹav inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT konakovarv inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT kudrikââ inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT mileninvv inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT novickiisv inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts AT šeremetvn inpgunndiodeswithacathodecontactinjectinghotelectronspart1interactionsbetweenphasesinthecathodecontacts |
| first_indexed |
2025-12-01T21:08:54Z |
| last_indexed |
2025-12-01T21:08:54Z |
| _version_ |
1850860995861282816 |