Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов
Предложена конструкция контакта, позволяющая снизить пиковые значения тока и мощности рассеяния и тем самым повысить устойчивость резистора к параметрическим и катастрофическим отказам. Показано, що з метою зниження пікових значень струму та потужності розсіювання у контакті тонкоплівкового резистор...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51977 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 11-14. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859913001952346112 |
|---|---|
| author | Лугин, А.Н. Оземша, М.М. |
| author_facet | Лугин, А.Н. Оземша, М.М. |
| citation_txt | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 11-14. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена конструкция контакта, позволяющая снизить пиковые значения тока и мощности рассеяния и тем самым повысить устойчивость резистора к параметрическим и катастрофическим отказам.
Показано, що з метою зниження пікових значень струму та потужності розсіювання у контакті тонкоплівкового резистора, а отже, й підвищення стійкості резистора до параметричних та катастрофічних відмов необхідно збільшити товщину резистивного шару під контактом та в приграничній до контакту зоні резистивного елементу.
Necessity of resistive layer growth under the contact and in the contact zone of resistive element is shown in order to reduce peak values of current flow and power dissipation in the contact of thin film resistor, thereby to increase the resistor stability to parametric and catastrophic failures.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:03:27Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
11
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
19.04 2010 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. Â. Ã. ÑÏÈÐÈÍ
(Àðçàìàññêèé ïîëèòåõíè÷åñêèé èíñòèòóò)
Ê. ò. í. À. Í. ËÓÃÈÍ, Ì. Ì. ÎÇÅÌØÀ
Ðîññèÿ, ã. Ïåíçà, ÔÃÓÏ «ÍÈÈ ÝÌÏ»
E-mail: niiemp025@yandex.ru
ÏÎÂÛØÅÍÈÅ ÍÀÄÅÆÍÎÑÒÈ ÊÎÍÒÀÊÒÀ
ÒÎÍÊÎÏËÅÍÎ×ÍÛÕ ÐÅÇÈÑÒÎÐÎÂ
Ïðåäëîæåíà êîíñòðóêöèÿ êîíòàêòà,
ïîçâîëÿþùàÿ ñíèçèòü ïèêîâûå çíà÷åíèÿ
òîêà è ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ è òåì ñà-
ìûì ïîâûñèòü óñòîé÷èâîñòü ðåçèñòî-
ðà ê ïàðàìåòðè÷åñêèì è êàòàñòðîôè-
÷åñêèì îòêàçàì.
Ïîâûøåíèå íàäåæíîñòè òîíêîïëåíî÷íîãî êîíòàê-
òà óæå áîëåå ñîðîêà ëåò îñòàåòñÿ àêòóàëüíîé çàäà÷åé
ïðè ïðîåêòèðîâàíèè òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòîðîâ è
ñõåì íà èõ îñíîâå [1�5]. Ïðè ýòîì îñíîâíîå âíèìà-
íèå óäåëÿåòñÿ äâóì çàäà÷àì � ñíèæåíèþ ïëîòíîñòè
òîêà è ñíèæåíèþ ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ â ñëîÿõ êîí-
òàêòà.
Óâåëè÷åíèå ïëîòíîñòè òîêà è ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ
èç-çà Äæîóëåâà òåïëà ïðèâîäèò ê ýëåêòðîìèãðàöèè è
ýëåêòðîäèôôóçèè è âïîñëåäñòâèè ê êàòàñòðîôè÷åñêî-
ìó îòêàçó («ïåðåãîðàíèþ» ðåçèñòîðà). Ñ óëó÷øåíèåì
ýëåêòðè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê ðåçèñòîðîâ è, ïðåæäå
âñåãî, ñî ñíèæåíèåì äîïóñêàåìîãî îòêëîíåíèÿ ñîïðî-
òèâëåíèÿ è çíà÷åíèÿ ÒÊÑ óêàçàííûå ôàêòîðû íà÷àëè
âûñòóïàòü òàêæå â ðîëè äåñòàáèëèçèðóþùèõ.
Òåíäåíöèÿ ê âñå áîëüøåé ìèíèàòþðèçàöèè àïïàðà-
òóðû íàøëà ñâîå îòðàæåíèå â òðåáîâàíèÿõ ê ñíèæå-
íèþ ãàáàðèòîâ èçäåëèé, âûïîëíåííûõ, â ÷àñòíîñòè,
ïî òîíêîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè, à ñëåäîâàòåëüíî, è ê
óìåíüøåíèþ ðàçìåðîâ èõ êîíòàêòîâ, ÷òî ïðèâîäèò ê
óâåëè÷åíèþ ïëîòíîñòè òîêà è ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ â
êîíòàêòå. Ïîýòîìó èçó÷åíèå ïðîöåññîâ, õàðàêòåðèçó-
þùèõ ðàáî÷åå ñîñòîÿíèå êîíòàêòà, àíàëèç åãî êîíñò-
ðóêöèè è âûðàáîòêà ñïîñîáîâ îïòèìàëüíîãî ïðîåê-
òèðîâàíèÿ ñòàëè åùå áîëåå àêòóàëüíûìè.
Êàê ïîêàçàíî â [6, 7], ïðè ñîâåðøåíñòâîâàíèè
êîíòàêòà òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà èìååò ñìûñë ðàñ-
ñìàòðèâàòü òå ó÷àñòêè êîíòàêòà, â êîòîðûõ óäåëüíàÿ
ìîùíîñòü ðàññåÿíèÿ è ïëîòíîñòü òîêà ïðåâûøàþò
óäåëüíóþ ìîùíîñòü ðàññåÿíèÿ è ïëîòíîñòü òîêà ðå-
çèñòîðà. Ê òàêèì ó÷àñòêàì îòíîñèòñÿ íàíîðàçìåðíàÿ
çîíà ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ íà ãðàíèöå «êîíòàêò � ðåçè-
ñòèâíûé ýëåìåíò», â êîòîðîé, êàê âèäíî èç ðèñ. 1,
óêàçàííûå ïàðàìåòðû ìíîãîêðàòíî ïðåâûøàþò ðàñ-
÷åòíûå çíà÷åíèÿ [7]. (Çäåñü è äàëåå íà ðèñóíêàõ ðàñ-
÷åòíûå çíà÷åíèÿ ñîîòâåòñòâóþùèõ âåëè÷èí â ðåçèñ-
òèâíîì ýëåìåíòå îòìå÷åíû êðóæêîì).
Íàèáîëåå ýôôåêòèâíûì ñïîñîáîì ñíèæåíèÿ ìîù-
íîñòè ðàññåÿíèÿ ñ÷èòàåòñÿ ïðèìåíåíèå òàê íàçûâàå-
ìûõ «ãàíòåëüíûõ» ðåçèñòîðîâ, êîãäà ïðèãðàíè÷íàÿ ê
êîíòàêòó ÷àñòü ðåçèñòèâíîãî ýëåìåíòà èìååò ðàñøè-
ðåíèå â çîíå êîíòàêòà [8�10]. Ýòî, îäíàêî, ïðèâîäèò
ê óâåëè÷åíèþ ãàáàðèòîâ ðåçèñòîðà.
Ðèñ. 1. Ðàñïðåäåëåíèå îòíîñèòåëüíûõ çíà÷åíèé ïðîõîäÿ-
ùåãî òîêà j (à) è âåëè÷èíû ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ Ð (á) ïî
òîëùèíå l è äëèíå N+n ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ (N �äëèíà êîí-
òàêòà; n � äëèíà ðàñ÷åòíîé ÷àñòè ðåçèñòèâíîãî ýëåìåíòà;
I � âõîäíîé òîê)
y
x
z N+n
l
Ðàñ÷åòíàÿ ïî òîëùèíå
÷àñòü ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ
0,1
0,5
z / l
0,1 (N)
0,2 0,24
(N+n)
x, ìêì
j
I
0,2
0,1
0
0,9
à) á)
Ð, ìÂò
24
16
8
0 0,1 0,2 0,24
(N) (N+n)
x, ìêì
0,05
1,00
z / l
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
12
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
Àâòîðû [4] ïðåäëàãàþò óâåëè÷èâàòü òîëùèíó ðå-
çèñòèâíîãî ñëîÿ ïîä ìåòàëëèçàöèåé êîíòàêòà. Îäíà-
êî ðàñ÷åò ïî èçëîæåííîé â [6] ìåòîäèêå ïîêàçûâàåò,
÷òî èç-çà òàêîãî óòîëùåíèÿ ïîÿâëÿåòñÿ äîïîëíèòåëü-
íûé ó÷àñòîê ïðîõîæäåíèÿ òîêà, ÷òî ïðèâîäèò ê óâå-
ëè÷åíèþ ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ.  [3] ïðèìåíåíî ÷å-
òûðåõâûâîäíîå âêëþ÷åíèå ðåçèñòîðà, íî â ýòîì ñëó-
÷àå èñêëþ÷àåòñÿ òîëüêî ïàðàìåòðè÷åñêèé îòêàç, à ïðè-
÷èíû âîçìîæíîãî «ïåðåãîðàíèÿ» ðåçèñòîðà íå óñò-
ðàíÿþòñÿ. Â [11] ïðåäëàãàåòñÿ ââåäåíèå áàðüåðíîãî
ñëîÿ ìåæäó ìåòàëëèçàöèåé è ðåçèñòèâíûì ñëîåì,
îäíàêî ýòî íå óñòðàíÿåò ïðè÷èíû âîçíèêíîâåíèÿ íè
êàòàñòðîôè÷åñêîãî îòêàçà ðåçèñòîðà èç-çà ïåðåãîðà-
íèÿ, íè ïàðàìåòðè÷åñêîãî îòêàçà èç-çà âîçäåéñòâèÿ
ïîâûøåííîé òåìïåðàòóðû îò Äæîóëåâà òåïëà.
 [6] ïîêàçàíî, ÷òî ñíèçèòü ïëîòíîñòü òîêà è ìîù-
íîñòü ðàññåÿíèÿ â ïðèãðàíè÷íîé çîíå áåç óâåëè÷å-
íèÿ ãàáàðèòíûõ ðàçìåðîâ êîíòàêòà ìîæíî, ñíèçèâ
óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå ìàòåðèàëà ðåçèñòèâíîãî
ñëîÿ. Íî ýòîò ïðèåì èìååò äâà íåäîñòàòêà: âî-ïåð-
âûõ, óâåëè÷èâàåòñÿ äëèíà ðåçèñòèâíîé ëèíèè è, ñî-
îòâåòñòâåííî, ãàáàðèòû ðåçèñòîðà; âî-âòîðûõ, íå âñå-
ãäà èìåþòñÿ ðåçèñòèâíûå ìàòåðèàëû ñ çàäàííûì
óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì è òðåáóåìûìè ýëåêòðè-
÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè ïî âðåìåííîé è òåìïå-
ðàòóðíîé ñòàáèëüíîñòè.
Äëÿ ïîèñêà ïðèåìëåìîãî ðåøåíèÿ â íàñòîÿùåé
ðàáîòå áûëè ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ ïðè óñëîâèè,
÷òî èìååòñÿ ðåçèñòèâíûé ìàòåðèàë, õàðàêòåðèçóþùèé-
ñÿ îïðåäåëåííûìè âûñîêèìè ýëåêòðè÷åñêèìè õàðàê-
òåðèñòèêàìè â íåêîòîðîì äèàïàçîíå óäåëüíûõ ïîâåð-
õíîñòíûõ ñîïðîòèâëåíèé.
Íà îñíîâå ìåòîäèêè [6] áûëè ïîëó÷åíû çíà÷åíèÿ
ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ â ðåçèñòèâíîì ñëîå êîíòàêòà â
çàâèñèìîñòè îò òîëùèíû ðåçèñòèâíîé ïëåíêè. Áûëî
óñòàíîâëåíî, ÷òî ñ óâåëè÷åíèåì òîëùèíû ðåçèñòèâ-
íîãî ñëîÿ ïðè îäíîì è òîì æå îáúåìíîì óäåëüíîì
ñîïðîòèâëåíèè (ò. å., ïî ñóòè, ñ óìåíüøåíèåì óäåëü-
íîãî ïîâåðõíîñòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ρ) óìåíüøàåòñÿ
êàê ñóììàðíàÿ ïî òîëùèíå ìîùíîñòü ðàññåÿíèÿ, òàê
è ìîùíîñòü ðàññåÿíèÿ â âåðõíåì ñëîå ïëåíêè. Êàê
âèäíî èç ðèñ. 2, ýòî óìåíüøåíèå ïðîèñõîäèò ïî ãè-
ïåðáîëè÷åñêîìó çàêîíó, ò. å. îñíîâíîå ñíèæåíèå ìîù-
íîñòè ïðîèñõîäèò ïðè óâåëè÷åíèè òîëùèíû ïëåíêè
äî íåêîòîðîãî çíà÷åíèÿ, ïîñëå êîòîðîãî îíà ïðàêòè-
÷åñêè íå èçìåíÿåòñÿ. Ýòîò ôàêò ïîçâîëèë ïðåäëîæèòü
êîíñòðóêöèþ è òåõíîëîãèþ êîíòàêòà òîíêîïëåíî÷íîãî
ðåçèñòîðà, â êîòîðîì áåç óâåëè÷åíèÿ ãàáàðèòíûõ ðàç-
ìåðîâ äîñòèãàåòñÿ ñíèæåíèå ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ â
ïðèãðàíè÷íîé çîíå «êîíòàêò � ðåçèñòèâíûé ýëåìåíò».
Îòëè÷èòåëüíîé îñîáåííîñòüþ ïðåäëàãàåìîé êîí-
ñòðóêöèè ÿâëÿåòñÿ îáðàçîâàíèå ñòóïåíüêè � óâåëè-
÷åíèå òîëùèíû ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ ïîä êîíòàêòîì è â
ïðèãðàíè÷íîé ê êîíòàêòó çîíå ðåçèñòèâíîãî ýëåìåí-
òà íà äëèíå íå ìåíåå òðîéíîé òîëùèíû ðåçèñòèâíîãî
ñëîÿ, êàê ýòî ïîêàçàíî íà ðèñ. 3 (êîíñòðóêöèè êîí-
òàêòà ïðåäñòàâëåíû ñ ó÷åòîì äîïóùåíèÿ, ÷òî ñëîè íå
èìåþò êëèíà òðàâëåíèÿ, ïîñêîëüêó ýòî óïðîùàåò ðàñ-
÷åò, à ôîðìèðîâàíèå òàêèõ êîíñòðóêöèé âîçìîæíî �
îíî îáåñïå÷èâàåòñÿ ïðîãðåññèâíûìè ìåòîäàìè «ñó-
õîãî òðàâëåíèÿ»). Ñíèæåíèå óðîâíÿ ðàññåèâàåìîé
ìîùíîñòè, à òàêæå ïèêîâîãî òîêà ïðè ïðèìåíåíèè
êîíòàêòà òàêîé êîíñòðóêöèè ïîäòâåðæäàåòñÿ ðåçóëü-
òàòàìè ðàñ÷åòà, ïðåäñòàâëåííûìè íà ðèñ. 4, 5.
Äëÿ ðåàëèçàöèè ïðåäëîæåííîé êîíñòðóêöèè êîí-
òàêòà òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà ìîæíî èñïîëüçî-
âàòü «ñóõîå», íàïðèìåð èîííîå, òðàâëåíèå ðåçèñòèâ-
íîãî ñëîÿ íà çàäàííóþ ãëóáèíó. Ïðè ýòîì ñòàíîâèòñÿ
âîçìîæíûì ïðèìåíåíèå îäíîãî è òîãî æå ìàòåðèàëà
äëÿ âñåãî ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ � êàê ïîä ìåòàëëèçà-
öèåé â çîíå êîíòàêòà ðåçèñòèâíîãî ýëåìåíòà, òàê è â
ðåçèñòèâíîì ýëåìåíòå â öåëîì [12].
Ðèñ. 3. Ñå÷åíèå êîíòàêòà òîíêîïëåíî÷íîãî ðåçèñòîðà,
íàøåäøåãî íàèáîëüøåå ïðèìåíåíèå (à), ïðåäñòàâëåí-
íîãî â [4] (á) è ïðåäëàãàåìîãî â íàñòîÿùåé ðàáîòå (â),
à òàêæå îáúåìíîå èçîáðàæåíèå ïîñëåäíåãî (ã):
1 � ìåòàëëèçàöèÿ; 2, 4, 5 � ðåçèñòèâíûé ñëîé (ðåçèñòèâíàÿ
ïëåíêà); 3 � îñíîâíàÿ ÷àñòü ðåçèñòîðà (ðåçèñòèâíûé ýëåìåíò);
À � òî÷êà ïðèñîåäèíåíèÿ ñîåäèíèòåëüíîãî ïðîâîäíèêà è âõîäà
òîêà I â êîíòàêò
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü ñóììàðíîé ïî òîëùèíå ìîùíîñòè
ðàññåÿíèÿ PΣ(à) è ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ â âåðõíåì ñëîå
ðåçèñòèâíîé ïëåíêè P (á) îò òîëùèíû ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ
(ðàñ÷åòû ïðîâîäèëèñü äëÿ îäèíàêîâîé òîëùèíû âåðõíåãî ñëîÿ,
êîòîðàÿ ïðèíèìàëàñü ðàâíîé 0,1lmin, ò. å. 0,01 ìêì)
à)
á)
30
20
10
0 (0,1) 0,5 1,0 1,5 2,0 l, ìêì
0 (0,1) 0,5 1,0 1,5 2,0 l, ìêì
30
20
10
P
Σ,
ì
Â
ò
P
, ì
Â
ò
1
2 3
1
2 3
1
32
4
4
5
4
5
3
1
lc
l
lê
m
n′
M
n
N
à) á) â)
A
ã)
z
y
x
2
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
13
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
Ðèñ. 4. Ðàñïðåäåëåíèå ñóììàðíîé ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ PΣ â ðåçèñòèâíîì ñëîå ïî åãî äëèíå (à, á, â) è ìîùíîñòè P
ïî åãî òîëùèíå è äëèíå (ã, ä, å) äëÿ êîíñòðóêöèè íà ðèñ. 5, à, á, â, ñîîòâåòñòâåííî, ïðè I = 1 ìÀ, è èñõîäíûõ äàííûõ,
ïðèâåäåííûõ â òàáëèöå
Ð
, ì
Â
ò
â)
250
200
150
100
50
x, ìêì
(N) (N+n)
0 5 10 15 20
(N+n′)
Ð
, ì
Â
ò
å)
15 14 13 12 11 10
(N)
120
80
40
0
x, ìêì
(N+n′)
Ð
, ì
Â
ò
á)
x, ìêì
(N) (N+n)
0 5 10 15 20
250
200
150
100
50
ä)
Ð
, ì
Â
ò
120
80
40
0
15 14 13 12 11 10
(N)
2 0 1
z / l
x, ìêì
250
200
150
100
50
Ð
, ì
Â
ò
à)
x, ìêì
(N) (N+n)
0 5 10 15 20
ã)
x, ìêì
Ð
, ì
Â
ò
15 14 13 12 11 10
(N)
120
80
40
0
0 1
z / l
2 0 1
z / l
Ðèñ. 5. Ðàñïðåäåëåíèå îòíîñèòåëüíûõ çíà÷åíèé ïðîõîäÿ-
ùåãî ïî ðåçèñòèâíîé ïëåíêå òîêà ïî òîëùèíå è äëèíå
ïðèãðàíè÷íîé çîíû ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ:
à, á, â � äëÿ êîíñòðóêöèé êîíòàêòà íà ðèñ. 3, à, á, â, ñîîòâåòñòâåí-
íî, èñõîäíûåäàííûå � êàê è íà ðèñ. 4
à)
â)
á)
15 14 13 12 11 10
(N+n) x, ìêì (N)
0
1
j/I
0,2
0,1
0
15 14 13 12 11 10
x, ìêì (N)
0
1
2
j/I
0,1
0
15 14 13 12 11 10
(N+n′) x, ìêì (N)
j/I
0,1
0
0
1
2
z/l
z/l
z/l
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
14
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
Íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî ïðèìåíåíèå ïðåäëîæåí-
íîé êîíñòðóêöèè êîíòàêòà òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòî-
ðîâ âëå÷åò çà ñîáîé óñëîæíåíèå òåõíîëîãè÷åñêîãî
ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ è óâåëè÷åíèå çàòðàò íà ïðî-
èçâîäñòâî. Îäíàêî òàêàÿ êîíñòðóêöèÿ ïîçâîëÿåò ðå-
øàòü çàäà÷è äàëüíåéøåãî ñîâåðøåíñòâîâàíèÿ ïàðà-
ìåòðîâ òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòîðîâ.
Òàêèì îáðàçîì, óòîëùåíèå ðåçèñòèâíîãî ñëîÿ ïîä
ìåòàëëèçàöèåé êîíòàêòà è â ïðèãðàíè÷íîé ê êîíòàêòó
çîíå ðåçèñòèâíîãî ýëåìåíòà ïîçâîëÿåò ñíèçèòü ïèêî-
âûå çíà÷åíèÿ òîêà è ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ è òåì ñà-
ìûì ïîâûñèòü óñòîé÷èâîñòü ðåçèñòîðà ê ïàðàìåòðè-
÷åñêèì è êàòàñòðîôè÷åñêèì îòêàçàì.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Êàéíîâ Ñ. Â., Àëåêñååâà Ý. À. Èññëåäîâàíèå óñëîâèé ïîëó-
÷åíèÿ íàäåæíîãî ïëåíî÷íîãî êîíòàêòà // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà.
Ñåð. 9. Ðàäèîêîìïîíåíòû. � 1967. � Âûï. 5. � Ñ. 120�124.
2. Êðåñèí Î. Ì., Õàðèíñêèé À. Ë. Ìàòåìàòè÷åñêèé àíàëèç òîí-
êîïëåíî÷íîãî êîíòàêòà // Âîïðîñû ðàäèîýëåêòðîíèêè. Ñåð. Äåòàëè
è êîìïîíåíòû àïïàðàòóðû.� 1964.� Âûï. 5.� Ñ. 15�21.
3. Ïàò. Ïîëüøè 155937. Ïëåíî÷íûé ðåçèñòîð / Èçîáðåòåíèÿ
ñòðàí ìèðà.� 1992.� ¹ 3.� Ñ. 4.
4. À. ñ. 809411. Òîíêîïëåíî÷íûé ðåçèñòîð / Áåëåêîâ À. Ñ.,
Ãîëîâèí Â. È., Ñìèðíîâ À. Á., Þñèïîâ Í. Þ.� 1981.� Áþë. ¹ 8.
5. Ãèëüìóòäèíîâ À. Õ., Åðìàëàåâ Þ. Ï. Ìîäåëè îöåíêè ñî-
ïðîòèâëåíèÿ ïëåíî÷íûõ êîíòàêòîâ è ðåçèñòîðîâ ñ ðàñïðåäåëåí-
íûìè ïàðàìåòðàìè.� Êàçàíü: ÇÀÎ «Íîâîå çíàíèå», 2005.
6. Ëóãèí À. Í., Îçåìøà Ì. Ì. Ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå
êîíòàêòà òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñòîðîâ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóè-
ðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå. � 2006.� ¹6. � Ñ. 15�20.
7. Ëóãèí À. Í. Íàíîðàçìåðíûå ýôôåêòû ïðîñòðàíñòâåííîé
íåîäíîðîäíîñòè ðàñïðåäåëåíèÿ òîêà è ìîùíîñòè ðàññåÿíèÿ â òîí-
êîïëåíî÷íîì êîíòàêòå // Íàíî- è ìèêðîñèñòåìíàÿ òåõíèêà.�
2009.� ¹1.� Ñ. 2, 13�15.
8. Åðìîëàåâ Þ. Ï., Ïîíîìàðåâ Ì. Ä., Êðþêîâ Þ. Ã. Êîíñòðóê-
öèè è òåõíîëîãèÿ ìèêðîñõåì (ÃÈÑ ÁÃÈÑ) // Ñîâåòñêîå ðàäèî.�
1980.� Ñ. 254.
9. Ñïèðèí Â. Ã. Âûáîð êîíñòðóêöèé òîíêîïëåíî÷íûõ ðåçèñ-
òîðîâ äëÿ ìèêðîñáîðîê âûñîêîé èíòåãðàöèè // Ýëåêòðîííàÿ ïðî-
ìûøëåííîñòü.� ¹ 1.� 2005.� Ñ. 55�59.
10. Ïàò. ÑØÀ 3629782. Òîíêîïëåíî÷íûé ðåçèñòîð / 1971.
11. Ïàò. ÑØÀ 3649945 Òîíêîïëåíî÷íûé ðåçèñòîð /
14.03.1972.
12. Ïàò. ÐÔ 2330343. Òîíêîïëåíî÷íûé ðåçèñòîð / Ëóãèí À. Í.,
Îçåìøà Ì. Ì., Âëàñîâ Ã. Ñ.� 2008.� Áþë. ¹21.
¹ ñëîÿ
(ñì. ðèñ. 5)
1 200 2 20 1
2 200 2 20 10000
3 100 2 20 10000
4 200 2 20 10000
5 100 2 20 10000
ix
p
l
iy
p
l
il p
l ê
iρ
ρ
Âûñîêî÷óâñòâèòåëüíàÿ óñòàíîâêà äëÿ îöåíêè ïîêàçàòåëÿ ïðåëîìëåíèÿ âîäíûõ ðàñòâîðîâ
(Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû)
Àâòîòðàññîâûé ãàçîàíàëèçàòîð (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Íåêîòîðûå îñîáåííîñòè îãðàíè÷èòåëÿ òîêà íà ïîëåâîì òðàíçèñòîðå (Óçáåêèñòàí,
ã. Òàøêåíò)
Àíèçîòðîïíûé òåðìîýëåìåíò â ðåæèìå ãåíåðàöèè ÝÄÑ è òîêà (Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû)
Ïðîåêòèðîâàíèå ðàäèàòîðîâ ñ îïòèìàëüíûìè ìàññîãàáàðèòíûìè ïàðàìåòðàìè (Óêðàèíà,
ã. Çàïîðîæüå)
Ñèñòåìà îõëàæäåíèÿ èñïàðèòåëüíî-êîíäåíñàöèîííîãî òèïà äëÿ ðåíòãåíîâñêèõ òðóáîê
(Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ñëîèñòûå ñòðóêòóðû Ño/Ir è 3D-íàíîêîìïîçèòû íà îñíîâå ñîåäè-
íåíèé Co/Ir è Co (Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà)
Òåïëîòåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ðàäèàòîðà äëÿ ñèñòåì îõëàæäå-
íèÿ ðàäèîýëåêòðîííîé òåõíèêè (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
Ìîäåëèðîâàíèå ýëåêòðîòîêîâûõ ìèêðîðåëå (Áåëàðóñü, ã. Ìèíñê)
Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü ðàáî÷èõ õàðàêòåðèñòèê ïüåçîºëåêòðè÷å-
ñêèõ ñåíñîðîâ íà îñíîâå ïîëèâèíèëèäåíôòîðèäà (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
Ø
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
â
ï
îð
òô
åë
å
ð
åä
àê
ö
è
è
Ø
Ø
Ø
10�13 ÌÀß 2011 ÃÎÄÀ
ÑÀ Ì À ß Ê ÐÓ Ï Í À ß Â Ð Î Ñ Ñ È È
È Ñ Ò ÐÀ Í À Õ Â Î Ñ ÒÎ× Í Î É Å Â Ð Î Ï Û
Â Û Ñ ÒÀ Â Ê À Ò ÅË Å ÊÎ Ì Ì Ó Í È Ê À Ö È Î Í Í Î ÃÎ
Î Á Î Ð ÓÄ Î ÂÀ Í È ß ,
ÑÈÑÒÅÌ ÓÏÐÀÂËÅÍÈß,
È Í Ô Î ÐÌ À Ö È Î Í Í Û Õ Ò Å Õ Í ÎË Î Ã È É
È Ó ÑË Ó Ã Ñ Âß Ç È
«Ñâÿçü-Ýêñïîêîìì-2011»
www.sviaz-expocomm.ru
ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51977 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:03:27Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Лугин, А.Н. Оземша, М.М. 2013-12-22T00:27:37Z 2013-12-22T00:27:37Z 2010 Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 11-14. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51977 Предложена конструкция контакта, позволяющая снизить пиковые значения тока и мощности рассеяния и тем самым повысить устойчивость резистора к параметрическим и катастрофическим отказам. Показано, що з метою зниження пікових значень струму та потужності розсіювання у контакті тонкоплівкового резистора, а отже, й підвищення стійкості резистора до параметричних та катастрофічних відмов необхідно збільшити товщину резистивного шару під контактом та в приграничній до контакту зоні резистивного елементу. Necessity of resistive layer growth under the contact and in the contact zone of resistive element is shown in order to reduce peak values of current flow and power dissipation in the contact of thin film resistor, thereby to increase the resistor stability to parametric and catastrophic failures. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Электронные средства: исследования, разработки Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов Підвищення надійності контакту тонкоплівкових резисторів Reliability growth of thin film resistors contact Article published earlier |
| spellingShingle | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов Лугин, А.Н. Оземша, М.М. Электронные средства: исследования, разработки |
| title | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов |
| title_alt | Підвищення надійності контакту тонкоплівкових резисторів Reliability growth of thin film resistors contact |
| title_full | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов |
| title_fullStr | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов |
| title_full_unstemmed | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов |
| title_short | Повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов |
| title_sort | повышение надежности контакта тонкопленочных резисторов |
| topic | Электронные средства: исследования, разработки |
| topic_facet | Электронные средства: исследования, разработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51977 |
| work_keys_str_mv | AT luginan povyšenienadežnostikontaktatonkoplenočnyhrezistorov AT ozemšamm povyšenienadežnostikontaktatonkoplenočnyhrezistorov AT luginan pídviŝennânadíinostíkontaktutonkoplívkovihrezistorív AT ozemšamm pídviŝennânadíinostíkontaktutonkoplívkovihrezistorív AT luginan reliabilitygrowthofthinfilmresistorscontact AT ozemšamm reliabilitygrowthofthinfilmresistorscontact |