Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники

Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники

Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2010
Main Authors: Конакова, Р.В., Колядина, Е.Ю., Матвеева, Л.А, Нелюба, П.Л., Шинкаренко, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51983
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-519832025-02-09T17:31:56Z Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники Радіаційна технологія покращення омічних контактів до елементів електронної техніки Radiation technology for improvement of ohmic contacts to the electronic device elements Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. Технологические процессы и оборудование Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой. Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність мікрохвильоого відпалу полімер-фулеренового шару з обома металізаціями, та показано, що НВЧ-обробка знижує сумарний опір структури в обох випадках. Показано перспективність використання титанової металізації у порівнянні з золотою, та проаналізовано механізми, що обумовлюють якість титанової металізації.ѕ Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented. 2010 Article Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Конакова, Р.В.
Колядина, Е.Ю.
Матвеева, Л.А
Нелюба, П.Л.
Шинкаренко, В.В.
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой.
format Article
author Конакова, Р.В.
Колядина, Е.Ю.
Матвеева, Л.А
Нелюба, П.Л.
Шинкаренко, В.В.
author_facet Конакова, Р.В.
Колядина, Е.Ю.
Матвеева, Л.А
Нелюба, П.Л.
Шинкаренко, В.В.
author_sort Конакова, Р.В.
title Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
title_short Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
title_full Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
title_fullStr Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
title_full_unstemmed Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
title_sort радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2010
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983
citation_txt Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT konakovarv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki
AT kolâdinaeû radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki
AT matveevala radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki
AT nelûbapl radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki
AT šinkarenkovv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnojtehniki
AT konakovarv radíacíjnatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki
AT kolâdinaeû radíacíjnatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki
AT matveevala radíacíjnatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki
AT nelûbapl radíacíjnatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki
AT šinkarenkovv radíacíjnatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki
AT konakovarv radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements
AT kolâdinaeû radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements
AT matveevala radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements
AT nelûbapl radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements
AT šinkarenkovv radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements
first_indexed 2025-11-28T18:14:23Z
last_indexed 2025-11-28T18:14:23Z
_version_ 1850058919842414592
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5-6 40 ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 03.06 2010 ã. Îïïîíåíò ä. ô.-ì. í. À. Â. ÊÎÂÀËÜ×ÓÊ (ÈÔ ÍÀÍÓ, ã. Êèåâ) Ä. ò. í. Ð. Â. ÊÎÍÀÊÎÂÀ, Å. Þ. ÊÎËßÄÈÍÀ, ä. ô.-ì. í. Ë. À. ÌÀÒÂÅÅÂÀ, Ï. Ë. ÍÅËÞÁÀ, ê. ô.-ì. í.  Â. Â. ØÈÍÊÀÐÅÍÊÎ Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èíñòèòóò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíèêîâ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà ÍÀÍÓ E-mail: matveeva@isp.kiev.ua, konakova@isp.kiev.ua ÐÀÄÈÀÖÈÎÍÍÀß ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÓËÓ×ØÅÍÈß ÎÌÈ×ÅÑÊÈÕ ÊÎÍÒÀÊÒÎÂ Ê ÝËÅÌÅÍÒÀÌ ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÒÅÕÍÈÊÈ Èññëåäîâàíî âëèÿíèå òèïà ìåòàëëèçà- öèè è ìèêðîâîëíîâîãî îáëó÷åíèÿ íà ñâîé- ñòâà îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê ãåòåðî- ñòðóêòóðàì, ñîäåðæàùèì ôóëëåðåíû. Âûÿâëåíî ïðåèìóùåñòâî òèòàíîâîé ìåòàëëèçàöèè ïåðåä çîëîòîé.  ýëåêòðîííîé òåõíèêå øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ îìè- ÷åñêèå êîíòàêòû. Âîïðîñàì òåõíîëîãèè èõ èçãîòîâ- ëåíèÿ óäåëÿåòñÿ áîëüøîå âíèìàíèå â ñâÿçè ñ âàæíîé ðîëüþ ìåõàíèçìîâ ïðîòåêàíèÿ òîêà â ãåòåðîñòðóêòó- ðàõ íà ãðàíèöå ðàçäåëà «ìåòàëë � ïîëóïðîâîäíèê» [1].  ñåíñîðíûõ ñèñòåìàõ, ôîòîýëåêòðîíèêå è ñîë- íå÷íîé ýíåðãåòèêå íàáëþäàåòñÿ ðàçâèòèå òåíäåíöèè ê ïðèìåíåíèþ íèçêîòåìïåðàòóðíûõ òåõíîëîãèé èçãîòîâ- ëåíèÿ ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ äàò÷èêîâ ïàðàìåò- ðîâ ôèçè÷åñêèõ âåëè÷èí íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêî- âûõ ìàòåðèàëîâ ñ âêëþ÷åíèåì ôóëëåðåíîâ [2]. Èñ- ïîëüçîâàíèå òîíêîé ïëåíêè Ñ60 â êà÷åñòâå ïðîìåæó- òî÷íîãî ñëîÿ â ñòðóêòóðàõ «ìåòàëë � ïîëóïðîâîä- íèê» Au/Ti è Au/GaAs ïîçâîëèëî óëó÷øèòü ôîòîýëåê- òðè÷åñêèå ñâîéñòâà ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ íà èõ îñíîâå (âîçðîñëà ýôôåêòèâíîñòü ôîòîïðåîáðàçîâà- òåëåé). Âêëþ÷åíèå ôóëëåðåíîâ â ïîëèìåðíóþ ìàòðè- öó ïðåäñòàâëÿåò íàó÷íûé è ïðàêòè÷åñêèé èíòåðåñ ñ òî÷êè çðåíèÿ íàíîòåõíîëîãèé è ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ïðèáîðîñòðîåíèÿ. Íèçêîòåìïåðàòóðíûå ïîëèìåðíûå òåõíîëîãèè ñ èñïîëüçîâàíèåì ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñâîéñòâ ôóëëåðåíîâ Ñ60 òàêæå ïðèìåíÿþòñÿ äëÿ èç- ãîòîâëåíèÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíûõ è ñîëíå÷íûõ ýëåìåí- òîâ [3]. Ïðè ðàçðàáîòêå ïðèáîðîâ ýëåêòðîííîé òåõíèêè îñîáîå âíèìàíèå óäåëÿåòñÿ âûáîðó òèïà ìåòàëëèçà- öèè è òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ, ò. ê. îíè ìîãóò âëèÿòü íà ïàðàìåòðû èçãîòàâëèâàåìûõ ïðèáîðîâ. Äëÿ ïîâûøåíèÿ êà÷åñòâà ïîëóïðîâîäíè- êîâûõ ñòðóêòóð è ïðèáîðîâ ýëåêòðîííîé òåõíèêè ÷à- ñòî èñïîëüçóåòñÿ âîçìîæíîñòü èçìåíåíèÿ èõ ïàðà- ìåòðîâ ïîä äåéñòâèåì ëàçåðíîãî, ýëåêòðîííîãî è γ-îáëó÷åíèÿ, à òàêæå òåðìè÷åñêîãî îòæèãà. Îäíàêî äëÿ ôóëëåðåíñîäåðæàùèõ ñòðóêòóð ïåðå÷èñëåííûå àêòèâíûå âîçäåéñòâèÿ íå ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû èç-çà ðàñïàäà ôóëëåðåíîâ â ïðîöåññå òàêîé îáðàáîò- êè. Ïåðñïåêòèâíûì â ýòîì ñëó÷àå ÿâëÿåòñÿ ñðàâíè- òåëüíî ïðîñòîé, áûñòðûé è íåäîðîãîé êðàòêîâðåìåí- íûé ìèêðîâîëíîâîé îòæèã. Öåëüþ äàííîé ðàáîòû áûëî óñòàíîâëåíèå âëèÿíèÿ òèïà ìåòàëëèçàöèè íà ñâîéñòâà îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê ÷óâñòâèòåëüíûì ýëåìåíòàì ñåíñîðíîé òåõíèêè, èç- ãîòîâëåííûõ íà îñíîâå ïîëèìåðíûõ êîìïîçèòíûõ ïëåíîê ñ ôóëëåðåíàìè Ñ60, à òàêæå èñïîëüçîâàíèå êðàòêîâðåìåííîé ìèêðîâîëíîâîé îáðàáîòêè äëÿ óëó÷- øåíèÿ èõ ïàðàìåòðîâ. Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå ïîïåðå÷íîãî ñðåçà èññëåäóåìîé ñòðóêòóðû ôîòîïðåîáðàçóþùåé ÿ÷åéêè ïðåäñòàâëåíî íà ðèñ. 1. Îíà ñîñòîèò èç êðåìíèåâîé ïîäëîæêè 1, íèæíåãî ñëîÿ ìåòàëëèçàöèè 2 (òèòàíî- âàÿ ïëåíêà òîëùèíîé 40 íì), ïîëèìåðíîãî ñëîÿ ñ ôóë- ëåðåíàìè Ñ60 3 (90 íì) è âåðõíèõ ñëîåâ çîëîòîé è òèòàíîâîé ìåòàëëèçàöèè 4. Ñëîé íèæíåé ìåòàëëèçàöèè áûë ïîëó÷åí ñëåäóþ- ùèì îáðàçîì.  âàêóóìå 10�6 Òîðð ðåçèñòèâíûì ìå- òîäîì ðàçîãðåâàëè òèòàíîâóþ ñïèðàëü, è èñïàðÿþ- ùèåñÿ èç íåå àòîìû Òi îñàæäàëèñü íà êðåìíèåâóþ ïîäëîæêó. Âî èçáåæàíèå âîçíèêíîâåíèÿ òåðìè÷åñ- êèõ íàïðÿæåíèé â ñòðóêòóðå Ti/Si ïîäëîæêà íå ïîäî- ãðåâàëàñü. Íà ïîâåðõíîñòü ïîëó÷åííîãî òèòàíîâîãî ñëîÿ íà- íîñèëè ïóòåì ðàñïûëåíèÿ â öåíòðèôóãå ðàñòâîðåí- íóþ â òîëóîëå ñìåñü ïîëèìåðîâ ÐÑÂÌ ñ ôóëëåðåíà- ìè Ñ60 (6,6-ôåíèë-Ñ60-áóòèëàò ìåòèëîâîãî ýôèðà) è Ð3ÍÒ (ïîëè-3 ãåêñèíòèîôåí).  ïðîöåññå íàíåñåíèÿ ñìåñü íåïðåðûâíî êàïàëè íà âðàùàþùóþñÿ ñòðóê- òóðó Ti/Si. Ïîëó÷åííóþ ñèñòåìó ñ ïîëèìåðîì ñóøè- ëè íà âîçäóõå. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî äîáàâêà ê ÐÑÂÌ ïîëèìåðà Ð3ÍÒ ïðè ìàññîâîì ñîîòíîøåíèè 2:1 ñïî- ñîáñòâóåò ïîâûøåíèþ ýôôåêòèâíîñòè êîíâåðñèè ñîë- íå÷íîé ýíåðãèè â ýëåêòðè÷åñêóþ. Ðèñ. 1. Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå èññëåäóåìîé ñòðóêòóðû: 1 � êðåìíèåâàÿ ïîäëîæêà; 2 � ñëîé íèæíåé ìåòàëëèçàöèè; 3 � ïîëèìåðíûé ñëîé ñ Ñ60; 4 � âåðõíèå îìè÷åñêèå êîíòàêòû Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5-6 41 ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ Ñëåäóþùèé ýòàï èçãîòîâëåíèÿ ôîòîïðåîáðàçóþ- ùåé ãåòåðîñòðóêòóðû çàêëþ÷àëñÿ â íàíåñåíèè ñëîåâ âåðõíåé êîíòàêòíîé ìåòàëëèçàöèè. Íà ïîâåðõíîñòü ïî- ëèìåðíîãî ñëîÿ íàêëàäûâàëè ìàñêó ñ ïðÿìîóãîëü- íûìè îòâåðñòèÿìè, è â âàêóóìíîé êàìåðå íàíîñèëè òåðìè÷åñêèì èñïàðåíèåì òèòàíîâûå èëè çîëîòûå êîí- òàêòû. Äëÿ îïðåäåëåíèÿ îìè÷íîñòè êîíòàêòîâ èñïîëüçî- âàëè ÷åòûðåõçîíäîâûé ìåòîä. Ýëåêòðè÷åñêàÿ ñõåìà èçìåðåíèé ñóììàðíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ êîíòàêòíîé ñòðóêòóðû «ìåòàëëèçàöèÿ � ïîëèìåð» è ñîïðîòèâ- ëåíèÿ ïîëèìåðíîãî ñëîÿ íà ó÷àñòêå ìåæäó ìåòàëëè- çèðîâàííûìè êîíòàêòàìè ïðèâåäåíà íà ðèñ. 2. Íà êàæ- äûé èç äâóõ ñîñåäíèõ êîíòàêòîâ îäíîé ìåòàëëèçàöèè (Au èëè Ti) ðàçìåùàëè ïî äâà çîíäà. Îäíó ïàðó çîí- äîâ ñòàáèëèçèðîâàëè ïî òîêó, à íà äðóãîé ïàðå èç- ìåðÿëîñü íàïðÿæåíèå óíèâåðñàëüíûì âîëüòìåòðîì Â7-46. Ïðè ýòîì îïðåäåëÿëîñü ñóììàðíîå ñîïðîòèâ- ëåíèå ñòðóêòóðû «ìåòàëë � ïîëèìåðíûé êîìïîçèò � ìåòàëë» äëÿ êàæäîãî òèïà âåðõíåé ìåòàëëèçàöèè. Èñïîëüçóåìàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ñõåìà ïîçâîëÿëà èñêëþ- ÷èòü âëèÿíèå ñîïðîòèâëåíèÿ èçìåðèòåëüíûõ ïðèáî- ðîâ íà ðåçóëüòàòû èçìåðåíèé. Àíàëèç ïîëó÷åííûõ äàííûõ ïîêàçàë, ÷òî ïîëíîå ñîïðîòèâëåíèå èñõîäíûõ ñòðóêòóð çàâèñèò îò òèïà âåðõíåé ìåòàëëèçàöèè. Äëÿ ñòðóêòóð ñ çîëîòîé ìå- òàëëèçàöèåé åãî âåëè÷èíà (RAu) â íåñêîëüêî ðàç ïðå- âûøàëà ñîïðîòèâëåíèå ñòðóêòóð ñ òèòàíîâîé ìåòàë- ëèçàöèåé (RTi) (ñì. ðèñ. 3). Òàêîå ðàçëè÷èå ìîæåò áûòü îáóñëîâëåíî ñëåäóþùèìè ôàêòîðàìè. Âî-ïåð- âûõ, ôàçîâûå äèàãðàììû «çîëîòî � óãëåðîä» è «òè- òàí � óãëåðîä» óêàçûâàþò íà âîçìîæíîñòü êàðáèäè- çàöèè òèòàíà (îáðàçîâàíèå õèìè÷åñêîé ñâÿçè Ti�Ñ) è îòñóòñòâèå òàêîé âîçìîæíîñòè äëÿ çîëîòà. Âî-âòîðûõ, â [4] ìåòîäàìè ðåíòãåíîâñêîé, ôîòîýëåêòðîííîé ñïåê- òðîñêîïèè è ñèíõðîòðîííîãî èçëó÷åíèÿ áûëè èññëå- äîâàíû ïðîöåññû îñàæäåíèÿ ðàçëè÷íûõ ìåòàëëîâ (Ti, Ñr, Au, La, In) íà ïîâåðõíîñòü ïëåíîê ôóëëåðåíîâ Ñ60. Àâòîðàìè [4] áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî Ti è La íà íà- ÷àëüíûõ ñòàäèÿõ ðîñòà îáðàçóþò êàðáèäû, à çàòåì ïðîèñõîäèò êëàñòåðèçàöèÿ àòîìîâ ìåòàëëà. Ïðè îñàæ- äåíèè Au, Ñr è In óæå íà íà÷àëüíûõ ñòàäèÿõ ðîñòà ïðîèñõîäèò ïåðåìåøèâàíèå àòîìîâ ìåòàëëà ñ Ñ60 áåç îáðàçîâàíèÿ îáúåìíîãî ìåòàëë-ôóëëåðèäíîãî êîìïà- óíäà, ò. å. ñðàçó îáðàçóþòñÿ ìåòàëëè÷åñêèå êëàñòå- ðû. Òåíäåíöèÿ ê îáðàçîâàíèþ ìîíîñëîÿ Ti è La ïðè îñàæäåíèè íà ñëîé ôóëëåðåíîâ Ñ60 îòðàæàåò ãèáðè- äèçàöèþ ìåòàëëè÷åñêîé d- è ôóëëåðåíîâîé ð-îðáèòà- ëåé ïî àíàëîãèè ñ îáðàçîâàíèåì îáúåìíûõ êàðáè- äîâ, òîëüêî ïðè ýòîì ñïàðèâàþòñÿ ìîëåêóëÿðíûå îð- áèòàëè, à íå àòîìíûå. Ïðè ñïàðèâàíèè îðáèòàëåé Ñ2ð ñ Ti3d ïðîèñõîäèò ãèáðèäèçàöèÿ óðîâíåé LUMO â Ñ60 ñ Ti3d óðîâíÿìè òèòàíà, è îáðàçîâàííàÿ ñòðóêòóðà TiõÑ60y ÿâëÿåòñÿ ñêîðåå ïëàíàðíîé, ÷åì òðåõìåðíîé. Â-òðåòüèõ, â [5] îïòè÷åñêèìè ìåòîäàìè (ôîòîëþìè- íåñöåíöèè, êîìáèíàöèîííîãî ðàññåÿíèÿ ñâåòà è îï- òè÷åñêîé ïðîâîäèìîñòè) áûëî ïîäòâåðæäåíî îáðà- çîâàíèå íîâîé ôàçû ïðè îñàæäåíèè òèòàíîâûõ ñëîåâ íà ïëåíêè ôóëëåðåíà Ñ60, êîòîðàÿ íå ïðèíàäëåæèò íè ôóëëåðåíó, íè òèòàíó. Ó÷èòûâàÿ ðåçóëüòàòû [4, 5], áóäåì ñ÷èòàòü, ÷òî â èññëåäóåìûõ íàìè ñòðóêòóðàõ íà ãðàíèöå òèòàíîâîé ìåòàëëèçàöèè ñ ïîëèìåðîì, ñîäåðæàùèì ôóëëåðåíû Ñ60, òîæå âîçìîæíà ãèáðèäèçàöèÿ d-îðáèòàëåé Ti è ð-îðáèòàëåé ôóëëåðåíà. Ýòî ïðîèñõîäèò êàê íà âåðõ- íåì, òàê è íà íèæíåì òèòàíîâûõ êîíòàêòàõ. Ñëåäîâà- òåëüíî, îáðàçîâàíèå TiõÑ60y ñíèæàåò áàðüåðíûé êîí- òàêò «Ti � ïîëèìåð», è îñíîâíîé âêëàä â îáùåå ñî- ïðîòèâëåíèå ñòðóêòóðû ñ òèòàíîâîé ìåòàëëèçàöèåé âíîñèò ñîïðîòèâëåíèå êîìïîçèòíîé ïîëèìåðíîé ïëåí- êè. Ïîñêîëüêó çîëîòî íå âçàèìîäåéñòâóåò ñ ôóëëåðå- íàìè, ñîïðîòèâëåíèå êîíòàêòà «Au � ïîëèìåð» áîëü- øå ñîïðîòèâëåíèÿ «Ti � ïîëèìåð», ÷òî ïðèâîäèò ê áîëüøåìó ñîïðîòèâëåíèþ ñòðóêòóðû â ñëó÷àå çîëî- òîé ìåòàëëèçàöèè. Äëÿ ðàäèàöèîííîé îáðàáîòêè ñòðóêòóð èñïîëüçî- âàëîñü ìèêðîâîëíîâîå îáëó÷åíèå èìïóëüñàìè ÷àñ- òîòîé 2,45 ÃÃö ìîùíîñòüþ 1,5 Âò/ñì2 äëèòåëüíîñòüþ 1 ñ. Ñóììàðíîå âðåìÿ îáëó÷åíèÿ íå ïðåâûøàëî 10 ñ. Ìèêðîâîëíîâàÿ îáðàáîòêà óìåíüøàëà ñóììàðíîå ñîïðîòèâëåíèå ñòðóêòóðû êàê ñ òèòàíîâîé, òàê è ñ çîëîòîé ìåòàëëèçàöèåé (ðèñ. 3), íî ïðè ýòîì îíà áûëà áîëåå ýôôåêòèâíîé äëÿ ñòðóêòóðû ñ òèòàíîâîé ìå- òàëëèçàöèåé, ÷åì äëÿ ñòðóêòóðû ñ çîëîòîé ìåòàëëè- çàöèåé, ïðè÷åì ýòà ýôôåêòèâíîñòü âîçðàñòàëà ñ óâå- ëè÷åíèåì äëèòåëüíîñòè ÑÂ×-îáðàáîòêè (ðèñ. 4). Âëèÿíèå òèïà ìåòàëëèçàöèè íà ñòåïåíü óìåíüøå- íèÿ îáùåãî ñîïðîòèâëåíèÿ ñòðóêòóðû «ìåòàëë � ïîëèìåð � ìåòàëë» ïðè ìèêðîâîëíîâîé îáðàáîòêå ãåòåðîñòðóêòóð ñ ôóëëåðåíàìè îáúÿñíÿåòñÿ íåñêîëü- êèìè ôàêòîðàìè. Îäèí èç íèõ � ýòî íàëè÷èå ïðî- öåññîâ ðàäèàöèîííî-ñòèìóëèðîâàííîé äèôôóçèè, êî- òîðûå â íàøåì ñëó÷àå èìåþò ìåñòî â ïðèêîíòàêòíûõ îáëàñòÿõ «Ti � ïîëèìåð» è «Au � ïîëèìåð». Ýòè ïðîöåññû ïðèâîäÿò ê óëó÷øåíèþ îìè÷åñêîãî êîíòàêòà Ðèñ. 2. Ýëåêòðè÷åñêàÿ ñõåìà èçìåðåíèÿ êîí- òàêòíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ: 1, 2 � ïàðà çîíäîâ äëÿ ñòà- áèëèçàöèè òîêà; 3, 4 � ïàðà çîíäîâ äëÿ èçìåðåíèÿ íàïðÿ- æåíèÿ I=constV 1 23 4 RAu, Îì 2,4 1,6 0,8 0 2 4 6 8 t, ñ RTi, Îì 0,24 0,16 0,08 0 1 2 Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ïîëíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ñòðóêòóðû ñ çîëîòîé (1) è ñ òèòàíîâîé (2) âåðõíåé ìåòàëëèçàöèåé îò äëèòåëüíîñòè ìèêðîâîëíîâîãî îáëó÷åíèÿ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5-6 42 ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ìåòàëëà ê ïîëèìåðó áëàãîäàðÿ èíòåðäèôôóçèè íà èõ ãðàíèöå ðàçäåëà, ñòèìóëèðîâàííîé ÑÂ×-îáëó÷åíèåì. Ïðè ýòîì âîçðàñòàåò êîíòàêòèðóþùàÿ ïîâåðõíîñòü, à â ñëó÷àå òèòàíîâîé ìåòàëëèçàöèè ïîÿâëÿåòñÿ âåðîÿò- íîñòü îáðàçîâàíèÿ êàðáèäà TiõÑ60y íå òîëüêî íà ïî- âåðõíîñòè ïîëèìåðíîãî ñëîÿ, íî è â ïðèêîíòàêòíîé îáëàñòè.  ñëó÷àå æå çîëîòîé ìåòàëëèçàöèè, êàê áûëî óêàçàíî âûøå, êàðáèäû íå îáðàçóþòñÿ. Âòîðûì ôàê- òîðîì, âëèÿþùèì íà óìåíüøåíèå ñîïðîòèâëåíèÿ ñòðóêòóðû â ïðîöåññå ìèêðîâîëíîâîé îáðàáîòêè, ÿâ- ëÿåòñÿ ðàäèàöèîííî-ñòèìóëèðîâàííîå óïîðÿäî÷åíèå îáúåìà ïîëèìåðíîãî ñëîÿ â ãåòåðîñòðóêòóðå, à òàêæå ãðàíèöû ðàçäåëà «Ti � ïîëèìåð». Ýòî ñëåäóåò èç ðå- çóëüòàòîâ èññëåäîâàíèÿ äàííûõ ãåòåðîñòðóêòóð ìå- òîäîì ìîäóëÿöèîííîé ñïåêòðîñêîïèè ýëåêòðîîòðàæå- íèÿ ñâåòà.  [6] áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî ïîä äåéñòâè- åì ÑÂ×-îáðàáîòêè ðåëàêñèðóþò âíóòðåííèå ìåõàíè- ÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ íà ãðàíèöå ðàçäåëà «Ti � ïîëè- ìåð», äîïîëíèòåëüíî îáðàçóåòñÿ ñîåäèíåíèå Ñ60 ñ Ti, óìåíüøàåòñÿ ïàðàìåòð óøèðåíèÿ ñïåêòðà ýëåêòðîîò- ðàæåíèÿ îò ïîëèìåðà, âîçðàñòàåò âðåìÿ ýíåðãåòè÷å- RAu/RTi 50 40 30 20 10 0 2 4 6 8 t, ñ Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü îòíîøåíèÿ ñîïðîòèâëåíèé RAu è RTi îò äëèòåëüíîñòè ìèêðîâîëíîâîé îáðàáîòêè ñêîé ðåëàêñàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà, âîçáóæäåííûõ â íåì ñâåòîì. Ýòè ôàêòû ñâèäåòåëüñòâóþò îá óëó÷øå- íèè ñòðóêòóðíîãî ñîâåðøåíñòâà â ïîëèìåðå ïî ìåðå óâåëè÷åíèÿ äëèòåëüíîñòè ìèêðîâîëíîâîé îáðàáîòêè. *** Òàêèì îáðàçîì, ïðè èçãîòîâëåíèè îìè÷åñêèõ êîí- òàêòîâ ê ýëåìåíòàì ýëåêòðîííîé òåõíèêè, ñîäåðæà- ùèì ôóëëåðåíû, ðåêîìåíäóåòñÿ èñïîëüçîâàòü ìàòå- ðèàëû, îáðàçóþùèå êàðáèäíûå ñîåäèíåíèÿ ñ ôóëëå- ðåíàìè. Èç äâóõ íàèáîëåå ðàñïðîñòðàíåííûõ â íà- ñòîÿùåå âðåìÿ òèïîâ ìåòàëëèçàöèè � Ti è Au � â äàííîì ñëó÷àå ïðåäïî÷òèòåëüíîé ÿâëÿåòñÿ òèòàíîâàÿ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Áëàíê Ò. Â., Ãîëüäáåðã Þ. À. Ìåõàíèçìû ïðîòåêàíèÿ òîêà â îìè÷åñêèõ êîíòàêòàõ ìåòàëë-ïîëóïðîâîäíèê. Îáçîð // Ôèçèêà è òåõíèêà ïîëóïðîâîäíèêîâ.� 2007.� Ò. 41, ¹ 11.� Ñ. 1281� 1308. 2. Narajanan L. K., Jamaguchi M. Photovoltaic effects of a:C/ C60/Si solar cells structures // Solar Energy Materials and Solar Cells.� 2003.� V. 75.� P. 345�350. 3. Arndt C., Zhokhavets U., Mohr M. et al. Determination of polaron lifetimes and mobility in a polymer/fullerene solar cell by means of photoinduced absorption // Synthetic Materials.� 2004.� Vol. 147, N 1�3.� P. 257�260. 4. Ohno T. R., Chen Y., Harvey S. E. et al. Metal-overlayer formation on C60 for Ti, Cr, Au, La and In: Dependence on metal- C60 bonding // Phys. Rev. B.� 1992. Vol. 47, N. 4.� P. 2389� 2393. 5. Áóëàâ³í Ë. À., Äìèòðåíêî Î. Ï., Á³ëèé Ì. Ì. òà ³í. Åëåêò- ðîííà òà êîëèâíà ñòðóêòóðà ïë³âîê Ñ60 ç ìåòàëàìè // Ô³çèêà ³ õ³ì³ÿ òâåðäîãî ò³ëà.� 2008.� Ò. 9, ¹ 2.� Ñ. 328�332. 6. Konakova R. V., Matveeva L. A., Kolyadina E. Yu. et al. Interdiffusion and quantum dimensional effect in solar cells with fullerene // 3rd Int. Conf. Proceedings «Physics of electron materials».� 2008.� Kaluga: KSPU Press, 2008.� Vol. 1.� P. 196�201. ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ Í Î Â Û Å Ê Í È Ã È Áåðëèí Å. Â., Ñåéäìàí Ë. À. Èîííî-ïëàçìåííûå ïðîöåññû â òîíêîïëå- íî÷íîé òåõíîëîãèè.� Ì.: Òåõíîñôåðà, 2010.� 528 c. Êíèãà ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ïîäðîáíîå ñïðàâî÷íîå ðóêîâîäñòâî ïî îñíîâíûì âàêó- óìíûì ïëàçìîõèìè÷åñêèì ïðîöåññàì â òîíêîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè � ðåàêòèâíî- ìó ìàãíåòðîííîìó íàíåñåíèþ òîíêèõ ïëåíîê è èîííî-ïëàçìåííîìó òðàâëåíèþ.  êíèãå ñîäåðæèòñÿ ïîäðîáíîå îïèñàíèå ìàãíåòðîííûõ íàïûëèòåëüíûõ óñòàíî- âîê è ïëàçìîõèìè÷åñêèõ óñòàíîâîê äëÿ òðàâëåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê; ðàññìîòðåíû òåõíîëîãè÷åñêèå îñîáåííîñòè èõ èñïîëüçîâàíèÿ; îïèñàíû ñïîñîáû óïðàâëåíèÿ ïðîöåññàìè ðåàêòèâíîãî íàíåñåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê è èñïîëüçîâàíèÿ ñðåäíå÷àñ- òîòíûõ èìïóëüñíûõ èñòî÷íèêîâ ïèòàíèÿ; ïîêàçàíû òåõíîëîãè÷åñêèå îñîáåííîñ- òè ïîëó÷åíèÿ òîíêèõ ïëåíîê òðîéíûõ õèìè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé ìåòîäîì ðåàêòèâ- íîãî ìàãíåòðîííîãî ñîðàñïûëåíèÿ; îïèñàíà ñòðóêòóðà ïîëó÷àåìûõ ïëåíîê, à òàêæå åå çàâèñèìîñòü îò ïàðàìåòðîâ ïðîöåññà íàíåñåíèÿ, ïðèâåäå- íû ïðèíöèïû êîíñòðóèðîâàíèÿ èñòî÷íèêà âûñîêî÷àñòîòíîãî ðàç- ðÿäà âûñîêîé ïëîòíîñòè äëÿ èîííîãî èëè ïëàçìîõèìè÷åñêîãî ïðå- öèçèîííîãî òðàâëåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê, à òàêæå åãî èñïîëüçîâàíèÿ äëÿ ñòèìóëèðîâàííîãî ïëàçìîé îñàæäåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê. Ðàññ÷èòàíà íà ñïåöèàëèñòîâ â îáëàñòè ýëåêòðîííîé òåõíèêè, íàíî- òåõíîëîãèè, òåõíîëîãèè ïðîèçâîäñòâà è èçãîòîâëåíèÿ ñïåöèàëèçè- ðîâàííîãî îáîðóäîâàíèÿ. Òàêæå áóäåò ïîëåçíà äëÿ ñòóäåíòîâ ñòàð- øèõ êóðñîâ è àñïèðàíòîâ ñîîòâåòñòâóþùèõ ñïåöèàëèçàöèé.

Similar Items