Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2010
• ISSN: 2225-5818
• Main Authors: Конакова, Р.В., Колядина, Е.Ю., Матвеева, Л.А, Нелюба, П.Л., Шинкаренко, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой. Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність м...