Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
Рассмотрена технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе и ее преимущества по сравнению с традиционными методами сборки, а также области применения микроэлектронной аппаратуры, в которой используются такие микросхемы. Розглянуто технологію складання мікросхем на гнучкому поліімідному н...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51984 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе / Н.И. Плис, В.Г. Вербицкий, В.Д. Жора, В.Н. Волнистов, В.П. Грунянская, Н.Н. Сергеева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 43-45. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51984 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Плис, Н.И. Вербицкий, В.Г. Жора, В.Д. Волнистов, В.Н. Грунянская, В.П. Сергеева, Н.Н. 2013-12-22T00:58:21Z 2013-12-22T00:58:21Z 2010 Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе / Н.И. Плис, В.Г. Вербицкий, В.Д. Жора, В.Н. Волнистов, В.П. Грунянская, Н.Н. Сергеева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 43-45. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51984 Рассмотрена технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе и ее преимущества по сравнению с традиционными методами сборки, а также области применения микроэлектронной аппаратуры, в которой используются такие микросхемы. Розглянуто технологію складання мікросхем на гнучкому поліімідному носії. Показано, що такі мікросхеми відрізняються високою надійністю та мають перевагу у порівнянні з іншими конструкціями ІС у випадках їх використання у складі герметичних мікроскладань, у мікроелектронній апаратурі, що працює в умовах великих прискорень, ударних та радіаційних навантажень.ѕ The research is devoted to technology of microcircuit assembly on flexible polyimide substrate. It is proved that such microcircuits provide high reliability and have advantage over other IC models when applied in hermetic micro-assemblies in microelectronic devices that operate under high accelerations, shocks and strong radiation. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе Технологія складання мікросхем на гнучкому полімідному носії The technology of microcircuit assembly on flexible polyimide substrate Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе |
| spellingShingle |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе Плис, Н.И. Вербицкий, В.Г. Жора, В.Д. Волнистов, В.Н. Грунянская, В.П. Сергеева, Н.Н. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе |
| title_full |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе |
| title_fullStr |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе |
| title_full_unstemmed |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе |
| title_sort |
технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе |
| author |
Плис, Н.И. Вербицкий, В.Г. Жора, В.Д. Волнистов, В.Н. Грунянская, В.П. Сергеева, Н.Н. |
| author_facet |
Плис, Н.И. Вербицкий, В.Г. Жора, В.Д. Волнистов, В.Н. Грунянская, В.П. Сергеева, Н.Н. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2010 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Технологія складання мікросхем на гнучкому полімідному носії The technology of microcircuit assembly on flexible polyimide substrate |
| description |
Рассмотрена технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе и ее преимущества по сравнению с традиционными методами сборки, а также области применения микроэлектронной аппаратуры, в которой используются такие микросхемы.
Розглянуто технологію складання мікросхем на гнучкому поліімідному носії. Показано, що такі мікросхеми відрізняються високою надійністю та мають перевагу у порівнянні з іншими конструкціями ІС у випадках їх використання у складі герметичних мікроскладань, у мікроелектронній апаратурі, що працює в умовах великих прискорень, ударних та радіаційних навантажень.ѕ
The research is devoted to technology of microcircuit assembly on flexible polyimide substrate. It is proved that such microcircuits provide high reliability and have advantage over other IC models when applied in hermetic micro-assemblies in microelectronic devices that operate under high accelerations, shocks and strong radiation.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51984 |
| citation_txt |
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе / Н.И. Плис, В.Г. Вербицкий, В.Д. Жора, В.Н. Волнистов, В.П. Грунянская, Н.Н. Сергеева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 43-45. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT plisni tehnologiâsborkimikroshemnagibkompoliimidnomnositele AT verbickiivg tehnologiâsborkimikroshemnagibkompoliimidnomnositele AT žoravd tehnologiâsborkimikroshemnagibkompoliimidnomnositele AT volnistovvn tehnologiâsborkimikroshemnagibkompoliimidnomnositele AT grunânskaâvp tehnologiâsborkimikroshemnagibkompoliimidnomnositele AT sergeevann tehnologiâsborkimikroshemnagibkompoliimidnomnositele AT plisni tehnologíâskladannâmíkroshemnagnučkomupolímídnomunosíí AT verbickiivg tehnologíâskladannâmíkroshemnagnučkomupolímídnomunosíí AT žoravd tehnologíâskladannâmíkroshemnagnučkomupolímídnomunosíí AT volnistovvn tehnologíâskladannâmíkroshemnagnučkomupolímídnomunosíí AT grunânskaâvp tehnologíâskladannâmíkroshemnagnučkomupolímídnomunosíí AT sergeevann tehnologíâskladannâmíkroshemnagnučkomupolímídnomunosíí AT plisni thetechnologyofmicrocircuitassemblyonflexiblepolyimidesubstrate AT verbickiivg thetechnologyofmicrocircuitassemblyonflexiblepolyimidesubstrate AT žoravd thetechnologyofmicrocircuitassemblyonflexiblepolyimidesubstrate AT volnistovvn thetechnologyofmicrocircuitassemblyonflexiblepolyimidesubstrate AT grunânskaâvp thetechnologyofmicrocircuitassemblyonflexiblepolyimidesubstrate AT sergeevann thetechnologyofmicrocircuitassemblyonflexiblepolyimidesubstrate |
| first_indexed |
2025-11-26T22:32:14Z |
| last_indexed |
2025-11-26T22:32:14Z |
| _version_ |
1850778476814008320 |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
43
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
14.06 2010 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. Â. Â. ÁÀÐÀÍÎÂ
(ÁÃÓÈÐ, ã. Ìèíñê)
Í. È. ÏËÈÑ, ä. ò. í. Â. Ã. ÂÅÐÁÈÖÊÈÉ, ê. ò. í. Â. Ä. ÆÎÐÀ,
Â. Í. ÂÎËÍÈÑÒÎÂ, Â. Ï. ÃÐÓÍßÍÑÊÀß, Í. Í. ÑÅÐÃÅÅÂÀ
Ðîññèÿ, ã. Ìîñêâà, ÎÀÎ �Àíãñòðåì�;
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ ÍÒÊ �ÈÌÊ� ÍÀÍÓ
E-mail: vdzhora@ukrpost.net
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÑÁÎÐÊÈ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ ÍÀ ÃÈÁÊÎÌ
ÏÎËÈÈÌÈÄÍÎÌ ÍÎÑÈÒÅËÅ
Ðàññìîòðåíà òåõíîëîãèÿ ñáîðêè ìèêðî-
ñõåì íà ãèáêîì ïîëèèìèäíîì íîñèòåëå
è åå ïðåèìóùåñòâà ïî ñðàâíåíèþ ñ òðà-
äèöèîííûìè ìåòîäàìè ñáîðêè, à òàê-
æå îáëàñòè ïðèìåíåíèÿ ìèêðîýëåêò-
ðîííîé àïïàðàòóðû, â êîòîðîé èñïîëü-
çóþòñÿ òàêèå ìèêðîñõåìû.
 80-å ãîäû ïðîøëîãî âåêà â ÑÑÑÐ íà÷àëèñü ðà-
áîòû ïî âíåäðåíèþ íîâîãî, íå èìåâøåãî íà òîò ìî-
ìåíò çàðóáåæíûõ àíàëîãîâ ìåòîäà ñáîðêè ÁÈÑ íà ãèá-
êîì ïîëèèìèäíîì íîñèòåëå, (ÃÏÍ) [1], òàê íàçûâàå-
ìîé ìîäèôèêàöèè 2 (ðèñ. 1).
Ìèêðîñõåìû ìîäèôèêàöèè 2 ïåðâîíà÷àëüíî ðàç-
ðàáàòûâàëèñü äëÿ ñîçäàíèÿ ýëåìåíòíîé áàçû ñïåö-
ïðèìåíåíèÿ [2]. Ïðè îñâîåíèè òàêèõ èçäåëèé áîëåå
÷åì íà 20 ïðåäïðèÿòèÿõ ýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííî-
ñòè áûëè âíåäðåíû êîìïëåêòû àâòîìàòèçèðîâàííîãî
îáîðóäîâàíèÿ êàê äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ãèáêèõ íîñèòå-
ëåé (ëèíèÿ �Ëàäîãà�), òàê è äëÿ ñáîðêè áåñêîðïóñ-
íûõ ìèêðîñõåì íà ÃÏÍ (ëèíèÿ �Ïîëèíîì�). Áûëà òàê-
æå ñîçäàíà âñÿ íåîáõîäèìàÿ èíôðàñòðóêòóðà äëÿ èõ
ïðîèçâîäñòâà � íàëàæåí âûïóñê ôîëüãèðîâàííûõ
äèýëåêòðèêîâ è äðóãèõ ìàòåðèàëîâ, òàðû-ñïóòíèêà,
êîíòàêòíûõ óñòðîéñòâ, âûïóùåíû ñîîòâåòñòâóþùèå
îòðàñëåâûå ñòàíäàðòû è ò. ï. Äëÿ ìîíòàæà ýëåìåíòîâ
èç áàçû ñïåöïðèìåíåíèÿ, â ñâîþ î÷åðåäü, áûëè ðàç-
ðàáîòàíû àâòîìàòèçèðîâàííûå ëèíèè, ïîçâîëÿþùèå
îñóùåñòâëÿòü ðàçâàðêó àëþìèíèåâûõ âûâîäîâ ìèê-
ðîñõåì ìîäèôèêàöèè 2 (íàïðèìåð, íà êåðàìè÷åñêèå
ïîäëîæêè � óëüòðàçâóêîâîé ìèêðîñâàðêîé).
Îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ íîâîãî ìåòîäà ñáîðêè ìèê-
ðîñõåì ñóùåñòâåííî ðàñøèðèëàñü ïîñëå âíåäðåíèÿ
ðàçðàáîòàííîãî àâòîðàìè [3] ñïîñîáà îáðàáîòêè âû-
âîäîâ ÃÏÍ ïîä ïàéêó, ÷òî ïîçâîëèëî èñïîëüçîâàòü
ìèêðîñõåìû ìîäèôèêàöèè 2 äëÿ èçäåëèé øèðîêîãî
ïðèìåíåíèÿ (ïðîãðàììèðóåìûõ ìèêðîêàëüêóëÿòîðîâ,
÷àñîâ, êàññîâûõ àïïàðàòîâ è ò. ï.). Ïðè ýòîì ìîíòàæ
ìèêðîñõåì íà ÃÏÍ íà ñòàíäàðòíûå ïå÷àòíûå ïëàòû
îñóùåñòâëÿëñÿ ìåòîäîì ïàéêè ñ èñïîëüçîâàíèåì
èìïóëüñíûõ ìèêðîïàÿëüíèêîâ.
Êðèçèñ ïðîìûøëåííîãî ïðîèçâîäñòâà íà ïîñòñî-
âåòñêîì ïðîñòðàíñòâå â 90-å ãîäû ïðèâåë ê ðåçêîìó
ïàäåíèþ âûïóñêà èçäåëèé ýëåêòðîííîé òåõíèêè, â
ïåðâóþ î÷åðåäü òîâàðîâ ìàññîâîãî ïîòðåáëåíèÿ, îñî-
áåííî ïîñëå ïîÿâëåíèÿ íà ðûíêå äåøåâûõ òîâàðîâ èç
Êèòàÿ è ñòðàí Þãî-Âîñòî÷íîé Àçèè.
 ïîñëåäíèå ãîäû ó èçãîòîâèòåëåé ñîâðåìåííîé
àïïàðàòóðû âîçðîäèëñÿ èíòåðåñ ê áåñêîðïóñíîé ýëå-
ìåíòíîé áàçå íà ÃÏÍ. Âåäü êðîìå ìèíèìàëüíûõ ãà-
áàðèòîâ è ìàññû ìèêðîñõåìû ìîäèôèêàöèè 2 áëàãî-
äàðÿ óíèêàëüíîìó ñî÷åòàíèþ ñâîéñòâ êîìïîçèöè-
îííûõ ìàòåðèàëîâ � àëþìèíèÿ è ïîëèèìèäà �
èìåþò ðÿä äðóãèõ öåííûõ ïðåèìóùåñòâ [2�4].
Íàãëÿäíûì ñâèäåòåëüñòâîì ïðåèìóùåñòâ òåõíî-
ëîãèè ñáîðêè èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè, êîòîðûå
ñîáðàíû ñ èñïîëüçîâàíèåì ìàòåðèàëîâ «àëþìèíèé�
ïîëèèìèä», ÿâëÿåòñÿ åå ïðèìåíåíèå Åâðîïåéñêèì öåí-
òðîì ÿäåðíûõ èññëåäîâàíèé (ÖÅÐÍ, ã. Æåíåâà) ïðè
èçãîòîâëåíèè êîìïîíåíòîâ äåòåêòîðíûõ ìîäóëåé äëÿ
ñèñòåìû «ALICE» [5].
Êîíêóðåíòîñïîñîáíîñòü òàêîé òåõíîëîãèè îáåñïå-
÷èëî ïðèìåíåíèå ìèêðîêàáåëåé, ñîäåðæàùèõ ñîòíè
âûâîäîâ; ìàëûé øàã âûâîäîâ (äî 80 ìêì); âûñîêàÿ
ìåõàíè÷åñêàÿ ïðî÷íîñòü òîíêîé (10�12 ìêì) ïîëè-
èìèäíîé ïëåíêè, à òàêæå ñòîéêîñòü ê âûñîêèì ðàäè-
àöèîííûì íàãðóçêàì. Â ðàìêàõ ïðîãðàììû «ALICE»
áûëî èçãîòîâëåíî îêîëî 40 òûñ. ñëîæíûõ ìíîãîâû-
âîäíûõ ìèêðîêàáåëåé òèïà «àëþìèíèé�ïîëèèìèä»
[6]. Ïðè ýòîì òî÷íîñòü èçãîòîâëåíèÿ âûâîäîâ ìèê-
ðîêàáåëåé â ìåñòàõ ñâàðêè äîñòèãàëà 36±4 ìêì.
Óíèêàëüíîñòü ñâîéñòâ ïîëèìåðíûõ ïëåíîê, ïðè-
ìåíÿåìûõ â êà÷åñòâå íîñèòåëåé âûâîäîâ, îïðåäåëÿ-
åòñÿ õèìè÷åñêèì ñòðîåíèåì ïîëèèìèäîâ � öåëîãî
êëàññà ïîëèìåðîâ, èìåþùèõ îáùóþ ñòðóêòóðíóþ
ôîðìóëó [7], îïðåäåëÿþùóþ èõ âûñîêóþ ïðî÷íîñòü,
òåðìè÷åñêóþ ñòàáèëüíîñòü, à òàêæå ðàäèàöèîííóþ
ñòîéêîñòü.
Ðèñ. 1. Ìèêðîñõåìû ðàçëè÷íûõ òèïîâ íà ãèáêîì ïîëè-
èìèäíîì íîñèòåëå
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
44
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
Ñâîþ ýëàñòè÷íîñòü ïîëèèìèäíûå ïëåíêè ñîõðà-
íÿþò äàæå ïðè êðèîãåííûõ òåìïåðàòóðàõ. Òàê, â [8]
îòìå÷àåòñÿ, ÷òî îíè ìîãóò èñïîëüçîâàòüñÿ â èíòåðâà-
ëå òåìïåðàòóðû 3�673 K, ò. å. ðàáîòàòü äàæå ïðè òåì-
ïåðàòóðå æèäêîãî ãåëèÿ. Ïîëèèìèäíûå ïëåíêè ñîõðà-
íÿþò ðàáîòîñïîñîáíîñòü ïðè 473 K (200°Ñ) â òå÷åíèå
íåñêîëüêèõ ëåò, ïðè 573 K � 1000 ÷àñîâ, ïðè 673 K
� äî 6 ÷àñîâ.
Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî ïîëèèìèäíûå ïëåíêè èìå-
þò õîðîøèå, ïî ñðàâíåíèþ ñ äðóãèìè ïîëèìåðàìè,
äèýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà è âûñîêóþ òåïëîïðîâîä-
íîñòü (150�180 Âò/(ì·Ê)). Òåìïåðàòóðíûé êîýôôè-
öèåíò ëèíåéíîãî ðàñøèðåíèÿ (ÒÊËÐ) ïîëèèìèäà áëè-
çîê ê ÒÊËÐ ìåòàëëîâ, ïðèìåíÿåìûõ äëÿ èçãîòîâëå-
íèÿ âûâîäîâ ÃÏÍ (àëþìèíèÿ è ìåäè). Â òî æå âðåìÿ,
ïîëèèìèäíûå ïëåíêè ìîæíî òðàâèòü â ñèëüíîùåëî÷-
íûõ ðàñòâîðàõ, ÷òî ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü â íèõ ïðè íå-
îáõîäèìîñòè ñêâîçíûå îòâåðñòèÿ.
Öåííûé êîìïëåêñ ñâîéñòâ ïîëèèìèäíûõ ìàòåðè-
àëîâ ïðåäîïðåäåëèë èõ øèðîêîå èñïîëüçîâàíèå â
ìèêðîýëåêòðîíèêå íå òîëüêî â êà÷åñòâå ïîëèìåðíîãî
îñíîâàíèÿ â ÃÏÍ è ãèáêèõ ïëàòàõ, íî è â êà÷åñòâå
äèýëåêòðè÷åñêîãî ñëîÿ ïðè èçãîòîâëåíèè ìíîãîóðîâ-
íåâîé ìåòàëëèçàöèè íà êðèñòàëëàõ ÑÁÈÑ.
Áåñêîðïóñíàÿ ÁÈÑ ìîäèôèêàöèè 2 ïðåäñòàâëÿåò
ñîáîé êðèñòàëë ñ àëþìèíèåâûìè âûâîäàìè íà ïî-
ëèèìèäíîì îñíîâàíèè. Òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ
ñáîðêè òàêèõ ìèêðîñõåì âêëþ÷àåò â ñåáÿ èçãîòîâ-
ëåíèå ãèáêèõ íîñèòåëåé òèïà «àëþìèíèé�ïîëèèìèä»
ìåòîäîì äâóñòîðîííåé ôîòîëèòîãðàôèè, ïðèñîåäèíå-
íèå èõ ê ñòàíäàðòíûì ïîëóïðîâîäíèêîâûì êðèñòàë-
ëàì ñ àëþìèíèåâîé ìåòàëëèçàöèåé ñ ïîìîùüþ óëüòðà-
çâóêîâîé ñâàðêè, ãåðìåòèçàöèþ ïîëèìåðíûìè ìàòå-
ðèàëàìè è ïðîâåäåíèå òåõíîëîãè÷åñêèõ îòáðàêîâî÷-
íûõ èñïûòàíèé, â òîì ÷èñëå è ýëåêòðîòåðìî-
òðåíèðîâîê � ïðè íåîáõîäèìîñòè. Êîíñòðóêöèÿ ãèá-
êèõ íîñèòåëåé çàäàåòñÿ ôîòîøàáëîíàìè ñëîåâ àëþ-
ìèíèÿ è ïîëèèìèäà, êîòîðûå ïðåäâàðèòåëüíî ñîâìå-
ùàþòñÿ è ñîåäèíÿþòñÿ â ïàêåò.
Êîíñòðóêòèâíî ãèáêèé íîñèòåëü (ðèñ. 2) âûïîë-
íåí â âèäå íåñêîëüêèõ âçàèìîñâÿçàííûõ çîí � ïå-
ðèôåðèéíîé, êîíòàêòèðîâàíèÿ, ìîíòàæíîé è âíóòðåí-
íåé, êîòîðûå ñîñòîÿò èç óíèôèöèðîâàííûõ ýëåìåí-
òîâ, èçìåíÿþùèõ ñâîå ïîëîæåíèå â çàâèñèìîñòè îò
ðàñïîëîæåíèÿ êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê êðèñòàëëà. Ïå-
ðèôåðèéíàÿ çîíà ôóíêöèîíàëüíî ïðåäíàçíà÷åíà äëÿ
ôèêñàöèè íîñèòåëÿ è ìèêðîñõåìû â öåëîì â ïðîöåñ-
ñàõ èõ èçãîòîâëåíèÿ è ìîíòàæà. Îíà ñîäåðæèò áàçî-
âûå ôèêñèðóþùèå îòâåðñòèÿ, ïîçâîëÿþùèå ñîõðà-
íÿòü íåîáõîäèìóþ òî÷íîñòü ôèêñàöèè ïðè ïðîâåäå-
íèè íåîáõîäèìûõ èçìåðåíèé ïàðàìåòðîâ è èñïûòà-
íèé, à òàêæå ïðè ìîíòàæå â ìèêðîýëåêòðîííóþ àïïà-
ðàòóðó (ÌÝÀ).
 çîíå êîíòàêòèðîâàíèÿ ðàñïîëîæåíû ïëîùàäêè
ñòðîãî îïðåäåëåííûõ ðàçìåðîâ ñ øàãîì 1,25 ìì äëÿ
ïîäêëþ÷åíèÿ çîíäîâ êîíòàêòèðóþùèõ óñòðîéñòâ â
ïðîöåññå èçìåðåíèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ÈÑ è
ïðîâåäåíèÿ èõ èñïûòàíèé.  çàâèñèìîñòè îò êîëè÷åñ-
òâà âûâîäîâ êîíòàêòíûå ïëîùàäêè ìîãóò áûòü ðàñïî-
ëîæåíû ïî îáå ñòîðîíû èëè ñ ÷åòûðåõ ñòîðîí îò ÈÑ.
 ìîíòàæíîé çîíå èìååòñÿ óíèôèöèðîâàííûé êîí-
òóð âûðóáêè, ïî êîòîðîìó îò ìèêðîñõåìû ñ äâóõ-
ñòîðîííèì èëè ÷åòûðåõñòîðîííèì ðàñïîëîæåíèåì
âûâîäîâ îòäåëÿþò çîíû ïåðèôåðèéíóþ è êîíòàêòè-
ðîâàíèÿ ïåðåä ìîíòàæîì áåñêîðïóñíîé ÁÈÑ â ÌÝÀ.
Âíóòðåííÿÿ îáëàñòü ñëóæèò äëÿ ïðèñîåäèíåíèÿ ïî-
ëóïðîâîäíèêîâîãî êðèñòàëëà ê âíóòðåííèì îêîí÷à-
íèÿì âûâîäîâ íîñèòåëÿ, ïîâòîðÿþùèì ðàñïîëîæå-
íèå êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê ýòîãî êðèñòàëëà. Âíóòðåí-
íÿÿ îáëàñòü âûïîëíåíà íà îñíîâå ðÿäà óíèôèöèðî-
âàííûõ ýëåìåíòîâ, êîòîðûå ðàçðàáîòàíû ñ ó÷åòîì àâ-
òîìàòèçàöèè ïðîöåññîâ ñâàðêè è îáåñïå÷åíèÿ åå íà-
Ìåñòà ïðèñîåäèíåíèÿ
âûâîäîâ ê êîíòàêòíûì
ïëîùàäêàì êðèñòàëëîâ
Äîðîæêè
òðàâëåíèÿ
ñëîÿ àëþìèíèÿ
Ðèñ. 2. Ãèáêèå ïîëèèìèäíûé íîñèòåëü äëÿ ñáîðêè ìèêðîñõåì (âèä ñî ñòîðîíû àëþìèíèÿ)
Ïåðèôåðèéíàÿ çîíà
Çîíà ìîíòàæà
Ïîñàäî÷íîå îêíî äëÿ
ðàçìåùåíèÿ êðèñòàëëà
Êîíòàêòíûå ïëîùàäêè
çîíû êîíòàêòèðîâàíèÿ
Âûâîäû ìîíòàæíîé çîíû
Ýêðàí
Ôèêñèðóþùåå îòâåðñòèå
I II
Ïðîâîäíèêè
âíóòðåííåé çîíû
Âûâîäû
â çîíå ìîíòàæà
Êëþ÷
I II
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2010, ¹ 5�6
45
ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÅ ÏÐÎÖÅÑÑÛ È ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ
äåæíîñòè, ñîõðàíåíèÿ ïëîñêîñòíîñòè è íåîáõîäèìîé
åå æåñòêîñòè, à òàêæå ñòàáèëèçàöèè åå ãåîìåòðè÷åñ-
êèõ ðàçìåðîâ, íàïðèìåð, ïóòåì ââåäåíèÿ ýêðàíà [9].
Äëÿ çàùèòû áåñêîðïóñíûõ ìèêðîñõåì äåéñòâóþ-
ùèìè ñòàíäàðòàìè ðåêîìåíäîâàí ðÿä ïîëèìåðíûõ
ìàòåðèàëîâ. Âûáîð êîíêðåòíîãî ìàòåðèàëà îïðåäåëÿ-
åòñÿ óñëîâèÿìè ýêñïëóàòàöèè ÁÈÑ, ÷óâñòâèòåëüíî-
ñòüþ êðèñòàëëà ê ïîâåðõíîñòíûì çàãðÿçíåíèÿì, à òàê-
æå ñîâìåñòèìîñòüþ çàùèòíîãî ìàòåðèàëà ñ äðóãèìè
êîíñòðóêöèîííûìè ìàòåðèàëàìè ìèêðîñõåìû è ÌÝÀ
â öåëîì.
Ãèáêèå íîñèòåëè (ìèêðîêàáåëè) ìîæíî èçãîòàâ-
ëèâàòü ðàçëè÷íûìè ìåòîäàìè, êàê ïîêàçàíî â [4, 10].
Ïðè èñïîëüçîâàíèè ÃÏÍ òèïà «àëþìèíèé�ïîëè-
èìèä» àëþìèíèåâûå âûâîäû ïðèâàðèâàþòñÿ óëüòðà-
çâóêîâîé ñâàðêîé íåïîñðåäñòâåííî ê êîíòàêòíûì ïëî-
ùàäêàì ïîëóïðîâîäíèêîâîãî êðèñòàëëà. Îáðàçóåòñÿ
ìîíîìåòàëëè÷åñêîå ñîåäèíåíèå ñ âûñîêîé ïðî÷íîñ-
òüþ íà ðàçðûâ � ïîðÿäêà 7�14 ãñ ïðè òîëùèíå âû-
âîäîâ 30 ìêì (ðèñ. 3).
Îáðàçóåìûé ñâàðíîé øîâ èìååò ìåëêîäèñïåðñ-
íóþ ñòðóêòóðó, íàëè÷èå îêñèäîâ àëþìèíèÿ íà êîí-
òàêòèðóþùèõ ïîâåðõíîñòÿõ íå ïðåïÿòñòâóåò âîçíèê-
íîâåíèþ ìåòàëëè÷åñêèõ ñâÿçåé [11]. Äëÿ ôîðìèðî-
âàíèÿ íàäåæíîãî ñâàðíîãî ñîåäèíåíèÿ òî÷íî äîçè-
ðóþò ýíåðãèþ óëüòðàçâóêîâûõ êîëåáàíèé è, ñëåäîâà-
òåëüíî, âåëè÷èíó äåôîðìàöèè âûâîäîâ â ìåñòàõ ïðè-
ñîåäèíåíèÿ. Ýòî ïîçâîëÿåò ïîâûñèòü âîñïðîèçâîäè-
ìîñòü êà÷åñòâà ñâàðêè, ò. ê. ÷ðåçìåðíàÿ äåôîðìàöèÿ
âûâîäà ïðèâîäèò ê ñíèæåíèþ ïðî÷íîñòè ñâàðíûõ ñî-
åäèíåíèé [11]. Êðîìå òîãî, íà èõ êà÷åñòâî çíà÷èòåëü-
íî âëèÿåò æåñòêîñòü çàêðåïëåíèÿ êðèñòàëëîâ è âûâî-
äîâ ãèáêîãî íîñèòåëÿ, à òàêæå ÷èñòîòà ïîâåðõíîñòè
ñâàðèâàåìûõ ñîåäèíåíèé. Íåîáõîäèìóþ ÷èñòîòó ãèá-
êèõ íîñèòåëåé íà çàêëþ÷èòåëüíîì ýòàïå èõ èçãîòîâ-
ëåíèÿ îáåïå÷èâàþò òàê íàçûâàåìîé ôèíèøíîé î÷èñò-
êîé, ïðè êîòîðîé ïîâåðõíîñòü ïîäëîæåê ñ íîñèòåëÿ-
ìè îáðàáàòûâàþò â ñëàáîùåëî÷íûõ ðàñòâîðàõ, çàòåì
òùàòåëüíî îòìûâàþò â äåèîíèçîâàííîé âîäå è ñóøàò.
Ñâàðêà ìèêðîñõåì íà ïîëèèìèäíîì íîñèòåëå ìî-
æåò áûòü ðåàëèçîâàíà íà ðàçëè÷íîì ñáîðî÷íîì îáî-
ðóäîâàíèè, êîòîðîå îòëè÷àåòñÿ êàê ïî ñòîèìîñòè, òàê
è ïî ïðîèçâîäèòåëüíîñòè. Ïðè áîëüøèõ îáúåìàõ âû-
ïóñêà ìèêðîñõåì ïðåèìóùåñòâî ïîëó÷àþò âûñîêî-
ïðîèçâîäèòåëüíûå àâòîìàòèçèðîâàííûå óñòàíîâêè,
íàïðèìåð ÝÌ-4062.
 óñëîâèÿõ ìíîãîíîìåíêëàòóðíîãî ìåëêîñåðèé-
íîãî ïðîèçâîäñòâà òåõíîëîãèÿ ñáîðêè ÈÑ íà ÃÏÍ ïî
ñðàâíåíèþ ñ ìåòîäàìè ñáîðêè â êîðïóñà òàêæå èìå-
åò ñâîè ïðåèìóùåñòâà. Åå ðåàëèçàöèÿ òðåáóåò âñåãî
ëèøü èçãîòîâëåíèÿ ðàçëè÷íûõ ïëåíî÷íûõ ôîòîøàá-
ëîíîâ ïðè ñòàíäàðòíîì ïðîöåññå è íå ñîïðÿæåíà ñ
íåîáõîäèìîñòüþ ïðèîáðåòåíèÿ (à ïîä÷àñ è ðàçðàáîò-
êè) ðàçëè÷íûõ êîðïóñîâ è îáîðóäîâàíèÿ äëÿ ñâàðêè
è ãåðìåòèçàöèè.
***
Òàêèì îáðàçîì, ïîêàçàíî, ÷òî ìèêðîñõåìû íà ãèá-
êîì ïîëèèìèäíîì íîñèòåëå îòëè÷àþòñÿ âûñîêîé íà-
äåæíîñòüþ è èìåþò ïðåèìóùåñòâà ïî ñðàâíåíèþ ñ
äðóãèìè êîíñòðóêöèÿìè ÈÑ â ñëó÷àÿõ èñïîëüçîâà-
íèÿ èõ â ñîñòàâå ãåðìåòè÷íûõ ìèêðîñáîðîê â àïïà-
ðàòóðå, ðàáîòàþùåé ïðè áîëüøèõ óñêîðåíèÿõ, óäàð-
íûõ è ðàäèàöèîííûõ íàãðóçêàõ. Â áûòîâîé ÌÝÀ òà-
êèå ìèêðîñõåìû ìîæíî ïðèìåíÿòü ïîñëå ãåðìåòèçà-
öèè èõ ïîëèìåðíûìè ìàòåðèàëàìè è çàùèòû ïîâåðõ-
íîñòè ïëàò.  ñëó÷àÿõ èñïîëüçîâàíèÿ ÁÈÑ è ÑÁÈÑ,
èìåþùèõ ñîòíè âûâîäîâ, ìåòîäû ñáîðêè ìèêðîñõåì
íà ÃÏÍ ïðàêòè÷åñêè íå èìåþò àëüòåðíàòèâû.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Øåðåâåíÿ À. Ã., Öóêàíîâ Ë. Í., Òó÷èíñêèé È. À., Æîðà Â. Ä.
Êîíñòðóêöèÿ è òåõíîëîãèÿ ñáîðêè ÁÈÑ â áåñêîðïóñíîì èñïîëíå-
íèè íà ãèáêîì íîñèòåëå //  ñá.: Íàó÷íî-òåõí. äîñòèæåíèÿ.� Ì.:
ÂÈÌÈ, 1984.� ¹4.� Ñ. 26�34.
2. Âîæåíèí È. Í., Áëèíîâ Ã. À., Êîëåäîâ Ë. À. è äð. Ìèêðî-
ýëåêòðîííàÿ àïïàðàòóðà íà áåñêîðïóñíûõ èíòåãðàëüíûõ ìèêðî-
ñõåìàõ.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1985.
3. À. c. 1781733 CCCP. Ñïîñîá ñáîðêè èíòåãðàëüíûõ ñõåì /
À. Ã. Øåðåâåíÿ, È. À.Òó÷èíñêèé, Â. Ä. Æîðà.� 1992.� Áþë. ¹ 46.
4. Ïåðåâåðòàéëî Â. Ë., Æîðà Â. Ä., Ãðóíÿíñêàÿ Â. Ï. è äð.
Ïðèìåíåíèå ãèáêèõ íîñèòåëåé ïðè ñáîðêå êðåìíèåâûõ äåòåêòî-
ðîâ. // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòó-
ðå.� 2009.� ¹1.� Ñ. 40�44.
6. Oinonen M., Aatonen J., Kassamakov I. et al. ALICE silicon
strip detector module assembly with single-point TAB
interconnections // Proceedings of the Conference LECC-Ihc-work
shop-2005. http://web.cern.ch.
6. Ðîæåí À. Ïîñîë óêðàèíñêîé íàóêè â Åâðîïå èëè äî
ðåøàþùåãî ýêñïåðèìåíòà â ÿäåðíîé ôèçèêå îñòàëñÿ ãîä // Çåðêà-
ëî íåäåëè.� 2007.� ¹ 37.
7. Áåññîíîâ Ì. È., Êîòîí Ì. Ì., Êóäðÿâöåâ Â. Â., Ëàéóñ Ë. À.
Ïîëèèìèäû � êëàññ òåðìîñòîéêèõ ïîëèìåðîâ.� Ë.: Íàóêà, 1983.
8. Ãàâðþøèí Í. Í. Ìåòîäû èçãîòîâëåíèÿ ãèáêèõ ïå÷àòíûõ
ïëàò è êàáåëåé // Çàðóáåæíàÿ ðàäèîýëåêòðîíèêà.� 1985.� ¹ 5.�
Ñ. 51�63.
9. À. ñ 1505330 ÑÑÑÐ. Èíòåãðàëüíàÿ ñõåìà / À. Ã. Øåðåâåíÿ,
Â. Ä. Æîðà, È. À. Òó÷èíñêèé, À. È. Ãîëüäøåð. Ðåã. 07.05.1989.
10. À. ñ. 566866 ÑÑÑÐ. Ðàñòâîð äëÿ òðàâëåíèÿ àëþìèíèÿ //
Â. Í. Êèäàëþê, Â. Ä. Æîðà è äð.� 1977.� Áþë. ¹ 28.
11. Ìîðîçîâ Â. Â. Êîíòàêòíûå ñîåäèíåíèÿ áåñêîðïóñíûõ
êîìïîíåíòîâ íà ãèáêîì íîñèòåëå ñ ëåíòî÷íûìè âûâîäàìè. ×. I //
Ïå÷àòíûé ìîíòàæ.� 2009.� ¹ 4�5.� C. 12�16.
Ðèñ. 3. Ðàñïðåäåëåíèå ïðî÷íîñòè ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé
êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê êðèñòàëëîâ ñ âûâîäàìè ÃÏÍ, èìå-
þùèìè ðàçíóþ øèðèíó SB â ìåñòàõ ñâàðêè, ïðè ðàçíûõ
äèàìåòðàõ ñâàðî÷íîãî èíñòðóìåíòà Dè:
à � 10
30 è
120 ìêì, 130 ìêì;
Â
S D+
−= =
á � 10
30 è
150 ìêì, 150 ìêìBS D+
−= =
%
40
20
0
7 8 9 10 11 12 13 14
Ïðî÷íîñòü ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé, ãñ
á)
%
40
20
0
7 8 9 10 11
Ïðî÷íîñòü ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé, ãñ
à)
|