Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения. Проведено дослідження властивостей плівок CeOx, виготовлених різними методами. Порівняльний аналіз пока...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51987 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862742764393857024 |
|---|---|
| author | Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. |
| author_facet | Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. |
| citation_txt | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения.
Проведено дослідження властивостей плівок CeOx, виготовлених різними методами. Порівняльний аналіз показав, що метод «окислення металічного дзеркала» даєплівки зі значно кращими характеристиками, ніж метод«вибухового випаровування», хоча останній дає більш високу фоточутливість плівок CeOx та структур на їх осѕнові. При цьому було визначено оптимальну температуру підкладки. Отримані дані розширюють область застосування CeOx-плівок для мікроелектронних сенсорів.
The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys "metallic mirror oxidation" method allows to produce films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though the latter method yields higher photosensitivity of CeOx films and structures on their base. In the process the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeOx application potential in microelectronic sensor sphere.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:26:59Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51987 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:26:59Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. 2013-12-22T01:12:40Z 2013-12-22T01:12:40Z 2010 Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51987 Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения. Проведено дослідження властивостей плівок CeOx, виготовлених різними методами. Порівняльний аналіз показав, що метод «окислення металічного дзеркала» даєплівки зі значно кращими характеристиками, ніж метод«вибухового випаровування», хоча останній дає більш високу фоточутливість плівок CeOx та структур на їх осѕнові. При цьому було визначено оптимальну температуру підкладки. Отримані дані розширюють область застосування CeOx-плівок для мікроелектронних сенсорів. The properties of CeOx films produced by various methods have been investigated. According to the comparative analisys "metallic mirror oxidation" method allows to produce films with significantly better characteristics than the «explosive evaporation» method. Though the latter method yields higher photosensitivity of CeOx films and structures on their base. In the process the optimal value of the substrate temperature was determined. Obtained data expand the CeOx application potential in microelectronic sensor sphere. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия Властивості та практичне застосування нанокристалічних плівок оксиду церію Properties and practical application of thin CeOx films Article published earlier |
| spellingShingle | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия Максимчук, Н.В. Шмырева, А.Н. Борисов, А.В. Материалы электроники |
| title | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_alt | Властивості та практичне застосування нанокристалічних плівок оксиду церію Properties and practical application of thin CeOx films |
| title_full | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_fullStr | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_full_unstemmed | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_short | Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| title_sort | свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51987 |
| work_keys_str_mv | AT maksimčuknv svoistvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT šmyrevaan svoistvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT borisovav svoistvaipraktičeskoeprimenenienanokristalličeskihplenokoksidaceriâ AT maksimčuknv vlastivostítapraktičnezastosuvannânanokristalíčnihplívokoksiduceríû AT šmyrevaan vlastivostítapraktičnezastosuvannânanokristalíčnihplívokoksiduceríû AT borisovav vlastivostítapraktičnezastosuvannânanokristalíčnihplívokoksiduceríû AT maksimčuknv propertiesandpracticalapplicationofthinceoxfilms AT šmyrevaan propertiesandpracticalapplicationofthinceoxfilms AT borisovav propertiesandpracticalapplicationofthinceoxfilms |