Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2010
• ISSN: 2225-5818
• Main Authors: Максимчук, Н.В., Шмырева, А.Н., Борисов, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51987
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия / Н.В. Максимчук, А.Н. Шмырева, А.В. Борисов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 54-59. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Установлены основные закономерности формирования наноструктурных пленок CeOx с управляемыми физическими свойствами, что расширяет область их применения для создания сенсоров различного назначения. Проведено дослідження властивостей плівок CeOx, виготовлених різними методами. Порівняльний аналіз пока...