Зображення обкладинки

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

Исследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства. Досліджено вольт-амперні характеристики металевих кон тактів (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких плівках діоксиду титану, а також вп...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2010
Автори:	Брус, В.В., Ковалюк, З.Д., Марьянчук, П.Д., Орлецкий, И.Г., Майструк, Э.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Теми:	Материалы электроники
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51988
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
за авторством: Яковін, С.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
за авторством: Kostin, E. G., та інші
Опубліковано: (2008)

Изучение свойств контактов кремния с барьером Шоттки, изготовленных на основе аморфных и поликристаллических различных металлических сплавов
за авторством: Пашаев, И.Г.
Опубліковано: (2012)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Магнитные и кинетические свойства кристаллов Hg1–x–yCdxDyySe
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-TiO₂:Mn/p-CdTe
за авторством: Мостовой, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)

Горячие электроны в металлических пленках при низких температурах
за авторством: Шкловский, В.А.
Опубліковано: (2018)

Свойства толстых плёнок на основе SnO₂ при использовании контактов, изготовленных из Ni₃B-паст
за авторством: Гончар, А.Г., та інші
Опубліковано: (2017)

Акустический аналог эффекта гигантского магнитосопротивления в металлических многослойных пленках
за авторством: Окулов, В.И., та інші
Опубліковано: (1995)

Исследование кристаллов Cu₂ZnSnSe₄ и гетеропереходов на их на основе
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование кристаллов Cu₂ZnSnTe₄ и гетеропереходов на их основе
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2015)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Влияние поверхности на перенос заряда в тонких металлических пленках на основе непереходных металлов
за авторством: Бигун, Р.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2019)

Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2018)

Исследование зависимости усталости магнетронного хромового покрытия от его механических свойств
за авторством: Гришкевич, А.Д.
Опубліковано: (2014)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
за авторством: Глебова, А.Н.
Опубліковано: (2016)

Перспективы повышения качества железнодорожных колес, изготовленных из непрерывнолитой заготовки
за авторством: Бабаченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Повышение эксплуатационной надежности газонефтепроводных труб, изготовленных способом высокочастотной сварки
за авторством: Антипов, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления
за авторством: Вакив, Н.М., та інші
Опубліковано: (1998)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2019)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2008)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2008)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Оптимизация работы алгоритма распыления информации в системе распределенного хранения
за авторством: Бойко, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Физические свойства и зонная структура кристаллов (3HgTe)1-x(Al₂Te₃)x, легированных марганцем
за авторством: Марьянчук, П.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Формування антибактеріальних покриттів на хітозанових матрицях методом магнетронного напилення
за авторством: Kalinkevich, O. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Влияние процесса термоцентробежного распыления на свойства сферических частиц карбидов вольфрама
за авторством: Дзыкович, В.И.
Опубліковано: (2009)

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀
за авторством: Малеев, М.В., та інші
Опубліковано: (2015)