Buchumschlag

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления

Исследованы вольт-амперные характеристики металлических контактов на тонких пленках диоксида титана, а также влияние отжига структур в вакууме на их электрические свойства. Досліджено вольт-амперні характеристики металевих кон тактів (Al, Cr, In, Mo, Ti) на тонких плівках діоксиду титану, а також вп...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2010
Hauptverfasser:	Брус, В.В., Ковалюк, З.Д., Марьянчук, П.Д., Орлецкий, И.Г., Майструк, Э.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Schlagworte:	Материалы электроники
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51988
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления / В.В. Брус, З.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук, И.Г. Орлецкий, Э.В. Майструк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 60-62. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Khoverko, Yu. N.
Veröffentlicht: (2010)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
von: Мохненко, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
von: Першин, Ю.П., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Костин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів
von: Яковін, С.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Осаждение пленок TiN и TiO2 в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
von: Kostin, E. G., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)

Изучение свойств контактов кремния с барьером Шоттки, изготовленных на основе аморфных и поликристаллических различных металлических сплавов
von: Пашаев, И.Г.
Veröffentlicht: (2012)

Магнитные и кинетические свойства кристаллов Hg1–x–yCdxDyySe
von: Ковалюк, Т.Т., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-TiO₂:Mn/p-CdTe
von: Мостовой, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
von: Василенко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
von: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Veröffentlicht: (2003)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
von: Бажин, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
von: Перекрестов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
von: Шагинян, Л.Р., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Теоретические аспекты оптимизации металлических токосъемных контактов солнечных элементов
von: Горский, П.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Горячие электроны в металлических пленках при низких температурах
von: Шкловский, В.А.
Veröffentlicht: (2018)

Свойства толстых плёнок на основе SnO₂ при использовании контактов, изготовленных из Ni₃B-паст
von: Гончар, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование кристаллов Cu₂ZnSnSe₄ и гетеропереходов на их на основе
von: Ковалюк, Т.Т., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Акустический аналог эффекта гигантского магнитосопротивления в металлических многослойных пленках
von: Окулов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Исследование кристаллов Cu₂ZnSnTe₄ и гетеропереходов на их основе
von: Ковалюк, Т.Т., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
von: Зыков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние поверхности на перенос заряда в тонких металлических пленках на основе непереходных металлов
von: Бигун, Р.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
von: Бабаченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Надежность железнодорожных колес, изготовленных разными способами производства
von: Бабаченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Исследование зависимости усталости магнетронного хромового покрытия от его механических свойств
von: Гришкевич, А.Д.
Veröffentlicht: (2014)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
von: Буранич, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
von: Глебова, А.Н.
Veröffentlicht: (2016)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Установка магнетронного нанесения покрытий на листовое стекло
von: Жадкевич, М.Л., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Получение высокоомных тонкопленочных конденсатов методом ионно-плазменного распыления
von: Вакив, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (1998)

Физические свойства и зонная структура кристаллов (3HgTe)1-x(Al₂Te₃)x, легированных марганцем
von: Марьянчук, П.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2008)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2008)

Перспективы повышения качества железнодорожных колес, изготовленных из непрерывнолитой заготовки
von: Бабаченко, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Повышение эксплуатационной надежности газонефтепроводных труб, изготовленных способом высокочастотной сварки
von: Антипов, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)