Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
Показана перспективность применения гибких носителей типа «алюминий-полиимид» для сборки детекторов различного назначения. Рассмотрены преимущества данной технологии в сравнении с проволочными соединениями детекторов. Показана перспективність застосування технології гнучких носіїв типу «алюміній-пол...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52026 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов / В.Л. Перевертайло, В.Д. Жора, В.П. Грунянская, В.М. Пугач, И.А. Тучинский, Э.А. Шкиренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 1. — С. 40-44. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859707289508773888 |
|---|---|
| author | Перевертайло, В.Л. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. Пугач, В.М. Тучинский, И.А. Шкиренко, Э.А. |
| author_facet | Перевертайло, В.Л. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. Пугач, В.М. Тучинский, И.А. Шкиренко, Э.А. |
| citation_txt | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов / В.Л. Перевертайло, В.Д. Жора, В.П. Грунянская, В.М. Пугач, И.А. Тучинский, Э.А. Шкиренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 1. — С. 40-44. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показана перспективность применения гибких носителей типа «алюминий-полиимид» для сборки детекторов различного назначения. Рассмотрены преимущества данной технологии в сравнении с проволочными соединениями детекторов.
Показана перспективність застосування технології гнучких носіїв типу «алюміній-полімід» для детекторів різного призначення, в т. ч. кремнієвих мікрострипових детекторів. Приведені реальні конструкції і збірки різних вузлів детекторів з використанням технології гнучких носіїв, зокрема мікрокабелів, адаптерів, шлейфів, міжз'єднань. Розглянуто переваги даної технології порівняно з дротяними з.єднаннями детекторів з великою кількістю виводів і малим кроком.·
Perspective of aluminium-poliimide flexible carrier technology usage for assembling of different purpose detectors, including Si microstripe detectors is shown. Real constructs and assembly examples of different detector units with usage of flexible carrier technology, in particular microcables, adapters, cables, interconnections etc., are shown. Advantages of this technology are considered in comparison with ordinary wire connections in case of comparatively large amount of outlets and small step.
|
| first_indexed | 2025-12-01T03:53:55Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 1
40
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
15.07 2008 ã.
Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. À. Í. ÏÅÒËÈÖÊÈÉ
(ÍÏÎ «Èíòåãðàë», ã. Ìèíñê)
Ê. ô.-ì. í. Â. Ë. ÏÅÐÅÂÅÐÒÀÉËÎ, ê. ò. í. Â. Ä. ÆÎÐÀ,
Â. Ï. ÃÐÓÍßÍÑÊÀß, ä. ô.-ì. í. Â. Ì. ÏÓÃÀ×, È. À. ÒÓ×ÈÍÑÊÈÉ,
Ý. À. ØÊÈÐÅÍÊÎ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, ÍÈÈ ìèêðîïðèáîðîâ
E-mail: detector@carrier.kiev.ua
ÏÐÈÌÅÍÅÍÈÅ ÃÈÁÊÈÕ ÍÎÑÈÒÅËÅÉ
ÏÐÈ ÑÁÎÐÊÅ ÊÐÅÌÍÈÅÂÛÕ ÄÅÒÅÊÒÎÐÎÂ
Ïîêàçàíà ïåðñïåêòèâíîñòü ïðèìåíå-
íèÿ ãèáêèõ íîñèòåëåé òèïà «àëþìè-
íèé�ïîëèèìèä» äëÿ ñáîðêè äåòåêòî-
ðîâ ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ. Ðàññìîòðå-
íû ïðåèìóùåñòâà äàííîé òåõíîëîãèè â
ñðàâíåíèè ñ ïðîâîëî÷íûìè ñîåäèíåíè-
ÿìè äåòåêòîðîâ.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ íàèáîëåå èçâåñòíàÿ ðàçíîâèä-
íîñòü êîîðäèíàòíî-÷óâñòâèòåëüíûõ äåòåêòîðîâ �
êðåìíèåâûå ìèêðîñòðèïîâûå äåòåêòîðû (ÊÌÄ) �
ñòàëè îäíèì èç îñíîâíûõ èíñòðóìåíòîâ èññëåäîâà-
íèé â ôèçèêå âûñîêèõ ýíåðãèé, ÿäåðíîé è ðàäèàöè-
îííîé ôèçèêå [1�3]. ÊÌÄ ïîçâîëèëè ïðèìåíèòü â
ýòèõ îáëàñòÿõ ðÿä òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðèåìîâ, ïðèñó-
ùèõ òåõíîëîãèè èíòåãðàëüíûõ ñõåì. Îäíèì èç íèõ
ÿâëÿåòñÿ èñïîëüçîâàíèå ãèáêèõ íîñèòåëåé èëè ìèê-
ðîêàáåëåé, ïðèìåíÿþùèõñÿ â êà÷åñòâå ìåæñîåäèíå-
íèé, àäàïòåðîâ è âûïîëíÿþùèõ ðÿä äðóãèõ ôóíêöèé,
÷òî è ïðîäåìîíñòðèðîâàíî â äàííîé ðàáîòå.
Òåõíîëîãèÿ ãèáêèõ íîñèòåëåé òèïà «àëþìèíèé�
ïîëèèìèä», îïèñàííàÿ â [4, 5], ÿâëÿåòñÿ óíèêàëüíîé
è íå èìååò ïðÿìûõ çàðóáåæíûõ àíàëîãîâ. Ïðåäñòàâ-
ëåííûå â ðÿäå çàðóáåæíûõ ðàáîò òåõíîëîãèè ñ ãèá-
êèìè íîñèòåëÿìè òèïà «ìåäü�ïîëèèìèä» [6, 7] èìå-
þò ðÿä ñóùåñòâåííûõ íåäîñòàòêîâ. Îíè îáóñëîâëå-
íû âûñîêèì çàðÿäîì ÿäðà ìåäè, íåîáõîäèìîñòüþ íà-
íåñåíèÿ íà íåå ðàçëè÷íûõ çàùèòíûõ ïîêðûòèé (Ni,
Au è äð.), íèçêîé ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòüþ ìåäíûõ
øèí ïðè ìíîãîêðàòíûõ èçãèáàõ, íåîáõîäèìîñòüþ äî-
ïîëíèòåëüíûõ ïðîâîëî÷íûõ ñîåäèíåíèé ìåæäó êîí-
òàêòíûìè ïëîùàäêàìè äåòåêòîðà è øèíàìè ãèáêîãî
íîñèòåëÿ. Ýòî ñíèæàåò íàäåæíîñòü ñîåäèíåíèé,
óñëîæíÿåò êîíñòðóêöèþ, óâåëè÷èâàåò òðóäîåìêîñòü
ñáîðêè, à òàêæå ïðèâîäèò ê ïîòåðÿì ýíåðãèè ÷àñòèö è
âòîðè÷íûì èçëó÷åíèÿì.
Ïðè èñïîëüçîâàíèè ãèáêèõ íîñèòåëåé òèïà «àëþ-
ìèíèé�ïîëèèìèä» àëþìèíèåâûå âûâîäû ïðèâàðè-
âàþòñÿ óëüòðàçâóêîâîé ñâàðêîé íåïîñðåäñòâåííî ê
êîíòàêòíûì ïëîùàäêàì äåòåêòîðà. Îáðàçóåòñÿ ìîíî-
ìåòàëëè÷åñêîå ñîåäèíåíèå ñ âûñîêîé ïðî÷íîñòüþ íà
ðàçðûâ � ïîðÿäêà 7�12 ãñ ïðè òîëùèíå âûâîäîâ
30 ìêì (äëÿ ñâàðêè ïðîâîëîêîé äèàìåòðîì 30 ìêì
îíà ñîñòàâëÿåò 5�6 ãñ). Ïîäòâåðæäåíèåì ïåðñïåê-
òèâíîñòè òàêîé òåõíîëîãèè ÿâëÿåòñÿ åå èñïîëüçîâà-
íèå äëÿ ñáîðêè ñòðèïîâ äâóõñòîðîííåãî ñòðèï-äåòåê-
òîðà â ýêñïåðèìåíòå ALICE [8] ñ ïîìîùüþ ìèêðîêà-
áåëåé «àëþìèíèé�ïîëèèìèä».
Òåõíîëîãèÿ ñáîðêè äåòåêòîðîâ íà ãèáêèõ
íîñèòåëÿõ òèïà «àëþìèíèé�ïîëèèìèä»
è åå ïðåèìóùåñòâà
Ñîåäèíåíèå ÊÌÄ ñ ìíîãîêàíàëüíîé ñ÷èòûâàþùåé
àïïàðàòóðîé òðàäèöèîííûìè ìåòîäàìè ñ èñïîëüçî-
âàíèåì ïðîâîëî÷íûõ ñîåäèíåíèé ñîïðÿæåíî ñ ðÿäîì
òðóäíîñòåé, îáóñëîâëåííûõ ìàëûìè ðàññòîÿíèÿìè
(20�100 ìêì) ìåæäó êîíòàêòíûìè ïëîùàäêàìè ýëå-
ìåíòîâ (ñòðèïîâ), ìåæäó êîíòàêòíûìè ïëîùàäêàìè
÷èïà ìíîãîêàíàëüíîãî ïðåäóñèëèòåëÿ (40�50 ìêì)
è áîëüøèì êîëè÷åñòâîì ýëåìåíòîâ (102�103). Ýòî,
çà÷àñòóþ, äåëàåò íåâîçìîæíûì ïðèìåíåíèå ïðîâî-
ëî÷íûõ ñîåäèíåíèé èç-çà èíñòðóìåíòàëüíûõ îãðàíè-
÷åíèé è çàêîðà÷èâàíèÿ ïðîâîäíèêîâ.
Ïåðñïåêòèâíûì ÿâëÿåòñÿ ðàçðàáîòàííûé íàìè êîí-
ñòðóêòèâíî-òåõíîëîãè÷åñêèé ñïîñîá ìàññîâîé ñáîð-
êè ìèêðîñõåì â áåñêîðïóñíîì èñïîëíåíèè ñ èñïîëü-
çîâàíèåì ãèáêèõ íîñèòåëåé òèïà «àëþìèíèé�ïîëè-
èìèä» [4, 5], êîòîðûé ïîçäíåå áûë ìîäèôèöèðîâàí
äëÿ ïîâûøåíèÿ ïëîòíîñòè òîêîâåäóùèõ ýëåìåíòîâ è
óâåëè÷åíèÿ ïëîùàäè ìèêðîêàáåëÿ.
Ïðåäëîæåííûé ñïîñîá ñáîðêè âêëþ÷àåò â ñåáÿ èç-
ãîòîâëåíèå ãèáêèõ íîñèòåëåé (ìèêðîêàáåëåé) ìåòî-
äîì äâóñòîðîííåãî ôîòîëèòîãðàôè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ
ñëîåâ àëþìèíèÿ è ïîëèèìèäà, ïðèñîåäèíåíèå èõ ê
ñòàíäàðòíûì êðèñòàëëàì óëüòðàçâóêîâîé ñâàðêîé,
ãåðìåòèçàöèþ ïîëèìåðíûìè ìàòåðèàëàìè è ïðîâåäå-
íèå òåõíîëîãè÷åñêèõ îòáðàêîâî÷íûõ èñïûòàíèé, â òîì
÷èñëå ýëåêòðîòåðìîòðåíèðîâîê � ïðè íåîáõîäèìî-
ñòè. Ïðè ýòîì òîëùèíà ñëîÿ àëþìèíèÿ, èñïîëüçóåìî-
ãî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ âûâîäîâ íîñèòåëåé, ìîæåò ñî-
ñòàâëÿòü 14, 20, 25 èëè 30 ìêì, à ïîëèèìèäíîãî îñ-
íîâàíèÿ � 10 èëè 20 ìêì.
Ãèáêèå íîñèòåëè (ìèêðîêàáåëè) ìîæíî èçãîòàâ-
ëèâàòü ðàçëè÷íûìè ìåòîäàìè. Ïðè áîëüøèõ îáúåìàõ
âûïóñêà è ñðàâíèòåëüíî ìàëîì êîëè÷åñòâå âûâîäîâ
(äî 64) ïðåèìóùåñòâî èìåþò âûñîêîïðîèçâîäèòåëü-
íûå ìåòîäû ðóëîííîé îáðàáîòêè, íàïðèìåð, ñ èñïîëü-
çîâàíèåì ëèíèè «Ëàäîãà». Ïðè ìàëûõ îáúåìàõ, à òàê-
æå ïðè èçãîòîâëåíèè ñëîæíûõ èçäåëèé, èìåþùèõ
ñîòíè âûâîäîâ, áîëåå ïðåäïî÷òèòåëüíûì îêàçûâàåò-
ñÿ òàê íàçûâàåìûé «ïëàíøåòíûé» âàðèàíò òåõíîëî-
ãèè. Ïðè øèðèíå âûâîäîâ (øèí) îò 80 ìêì è èõ øàãå
îò 180 ìêì ïëàíøåòíûé âàðèàíò ìîæåò áûòü ëåãêî
ðåàëèçîâàí ñ ïîìîùüþ ñïåöèàëüíî ðàçðàáîòàíîãî
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 1
41
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ìíîãîêîìïîíåíòíîãî òðàâèòåëÿ àëþìèíèÿ ñ êîìíàò-
íîé ðàáî÷åé òåìïåðàòóðîé [9].
Óìåíüøåíèå øèðèíû âûâîäîâ (äî íåñêîëüêèõ äå-
ñÿòêîâ ìèêðîìåòðîâ) è øàãà (ìåíåå 100 ìêì) ïîòðå-
áîâàëî ñóùåñòâåííîé äîðàáîòêè òåõíîëîãèè èçãîòîâ-
ëåíèÿ ãèáêèõ íîñèòåëåé.
Áûëà ðàçðàáîòàíà ìåòîäèêà íàíåñåíèÿ ôîòîðåçè-
ñòà [10], îáåñïå÷èâàþùàÿ ïîëó÷åíèå åãî ïîñòîÿí-
íîé îïòèìàëüíîé òîëùèíû ïîðÿäêà 1,5 ìêì ïðè ðàç-
ëè÷íûõ âÿçêîñòÿõ è äðóãèõ ïàðàìåòðàõ ñâåòî÷óâ-
ñòâèòåëüíîãî ðàñòâîðà. Âûáðàí ïîëèðóþùèé òðàâè-
òåëü àëþìèíèÿ ñ ïîâûøåííîé ðàáî÷åé òåìïåðàòó-
ðîé (äî 100°Ñ).
 òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå òùàòåëüíî êîíòðîëè-
ðîâàëèñü ðåæèìû, îñîáåííî îñâåùåííîñòü ïðè ýêñ-
ïîíèðîâàíèè, òåìïåðàòóðà ðàáî÷èõ ðàñòâîðîâ, äàâ-
ëåíèå â âàêóóìíîé ðàìå è ò. ï.
Âñå ýòî îáåñïå÷èëî ïîâûøåíèå ïëîòíîñòè ýëåìåí-
òîâ ãèáêèõ íîñèòåëåé äî 125 ýëåìåíòîâ/ñì ïðè äî-
ïóñêå íà òðàâëåíèå ±4 ìêì, ñóùåñòâåííîå ñíèæåíèå
äåôåêòíîñòè. Âûõîä ãîäíûõ ìèêðîêàáåëåé âîçðîñ äî
50% (ïðè øàãå âûâîäîâ äî 80 ìêì, èõ êîëè÷åñòâå äî
íåñêîëüêèõ ñîòåí, ïëîùàäè ìèêðîêàáåëåé ñâûøå
40×40 ìì).
Îòìåòèì, ÷òî äàííûé ìåòîä ñáîðêè, ðàçðàáîòàííûé
âíà÷àëå äëÿ èçäåëèé ñïåöïðèìåíåíèÿ, ïîêàçàë ñâîþ
ýôôåêòèâíîñòü è ïðè èçãîòîâëåíèè èçäåëèé øèðîêîãî
ïðèìåíåíèÿ, íàïðèìåð ìèêðîêàëüêóëÿòîðîâ.
Ê äîñòîèíñòâàì ïðåäëîæåííîãî ìåòîäà ñáîðêè
êðåìíèåâûõ äåòåêòîðîâ îòíîñÿòñÿ:
� âîçìîæíîñòü îòäàëåíèÿ ñ÷èòûâàþùåé àïïàðà-
òóðû îò äåòåêòîðà è îò îáëàñòè âçàèìîäåéñòâèÿ ñ âû-
ñîêèìè ðàäèàöèîííûìè ïîëÿìè;
� âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ íà îäíîì ãèáêîì íîñè-
òåëå (ìèêðîêàáåëå) ôóíêöèîíàëüíîãî áëîêà, ñîäåð-
æàùåãî íåñêîëüêî äåòåêòîðîâ è, ïðè íåîáõîäèìîñòè,
óïðàâëÿþùèõ ìèêðîñõåì;
� âûñîêàÿ íàäåæíîñòü ñâàðíûõ ñîåäèíåíèé íà
êðèñòàëëàõ;
� îòñóòñòâèå âòîðè÷íûõ èçëó÷åíèé ïðè îáëó÷å-
íèè çà ñ÷åò ìàëîãî çàðÿäà ÿäðà ìàòåðèàëà âûâîäîâ
(àëþìèíèÿ);
� ñóùåñòâåííîå ñíèæåíèå ìàññîãàáàðèòíûõ õà-
ðàêòåðèñòèê èçäåëèé çà ñ÷åò ïîâûøåíèÿ ïëîòíîñòè
ìîíòàæà (øàã ðàñïîëîæåíèÿ âûâîäîâ íîñèòåëåé â
íàèáîëåå óçêèõ ìåñòàõ ìîæåò áûòü ñíèæåí äî 80 ìêì
â ñëó÷àå èñïîëüçîâàíèÿ áîëåå òîíêèõ ñëîåâ àëþìè-
íèÿ);
� âîçìîæíîñòü ïðèìåíåíèÿ ìèêðîêàáåëåé èëè
ãèáêèõ íîñèòåëåé êàê àäàïòåðîâ ïðè ïåðåõîäå ñ îä-
íîãî çíà÷åíèÿ øàãà âûâîäîâ íà äðóãîé, íàïðèìåð
ïðè ïåðåõîäå îò äåòåêòîðà ê ÷èïó ìíîãîêàíàëüíîãî
ïðåäóñèëèòåëÿ èëè ðàñïàéêå âûâîäîâ äåòåêòîðà íà
ïëàòû èëè ðàçúåìû;
� âîçìîæíîñòü ïðèìåíåíèÿ äâóõñòîðîííåé ìå-
òàëëèçàöèè íà ãèáêîì íîñèòåëå;
� âîçìîæíîñòü ìîíòàæà â èçäåëèÿ êàê óëüòðàçâó-
êîâîé ñâàðêîé, òàê è áåñôëþñîâîé ïàéêîé, çà ñ÷åò äî-
ïîëíèòåëüíîé îáðàáîòêè àëþìèíèåâûõ âûâîäîâ [4, 5];
� ïðàêòè÷åñêîå èñêëþ÷åíèå âîçìîæíîñòè êîðîò-
êîãî çàìûêàíèÿ âûâîäîâ çà ñ÷åò èõ çàêðåïëåíèÿ íà
ïðî÷íîé è òåðìè÷åñêè ñòîéêîé ïîëèèìèäíîé ïëåíêå,
÷òî îñîáåííî àêòóàëüíî â ñëó÷àÿõ, êîãäà ñîåäèíÿå-
ìûå òî÷êè çíà÷èòåëüíî óäàëåíû äðóã îò äðóãà.
Ñáîðêà äåòåêòîðîâ ñ èñïîëüçîâàíèåì ãèáêèõ
íîñèòåëåé
Îïèñàííàÿ òåõíîëîãèÿ ñáîðêè èçäåëèé ñ èñïîëü-
çîâàíèåì ãèáêèõ íîñèòåëåé òèïà «àëþìèíèé�ïîëè-
èìèä» ïðèìåíåíà äëÿ ñáîðêè ðÿäà äåòåêòîðîâ. Áûëà
ðàçðàáîòàíà êîíñòðóêöèÿ ãèáêîãî íîñèòåëÿ äëÿ 128-
ýëåìåíòíîãî ñòðèï-äåòåêòîðà, èìåþùåãî øàã ñòðè-
ïîâ 330 ìêì ïðè ðàññòîÿíèè ìåæäó íèìè 50 ìêì.
Äåòåêòîð èìåë ñòðèïû ñ ïðÿìîé ñâÿçüþ, ïîýòîìó äèñ-
êðåòíûå ÊÌÄ-ðåçèñòîðû ñìåùåíèÿ è ïåðåõîäíûå êîí-
äåíñàòîðû áûëè ðàñïîëîæåíû íà ïå÷àòíîé ïëàòå, êî-
òîðàÿ èç-çà âûñîêîé ïëîòíîñòè ýëåìåíòîâ áûëà èçãî-
òîâëåíà äâóõñòîðîííåé ñ ìåòàëëèçèðîâàííûìè îòâåð-
ñòèÿìè è ñ èñïîëüçîâàíèåì ÊÌÄ-ýëåìåíòîâ.
Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ ñòûêîâêè ñòðèï-äåòåêòîðà è ïëàòû
ñ ðåçèñòîðàìè ñìåùåíèÿ è êîíäåíñàòîðàìè ñâÿçè
èñïîëüçîâàëñÿ ãèáêèé íîñèòåëü, èçãîòîâëåííûé èç
äèýëåêòðèêà ñî ñëîåì àëþìèíèÿ òîëùèíîé 20 ìêì,
ïîâåðõ êîòîðîãî íàíåñåíà ïîëèèìèäíàÿ ïëåíêà òîé
æå òîëùèíû [4]. Ñîåäèíåíèå ñòðèïîâûõ ýëåìåíòîâ
äåòåêòîðà íà êðèñòàëëå ñ ðåçèñòîðàìè è êîíäåíñàòî-
ðàìè, ñìîíòèðîâàííûìè íà ïå÷àòíîé ïëàòå, îñóùå-
ñòâëÿëîñü óëüòðàçâóêîâîé ñâàðêîé âíóòðåííèõ îêîí-
÷àíèé âûâîäîâ ãèáêîãî íîñèòåëÿ ñ êîíòàêòíûìè ïëî-
ùàäêàìè íà êðåìíèåâîì êðèñòàëëå äåòåêòîðà è áåñ-
ôëþñîâîé ïàéêîé èõ âíåøíèõ îêîí÷àíèé ñ ìåäíûìè
øèíàìè íà ïëàòå. Íà âíåøíèõ îêîí÷àíèÿõ âûâîäîâ
ïðåäâàðèòåëüíî ôîðìèðîâàëè ïðèïîéíûå âûñòóïû
(øàðèêè) (ðèñ. 1). Ïðè ýòîì ñîïðîòèâëåíèå ïàÿíûõ
ñîåäèíåíèé ãèáêîãî íîñèòåëÿ ñ êîíòàêòíûìè ïëîùàä-
êàìè ïëàòû ñîñòàâëÿëî ñîòûå äîëè Îì, à ñîïðîòèâ-
ëåíèå ñâàðíûõ ìèêðîñîåäèíåíèé Al�Al êîíòàêòíûõ
ïëîùàäîê êðèñòàëëà ñ âûâîäàìè íîñèòåëÿ � åùå íà
2�3 ïîðÿäêà ìåíüøå.
Ôîòîãðàôèÿ 128-ýëåìåíòíîãî ñòðèï-äåòåêòîðà è
ïå÷àòíîé ïëàòû ïîêàçàíà íà ðèñ. 2. Íà ôðàãìåíòå ïëàòû
ñ îáëàñòüþ ìåòàëëèçèðîâàííûõ îòâåðñòèé è êîíòàêò-
íûõ ïëîùàäîê äåòåêòîðà (ðèñ. 2, à) âèäíû îòðåçêè
àëþìèíèåâûõ øèí íà ãèáêîì íîñèòåëå, ñîåäèíÿþ-
ùèå ýëåìåíòû äåòåêòîðà è ïëàòû. Øàã ñòðèïîâ äåòåê-
òîðà îòëè÷àåòñÿ îò øàãà øèí íà ïëàòå.  ýòîì ñëó÷àå
ãèáêèé íîñèòåëü ÿâëÿåòñÿ òàêæå àäàïòåðîì ìåæäó ñòðè-
ïàìè äåòåêòîðà, ðàñïîëîæåííûìè ñ øàãîì 300 ìêì, è
øèíàìè ïëàòû, èìåþùèìè øàã 600 ìêì ñ êàæäîé
ñòîðîíû.
Íà ðèñ. 2, á ïîêàçàí ôðàãìåíò ñòðèï-äåòåêòîðà ñ
êîíòàêòíûìè ïëîùàäêàìè íà êîíöàõ ñòðèï-ýëåìåí-
òîâ è çàùèòíûìè êîëüöàìè íà êðàþ êðåìíèåâîãî êðè-
ñòàëëà äåòåêòîðà è øèí íà ïëàòå, ñîåäèíåííûõ Al-
øèíàìè ãèáêîãî íîñèòåëÿ.
Î÷åíü óäîáíîé îêàçàëàñü òåõíîëîãèÿ ãèáêîãî íî-
ñèòåëÿ äëÿ êîëüöåâîãî ñòðèï-äåòåêòîðà (ðèñ. 3), êîã-
äà âûâîäû ñòðèïîâ íåîáõîäèìî áûëî âåñòè ê øèíàì
ïëàòû íà çíà÷èòåëüíîå ðàññòîÿíèå, êàê ýòî âèäíî íà
ðèñ. 3, à, ïðè÷åì âûâîäû ïðîâåäåíû íå â çàçîðå ìåæ-
äó êðèñòàëëàìè, à íàä ïîâåðõíîñòüþ êðåìíèåâûõ êðè-
ñòàëëîâ (ðèñ. 3, á, â).
Ðàçðàáîòàííûé êðåìíèåâûé êîëüöåâîé ñòðèï-äå-
òåêòîð áûë èñïîëüçîâàí äëÿ ðåãèñòðàöèè ðàäèîàêòèâ-
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 1
42
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Ðèñ. 1. Ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå ñîåäèíåíèÿ ñòðèï-äåòåêòîðà è ïëàòû ñ ðåçèñòîðàìè è åìêîñòÿìè
ÓÇ ñâàðêà Al�Al
Al-âûâîä p+-ñòðèïà
Al íà ïîëèèìèäå
Ïîëèèìèä
Sn�Pb-øàðèê äëÿ ïàéêè
Al-êîíòàêò
ê ïîäëîæêå
Ïå÷àòíàÿ ïëàòà
Ìåòàëëèçèðîâàííîå
îòâåðñòèå
Cu-øèíû
ÊÌÄ-ýëåìåíòû (R, C)
Cu-øèíû
Ïàéêà
Ïàéêà
p+-îáëàñòü
n-Si
n+-îáëàñòü
Ðèñ. 2. 128-ýëåìåíòíûé ñòðèï-äåòåêòîð íà ïå÷àòíîé ïëàòå:
à � ôðàãìåíò ïëàòû; á � ôðàãìåíò ñòðèï�äåòåêòîðà
à)
á)
á)
â)
Ðèñ. 3. Êîëüöåâîé äåòåêòîð ñ 4 ñåêöèÿìè ïî 10 êîëüöåâûõ ñòðèïîâ â êâàäðàòå:
à � ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå; á � îáùèé âèä; â � ôðàãìåíò ñîåäèíåíèÿ ãèáêèì íîñèòåëåì
à)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 1
43
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
íûõ èîíîâ â ýêñïåðèìåíòàõ íà èîííûõ ïó÷êàõ â óíè-
âåðñèòåòå Ëîóâåéíà, Áåëüãèÿ. Èñïîëüçîâàíèå â ýòîì
ñëó÷àå äðóãèõ ìåòîäîâ ñáîðêè ïðåäñòàâëÿåòñÿ íåâîç-
ìîæíûì èç-çà çíà÷èòåëüíîãî óäàëåíèÿ ñîåäèíÿåìûõ
çîí è ñëîæíîé êîíôèãóðàöèè âûâîäîâ. Êîëüöåâûì
äåòåêòîðîì áûëè ïðîâåäåíû èçìåðåíèÿ óãëîâûõ ðàñ-
ïðåäåëåíèé ïó÷êà ðàññåÿííûõ ðàäèîàêòèâíûõ èîíîâ
6He c ýíåðãèåé 14 ÌýÂ íà ìèøåíè 208 Pb [11, 12].
Ãèáêèå íîñèòåëè óñïåøíî ïðèìåíÿþòñÿ â êîíñò-
ðóêöèÿõ äëÿ ðåãèñòðàöèè ïîëåé ïðîñòðàíñòâåííîãî
ðàñïðåäåëåíèÿ ïîãëîùåííîé äîçû ðåíòãåíîâñêèõ, γ-
è äðóãèõ èçëó÷åíèé [13].
Äåòåêòîðû ìîãóò ïðèìåíÿòüñÿ òàêæå â ìåäèöèíå
äëÿ îïðåäåëåíèÿ äîçû ïðè ëó÷åâîé òåðàïèè, â êîñìî-
ñå, â ôèçèêå âûñîêèõ ýíåðãèé è äðóãèõ ïðèëîæåíèÿõ
äëÿ èçìåðåíèÿ äîçû îáëó÷åíèÿ ýëåêòðîííûõ êîìïî-
íåíòîâ è ìàòåðèàëîâ êîíñòðóêöèé, äëÿ ìîíèòîðèíãà
ðàäèàöèîííûõ ïó÷êîâ è ïîëåé.
Íà ðèñ. 4 ïîêàçàíà ëèíåéêà èç 10 äîçèìåòðîâ íà
áàçå ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ ñ òîëñòûì îêèñëîì, ñîáðàí-
íàÿ íà îäíîì ãèáêîì íîñèòåëå «àëþìèíèé�ïîëè-
èìèä», ðàçìåùåííîì íà ïå÷àòíîé ïëàòå. Ëèíåéêè
ïðåäíàçíà÷åíû äëÿ êîíòðîëÿ ëîêàëüíûõ äîç îáëó÷å-
íèÿ ïðè ëå÷åíèè îíêîáîëüíûõ. Äëÿ òàêèõ êîíñòðóê-
öèé ñîïðîòèâëåíèå 1 ñì äëèíû àëþìèíèåâîé øèíû
øèðèíîé 60�80 ìêì ñîñòàâëÿëî 0,1�0,15 Îì, à
ñîïðîòèâëåíèå èçîëÿöèè ìåæäó âûâîäàìè � íå ìå-
íåå 1011 Îì. Åìêîñòü äâóõ ñîñåäíèõ øèí äëèíîé
1 ñì ïðè òîëùèíå ñëîÿ àëþìèíèÿ 30 ìêì è ïîëèèìè-
äà 20 ìêì è ðàññòîÿíèè ìåæäó øèíàìè 100�120 ìêì
ñîñòàâëÿëà íå áîëåå 5·10�2 ïÔ.
Ðèñ. 4. Ìèêðîêàáåëü ñ äåñÿòüþ ÷èïàìè ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ ñ òîëñòûì îêèñëîì:
à � ñõåìàòè÷åñêîå èçîáðàæåíèå; á � îáùèé âèä; â � óâåëè÷åííûé ôðàãìåíò ñ âûõîäîì ãèáêîãî íîñèòåëÿ íà ïå÷àòíóþ ïëàòó â
çîíå ðàçúåìà; ã � ñ ëèöåâîé ñòîðîíû ÷èïà; ä � ñ îáðàòíîé ñòîðîíû ÷èïà
à)
á)
â)
ã) ä)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 1
44
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Ïðèâåäåííûå äàííûå î ñîïðîòèâëåíèè è åìêîñòè
äëèííûõ ìåòàëëè÷åñêèõ øèí íà ïîëèèìèäå ìîãóò áûòü
èñïîëüçîâàíû äëÿ îöåíêè âçàèìíîãî âëèÿíèÿ ñèãíà-
ëîâ â øèíàõ. Ýòî ñâÿçàíî ñ òåì, ÷òî â ïîñëåäíåå âðå-
ìÿ âîçíèêëà ïîòðåáíîñòü â äëèííûõ ìèêðîêàáåëÿõ
(10�50 ñì) äëÿ êðåìíèåâûõ ñòðèï-äåòåêòîðîâ, ãäå
íåîáõîäèìî îòäàëèòü ýëåêòðîííóþ àïïàðàòóðó íà çíà-
÷èòåëüíîå ðàññòîÿíèå îò îáëàñòè âçàèìîäåéñòâèÿ ñ
âûñîêèìè ðàäèàöèîííûìè ïîëÿìè, à òàêæå â ñëó÷àå
äåòåêòîðîâ, ñîñòîÿùèõ èç ôðàãìåíòîâ è áëîêîâ, êîã-
äà íåîáõîäèìî âûâåñòè ñèãíàëû îò ñòðèïîâ ôðàãìåíòà
èëè áëîêà â ñðåäíåé ÷àñòè ñîñòàâíîãî äåòåêòîðà íà
êðàé èëè çà ïðåäåëû äåòåêòîðà âìåñòå ñ òåïëîîòâîäÿ-
ùèìè (ìàññèâíûìè) ýëåìåíòàìè.
Âûâîäû
Ïðèìåíåíèå ïðåäëîæåííûõ ãèáêèõ íîñèòåëåé
(àëþìèíèåâûõ ìèêðîêàáåëåé, àäàïòåðîâ, øëåéôîâ ñ
Al-âûâîäàìè) ïîâûøàåò íàäåæíîñòü äåòåêòîðîâ èîíè-
çèðóþùèõ èçëó÷åíèé è ìåõàíè÷åñêóþ ïðî÷íîñòü ìåæ-
ñîåäèíåíèé, óñòðàíÿåò âëèÿíèå âòîðè÷íîãî ðåíòãåíîâ-
ñêîãî èçëó÷åíèÿ íà ðåãèñòðèðóþùóþ àïïàðàòóðó.
Íåìàëîâàæíûì ïðè ýòîì ÿâëÿåòñÿ è óìåíüøåíèå ìàñ-
ñîãàáàðèòíûõ õàðàêòåðèñòèê ïðîåêòèðóåìûõ èçäåëèé.
Ðàçðàáîòàííàÿ òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîêàáå-
ëåé ïîçâîëÿåò óâåëè÷èòü ïëîòíîñòü ìîíòàæà, ïðîèç-
âîäèòü ýôôåêòèâíîå ñîåäèíåíèå ýëåìåíòîâ êîíñòðóê-
öèè ñ ðàçëè÷àþùèìèñÿ øàãàìè ìåæäó êîíòàêòíûìè
ïëîùàäêàìè. Îäíèì èç âàæíûõ ïðèìåíåíèé ðàçðà-
áîòàííûõ ãèáêèõ íîñèòåëåé ÿâëÿåòñÿ âîçìîæíîñòü ñî-
çäàíèÿ ôóíêöèîíàëüíîãî áëîêà íåïîñðåäñòâåííî íà
øëåéôå, ÷òî ïîçâîëÿåò ðàñøèðèòü îáëàñòü ïðèìåíå-
íèÿ äåòåêòîðîâ èçëó÷åíèÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Àêèìîâ Þ. Ê., Èãíàòüåâ Î. Â., Êàëèíèí À. È., Êóøíèðóê
Â. Ô. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå äåòåêòîðû â ýêñïåðèìåíòàëüíîé ôèçè-
êå.� Ì.: Ýíåðãîàòîìèçäàò, 1989.
2. Lutz G. Semiconductor radiation detectors.� Paris; Singapore;
Tokyo: Springer, 1999. (http://www.springer.de)
3. Ïåðåâåðòàéëî Â. Ë. Ñîçäàíèå ýëåìåíòíîé áàçû äëÿ ÿäåðíî-
ôèçè÷åñêîãî è ðàäèàöèîííîãî ïðèáîðîñòðîåíèÿ íà îñíîâå êðåì-
íèåâîé èíòåãðàëüíîé òåõíîëîãèè // Òðóäû Ïÿòîé ÌÍÏÊ «ÑÈÝÒ-
2004», Îäåññà, 2004.� Ñ. 200.
4. Øåðåâåíÿ À. Ã., Öóêàíîâ Ë. Í., Òó÷èíñêèé È. À., Æîðà Â. Ä.
Êîíñòðóêöèÿ è òåõíîëîãèÿ ñáîðêè ÁÈÑ â áåñêîðïóñíîì èñïîëíå-
íèè íà ãèáêîì íîñèòåëå //  ñá.: Íàó÷íî-òåõí. äîñòèæåíèÿ.� Ì.:
ÂÈÌÈ.� 1984.� ¹ 4.� Ñ. 3�5.
5. À. ñ. 1781733 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá ñáîðêè èíòåãðàëüíûõ ñõåì /
À. Ã. Øåðåâåíÿ, È. À. Òó÷èíñêèé, Â. Ä. Æîðà.� 1992.� Áþë. ¹ 46.
6. Ambrosi G., Babucci E., Battiston R. et al. The development
of the capton signal router for the silicon microstrip detector //
Nuclear Instruments and Methods.� 1995.� A 361.� Ð. 97�100.
7. Ely R. P., Weber M., Zimmermann S., Rong-Shyang Lu, Lujan
R. J. Shielding and electrical performance of silicon detector super-
modules // IEEE Trans. on Nuclear Science.� 2005.� Vol. 52,
N 5.� P. 1892�1898.
8. Oinonen M., Aaltonen J., Kassamakov I. et al. ALICE silicon
strip detector module assembly with single-point TAB
interconnections // Proceedings of the Conference LECC-Ihc-work
shop-2005. http://web.cern.ch.
9. À. ñ. 566866 ÑÑÑÐ. Ðàñòâîð äëÿ òðàâëåíèÿ àëþìèíèÿ /
Â. Í. Êèäàëþê, Â. Ä. Æîðà, Á. À. Êàìáóðüÿí, Â. Ê. Ìàñåíêî.�
1977.� Áþë. ¹ 28.
10. Æîðà Â. Ä., Øåðåâåíÿ À. Ã., Äîíöîâà Â. Â. è äð. Íàíåñåíèå
ôîòîðåçèñòèâíîãî ñëîÿ â ïðîöåññå ðóëîííîãî èçãîòîâëåíèÿ ãèá-
êèõ íîñèòåëåé äëÿ ñáîðêè ÈÑ // Ýëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Ñåð. 7,
ÒÎÏÎ.� 1988.� Âûï. 3.� Ñ. 5�8.
11. Nemez O. F., Pavlenko Yu. N., Pugatch V. M. et al. Silicon
annular strip detector // Proceed. of International symposium of
atomic nuclear physic.� Moscow.� 1998.� P. 346.
12. Ïåðåâåðòàéëî Â. Ë. Ðàçðàáîòêà è õàðàêòåðèñòèêè êðåìíè-
åâûõ êîîðäèíàòíî-÷óâñòâèòåëüíûõ äåòåêòîðîâ äëÿ ôèçèêè âûñî-
êèõ ýíåðãèé è ÿäåðíîé ôèçèêè // ßäåðíàÿ ôèçèêà è ýíåðãåòèêà.�
2008.� ¹ 1 (23).� C. 88�95.
13. Ïåðåâåðòàéëî Â. Ë. Ïðîñòðàíñòâåííî-ðàñïðåäåëåííûå äàò-
÷èêè èíòåãðàëüíîé ïîãëîùåííîé äîçû èîíèçèðóþùèõ èçëó÷åíèé
íà îñíîâå ÌÎÏ-òðàíçèñòîðîâ // Òðóäû Âîñüìîé ÌÍÏÊ «ÑÈÝÒ-
2007», Îäåññà.� 2007.� Ñ. 349.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Ìàãäà Þ. Ñ. Ìèêðîêîíòðîëëåðû PIC24: Àðõèòåêòóðà è ïðîãðàììèðî-
âàíèå.� Ì.: Äîäåêà, 2009.� 240 ñ.
 êíèãå ðàññìàòðèâàåòñÿ øèðîêèé êðóã âîïðîñîâ, ñâÿçàííûõ ñ ïðàêòè÷åñêèì
ïðèìåíåíèåì ïîïóëÿðíûõ 16-áèòíûõ ìèêðîêîíòðîëëåðîâ PIC24 â ñèñòåìàõ îá-
ðàáîòêè äàííûõ è óïðàâëåíèÿ îáîðóäîâàíèåì. Ïðèâîäÿòñÿ ìíîãî÷èñëåííûå ïðè-
ìåðû ïðîãðàììèðîâàíèÿ íåñëîæíûõ àïïàðàòíî-ïðîãðàììíûõ ñèñòåì îáðàáîòêè
àíàëîãîâîé è öèôðîâîé èíôîðìàöèè ñ ïðèìåíåíèåì ïåðèôåðèéíûõ ìîäóëåé
ìèêðîêîíòðîëëåðîâ PIC24F.
Âñå ïðèâåäåííûå â êíèãå àïïàðàòíî-ïðîãðàììíûå ïðîåêòû ðàçðàáîòàíû è ïðî-
âåðåíû íà îòëàäî÷íîì ìîäóëå Explorer16Development Board ôèðìû Microchip è
ìîãóò ñëóæèòü îñíîâîé äëÿ ñîçäàíèÿ ñîáñòâåííûõ ïðîåêòîâ.
 êîíòåêñòå ðàçðàáîòàííûõ ïðèìåðîâ ïðèâîäÿòñÿ íåîáõîäèìûå ñâåäåíèÿ èç òåî-
ðèè, ÷òî ñïîñîáñòâóåò ëó÷øåìó ïîíèìàíèþ ìàòåðèàëà êíèãè.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52026 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T03:53:55Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Перевертайло, В.Л. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. Пугач, В.М. Тучинский, И.А. Шкиренко, Э.А. 2013-12-22T21:17:24Z 2013-12-22T21:17:24Z 2009 Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов / В.Л. Перевертайло, В.Д. Жора, В.П. Грунянская, В.М. Пугач, И.А. Тучинский, Э.А. Шкиренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 1. — С. 40-44. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52026 Показана перспективность применения гибких носителей типа «алюминий-полиимид» для сборки детекторов различного назначения. Рассмотрены преимущества данной технологии в сравнении с проволочными соединениями детекторов. Показана перспективність застосування технології гнучких носіїв типу «алюміній-полімід» для детекторів різного призначення, в т. ч. кремнієвих мікрострипових детекторів. Приведені реальні конструкції і збірки різних вузлів детекторів з використанням технології гнучких носіїв, зокрема мікрокабелів, адаптерів, шлейфів, міжз'єднань. Розглянуто переваги даної технології порівняно з дротяними з.єднаннями детекторів з великою кількістю виводів і малим кроком.· Perspective of aluminium-poliimide flexible carrier technology usage for assembling of different purpose detectors, including Si microstripe detectors is shown. Real constructs and assembly examples of different detector units with usage of flexible carrier technology, in particular microcables, adapters, cables, interconnections etc., are shown. Advantages of this technology are considered in comparison with ordinary wire connections in case of comparatively large amount of outlets and small step. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов Застосування гнучких носіїв при збиранні кремнієвих детекторів Usage of flexible carrier at assembling of silicon detectors Article published earlier |
| spellingShingle | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов Перевертайло, В.Л. Жора, В.Д. Грунянская, В.П. Пугач, В.М. Тучинский, И.А. Шкиренко, Э.А. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов |
| title_alt | Застосування гнучких носіїв при збиранні кремнієвих детекторів Usage of flexible carrier at assembling of silicon detectors |
| title_full | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов |
| title_fullStr | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов |
| title_full_unstemmed | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов |
| title_short | Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов |
| title_sort | применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов |
| topic | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52026 |
| work_keys_str_mv | AT perevertailovl primeneniegibkihnositeleiprisborkekremnievyhdetektorov AT žoravd primeneniegibkihnositeleiprisborkekremnievyhdetektorov AT grunânskaâvp primeneniegibkihnositeleiprisborkekremnievyhdetektorov AT pugačvm primeneniegibkihnositeleiprisborkekremnievyhdetektorov AT tučinskiiia primeneniegibkihnositeleiprisborkekremnievyhdetektorov AT škirenkoéa primeneniegibkihnositeleiprisborkekremnievyhdetektorov AT perevertailovl zastosuvannâgnučkihnosíívprizbiranníkremníêvihdetektorív AT žoravd zastosuvannâgnučkihnosíívprizbiranníkremníêvihdetektorív AT grunânskaâvp zastosuvannâgnučkihnosíívprizbiranníkremníêvihdetektorív AT pugačvm zastosuvannâgnučkihnosíívprizbiranníkremníêvihdetektorív AT tučinskiiia zastosuvannâgnučkihnosíívprizbiranníkremníêvihdetektorív AT škirenkoéa zastosuvannâgnučkihnosíívprizbiranníkremníêvihdetektorív AT perevertailovl usageofflexiblecarrieratassemblingofsilicondetectors AT žoravd usageofflexiblecarrieratassemblingofsilicondetectors AT grunânskaâvp usageofflexiblecarrieratassemblingofsilicondetectors AT pugačvm usageofflexiblecarrieratassemblingofsilicondetectors AT tučinskiiia usageofflexiblecarrieratassemblingofsilicondetectors AT škirenkoéa usageofflexiblecarrieratassemblingofsilicondetectors |