Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Джангидзе, Л.Б., Тавхелидзе, А.Н., Благидзе, Ю.М., Талиашвили, З.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52044
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором / Л.Б. Джангидзе, А.Н. Тавхелидзе, Ю.М. Благидзе, З.И. Талиашвили // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 37-42. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Предложены различные технологические приемы, позволяющие получить правильную геометрию электрода в процессе электроосаждения меди и уменьшить внутреннее напряжение осаждаемого слоя. Електроосадження мідного електроду на підкладці Si здійснюється для отримання вакуумного нанозазору великої площі для...