Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій ви...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862699147112480768 |
|---|---|
| author | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_facet | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| citation_txt | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.
Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу.
It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:34:53Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52046 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:34:53Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. 2013-12-26T00:43:52Z 2013-12-26T00:43:52Z 2009 Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу. It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments Article published earlier |
| spellingShingle | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Материалы электроники |
| title | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_alt | Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments |
| title_full | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_fullStr | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_full_unstemmed | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_short | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_sort | изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 |
| work_keys_str_mv | AT ivančikovaé izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT kiselʹam izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT medvedevaab izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT plebanovičvi izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT ivančikovaé zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT kiselʹam zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT medvedevaab zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT plebanovičvi zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT ivančikovaé modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT kiselʹam modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT medvedevaab modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT plebanovičvi modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments |