Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій ви...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859998787250946048 |
|---|---|
| author | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_facet | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| citation_txt | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.
Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу.
It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:34:53Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 2
46
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
03.06 2008 ã. � 16.03 2009
Îïïîíåíò ê. ò. í. Ë. Â. ÇÀÂÜßËÎÂÀ
(ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
À. Ý. ÈÂÀÍ×ÈÊÎÂ, À. Ì. ÊÈÑÅËÜ, À. Á. ÌÅÄÂÅÄÅÂÀ,
Â. È. ÏËÅÁÀÍÎÂÈ×
Ðåñïóáëèêà Áåëàðóñü, ã. Ìèíñê, Çàâîä ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ
ÍÏÎ «Èíòåãðàë»
E-mail: office@bms.by
ÈÇÌÅÍÅÍÈÅ ÑÂÎÉÑÒÂ ÏËÅÍÎÊ
ÊÐÅÌÍÈÉÎÐÃÀÍÈ×ÅÑÊÈÕ ÑÒÅÊÎË ÏÎÑËÅ ÒÅÐÌÈ×ÅÑÊÎÉ
È ÏËÀÇÌÎÕÈÌÈ×ÅÑÊÎÉ ÎÁÐÀÁÎÒÎÊ
Óñòàíîâëåíî, ÷òî îöåíêà êà÷åñòâà ïëåí-
êè ïîñëå ðàçëè÷íûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ
îïåðàöèé èçãîòîâëåíèÿ ÈÑ ìîæåò ïðî-
âîäèòüñÿ ïî èçìåíåíèþ ñïåêòðà ïðîïóñ-
êàíèÿ ïëåíêè. Ýòî ïîçâîëÿåò èñêëþ÷èòü
áðàê ÈÑ, îáóñëîâëåííûé îáðûâîì ñëîÿ
ìåòàëëà.
Îñíîâíàÿ çàêîíîìåðíîñòü ðàçâèòèÿ ìèêðîýëåêò-
ðîíèêè íà ñîâðåìåííîì ýòàïå ñîñòîèò â ñòðåìèòåëü-
íîì óâåëè÷åíèè ñòåïåíè èíòåãðàöèè ïðè óìåíüøåíèè
ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ ýëåìåíòîâ ñõåìû ñ îäíîâðåìåí-
íûì óâåëè÷åíèåì èõ êîëè÷åñòâà. Ðîñò ñòåïåíè èíòåã-
ðàöèè ñîïðîâîæäàåòñÿ óâåëè÷åíèåì êîëè÷åñòâà ìå-
òàëëèçèðîâàííûõ òîïîëîãè÷åñêèõ ñëîåâ è êîëè÷åñòâà
êîíòàêòíûõ îêîí â ñëîÿõ ìåòàëëà.
Ïðè ôîðìèðîâàíèè òîïîëîãèè ÑÁÈÑ ñ ñóáìèêðîí-
íûìè àêòèâíûìè ýëåìåíòàìè è âûñîêîé ïëîòíîñòüþ
èõ ìîíòàæà íåîáõîäèìî ðåøèòü òðè òåõíîëîãè÷åñêèå
çàäà÷è:
� îáåñïå÷èòü îìè÷åñêèé êîíòàêò ìåæäó ìåòàë-
ëèçèðîâàííûìè ñëîÿìè;
� èñêëþ÷èòü îáðûâû ìåòàëëè÷åñêèõ øèí íà ðå-
ëüåôå ìèêðîñõåìû;
� èñêëþ÷èòü îáðûâû ïëåíêè ìåòàëëà â êîíòàêò-
íûõ îêíàõ.
Ïðîáëåìà ïëîõîãî êîíòàêòà ìåæäó òîïîëîãè÷å-
ñêèìè ñëîÿìè â áîëüøèíñòâå ñëó÷àåâ ñâÿçàíà ñ ïîëè-
ìåðíûìè îñòàòêàìè â îáëàñòè êîíòàêòà, êîòîðûå îá-
ðàçóþòñÿ âî âðåìÿ ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ
(ÏÕÒ) ïðè ôîðìèðîâàíèè êîíòàêòíûõ îêîí â ñëîÿõ
äèýëåêòðèêà, èçîëèðóþùåãî ñëîè ìåòàëëà äðóã îò äðó-
ãà [1]. Ýòà ïðîáëåìà ÷àùå âñåãî ðåøàåòñÿ ïóòåì îá-
ðàáîòêè ïîâåðõíîñòè ìèêðîñõåì â ðàçëè÷íûõ ðàñòâî-
ðàõ: îðãàíè÷åñêèõ ñ äîáàâëåíèåì àìèíîâ; âîäíî-
îðãàíè÷åñêèõ, ñîäåðæàùèõ ôòîðèä-èîíû [2]; íåîð-
ãàíè÷åñêèõ, ñîäåðæàùèõ ïåðåêèñü âîäîðîäà.
Íàèëó÷øèì ñïîñîáîì ðåøåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêîé
çàäà÷è ïî èñêëþ÷åíèþ îáðûâîâ ìåòàëëè÷åñêèõ øèí
íà ðåëüåôå ìèêðîñõåìû ÿâëÿåòñÿ ìåæñëîéíàÿ ïëàíà-
ðèçàöèÿ ïîâåðõíîñòè ìèêðîñõåìû ïðè ïîìîùè äèý-
ëåêòðè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ ïåðåä ñîçäàíèåì êàæäîãî
óðîâíÿ ìåòàëëèçàöèè. Îäíèì èç ñïîñîáîâ ìåæñëîé-
íîé ïëàíàðèçàöèè ÿâëÿåòñÿ ôîðìèðîâàíèå äèýëåêò-
ðè÷åñêîãî ñëîÿ êðåìíèéîðãàíè÷åñêîãî ñòåêëà (SOG-
ìàòåðèàëà) ìåòîäîì öåíòðèôóãèðîâàíèÿ. Òàêèå ìà-
òåðèàëû õàðàêòåðèçóþòñÿ ïðîñòîòîé è ýêîíîìè÷íî-
ñòüþ òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà, õîðîøèìè àäãåçè-
îííûìè ñâîéñòâàìè, íèçêèì óðîâíåì óñàäêè SOG-
ïëåíêè è íàïðÿæåíèÿ â íåé, õîðîøåé âîñïðîèçâîäè-
ìîñòüþ õàðàêòåðèñòèê ïëåíêè, îòëè÷íîé ñïîñîáíî-
ñòüþ çàïîëíÿòü óçêèå çàçîðû ìåæäó øèíàìè ìåòàëëà,
âûñîêîé ýêîëîãè÷íîñòüþ èç-çà îòñóòñòâèÿ âûäåëåíèÿ
òîêñè÷íûõ âåùåñòâ è ò. ä.
SOG-ìàòåðèàëû, êîòîðûå ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé ðà-
ñòâîðåííûå â îðãàíè÷åñêîì ðàñòâîðèòåëå ðàçâåòâëåí-
íûå ïîëèìåðû ñî ñâÿçÿìè Si�O, ìîæíî ðàçäåëèòü íà
òðè ãðóïïû: ñîåäèíåíèÿ íà îñíîâå ñèëèêàòîâ, êðåì-
íèéîðãàíè÷åñêèå ñîåäèíåíèÿ è îðãàíè÷åñêèå ñîåäè-
íåíèÿ, ñîäåðæàùèå ëåãèðóþùèå ïðèìåñè. Ôîðìèðî-
âàíèå òâåðäîé äèýëåêòðè÷åñêîé ïëàíàðèçèðóþùåé
ïëåíêè èç SOG-ìàòåðèàëà ïðîèñõîäèò çà ñ÷åò ðåàê-
öèè ãèäðîëèçà-êîíäåíñàöèè, ò. å. ïî çîëü-ãåëåâîé òåõ-
íîëîãèè. Ïëàíàðèçàöèÿ ïîâåðõíîñòè ïðîèñõîäèò ïðè
çàïîëíåíèè óãëóáëåíèé ðåëüåôà ìèêðîñõåìû SOG-
ìàòåðèàëîì âî âðåìÿ íàíåñåíèÿ åãî íà ãîðèçîíòàëü-
íî ðàñïîëîæåííóþ ïëàñòèíó, âðàùàþùóþñÿ ñî ñêî-
ðîñòüþ â íåñêîëüêî òûñÿ÷ îáîðîòîâ â ìèíóòó.
 òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ÑÁÈÑ ñ íåñêîëüêèìè
óðîâíÿìè òîïîëîãè÷åñêèõ ñëîåâ íàèáîëåå ÷àñòî ïðè-
ìåíÿþòñÿ êðåìíèéîðãàíè÷åñêèå ñîåäèíåíèÿ (ñèëîê-
ñàíîâûå SOG-ìàòåðèàëû), êîòîðûå ñîäåðæàò ãðóïïû
�ÑÍ3 èëè �Ñ2Í5 è ïðè íàíåñåíèè íà ïîâåðõíîñòü ïëà-
ñòèíû ôîðìèðóþò ïëåíêó ñî ñòðóêòóðîé, ïðèâåäåí-
íîé íà ðèñ. 1.
R
R
R R
O O
O O
O O O
O O
O
Si Si Si
Si Si Si
Ðèñ. 1. Ìîëåêóëÿðíàÿ ñòðóêòóðà ïëåíêè SOG, ïîëó÷åí-
íîé èç ñèëîêñàíîâîãî SOG-ìàòåðèàëà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 2
47
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Òåõíîëîãè÷åñêèé ìàðøðóò ñîçäàíèÿ ñëîÿ äèýëåê-
òðèêà ìåæäó äâóìÿ ñëîÿìè ìåòàëëà âêëþ÷àåò â ñåáÿ,
êàê ìèíèìóì, ÷åòûðå îïåðàöèè:
� îñàæäåíèå ïëåíêè ïëàçìîõèìè÷åñêîãî îêñèäà
êðåìíèÿ (ÏÕÎ);
� íàíåñåíèå ïëåíêè SOG-ìàòåðèàëà;
� òåðìè÷åñêèé îòæèã SOG-ìàòåðèàëà;
� îñàæäåíèå ïëåíêè ÏÕÎ.
 ïîëó÷åííîé òàêèì îáðàçîì ñîñòàâíîé ÏÕÎ�
SOG�ÏÕÎ äèýëåêòðè÷åñêîé ìåæñëîéíîé ïëåíêå, êî-
òîðàÿ ñãëàæèâàåò ïðàêòè÷åñêè âñå íåðîâíîñòè ðåëüå-
ôà ìèêðîñõåìû, ìåòîäàìè ôîòîëèòîãðàôèè è ïëàç-
ìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ ôîðìèðóþòñÿ êîíòàêòíûå
îêíà ê íèæåëåæàùåìó ñëîþ ìåòàëëà. Ïðè ýòîì ïðî-
ôèëü ñôîðìèðîâàííîãî îêíà äîëæåí îáåñïå÷èâàòü
êà÷åñòâåííîå «çàïûëåíèå» åãî ìåòàëëîì âåðõíåãî
óðîâíÿ. Îäíàêî ïðè èñïîëüçîâàíèè SOG-ìàòåðèàëîâ
äëÿ ïëàíàðèçàöèè äîñòàòî÷íî ÷àñòî íàáëþäàþòñÿ ñëó-
÷àè îáðûâà ìåòàëëà â îáëàñòè êîíòàêòíûõ îêîí èç-çà
ïîäòðàâëèâàíèÿ ïëåíêè SOG è èñêàæåíèÿ âåðòèêàëü-
íîãî ïðîôèëÿ îêíà. Âûÿâèòü è èñêëþ÷èòü ïðè÷èíû
ýòîãî ÿâëåíèÿ � î÷åíü àêòóàëüíàÿ çàäà÷à.
Íàñòîÿùàÿ ðàáîòà ïîñâÿùåíà èññëåäîâàíèþ ïðè-
÷èí èçìåíåíèÿ ñâîéñòâ SOG-ïëåíîê â ïðîöåññå âû-
ïîëíåíèÿ ôîòîëèòîãðàôèè è ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâ-
ëåíèÿ, óñòàíîâëåíèþ âëèÿíèÿ îïåðàöèé ïëàçìîõèìè-
÷åñêîãî óäàëåíèÿ ôîòîðåçèñòà (ÏÕÓÔ) íà ñêîðîñòü
õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ SOG-ïëåíêè è âëèÿíèþ ñêî-
ðîñòè òðàâëåíèÿ íà èñêàæåíèå ïðîôèëÿ êîíòàêòíîãî
îêíà.
Ìåòîäèêà èññëåäîâàíèé
Èññëåäîâàíèÿ ïðîâîäèëèñü â òèïîâîì òåõíîëîãè-
÷åñêîì ïðîöåññå èçãîòîâëåíèÿ èíòåãðàëüíûõ ÊÌÎÏ-
ìèêðîñõåì ñ äâóõóðîâíåâîé òîïîëîãèåé íà ïëàñòè-
íàõ ÊÄÁ-12 äèàìåòðîì 150 ìì. Íà âñåõ ïëàñòèíàõ
ôîðìèðîâàëàñü òðåõñëîéíàÿ äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïëåí-
êà ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ.  êà÷åñòâå SOG-ìàòåðèàëà èñ-
ïîëüçîâàëñÿ ìåòèëñèëîêñàíîâûé SOG ìàðêè 315F
(ôèðìà Filmtronics).
Ïëàñòèíû áûëè ðàçäåëåíû íà äâå ãðóïïû. Ïðè
âûïîëíåíèè òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé íà âòîðîé
ãðóïïå ïåðâàÿ èñïîëüçîâàëàñü â êà÷åñòâå êîíòðîëüíîé
(â íåé ôîðìèðîâàíèå òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà íå
ïðîâîäèëîñü, ðèñ. 2)
Íà ïëàñòèíàõ âòîðîé ãðóïïû â ñîñòàâíîé äèýëåê-
òðè÷åñêîé ïëåíêå ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ ôîðìèðîâàëèñü
êîíòàêòíûå îêíà â ñîîòâåòñòâèè ñî ñõåìîé, ïðåäñòàâ-
ëåííîé íà ðèñ. 3.
Íàíåñåíèå ïëåíêè SOG
Èñõîäíàÿ ïëàñòèíà íà ÊÄÁ-12
Îòæèã â Î2 ïðè Ò=425°Ñ
Îïðåäåëåíèå ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ SOG
â ðàñòâîðàõ PRX-417, PRX-120, ÏÎÐ
Îòæèã â N2 ïðè Ò=425°Ñ
Êîíòðîëü ïàðàìåòðîâ ïëåíêè SOG
Îïðåäåëåíèå ïîêàçàòåëÿ ïðåëîìëåíèÿ
ïëåíêè SOG
Ïëàçìî-õèìè÷åñêîå òðàâëåíèå SOG
ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå Matrix ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå GIR
Ðèñ. 2. Ñõåìà òåõíîëîãè÷åñêîãî ìàðøðóòà äëÿ êîíòðîëüíûõ ïëàñòèí
Èñõîäíàÿ ïëàñòèíà ÊÄÁ-12
Íàíåñåíèå ïëåíêè Al�Si
Îñàæäåíèå ïëåíêè ÏÕÎ d=0,2 ìêì
Íàíåñåíèå ïëåíêè SOG d=0,4 ìêì
Îòæèã â àçîòå
Ôîòîëèòîãðàôèÿ «Êîíòàêòû»
(íàíåñåíèå ôîòîðåçèñòà, ýêñïîíèðîâàíèå, ïðîÿâëåíèå
ôîòîðåçèñòà)
ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå
«Matrix»
Îáðàáîòêà â ðàñòâîðå PRX-417, PRX-120, ÏÎÐ
ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå
«GIR»
Îñàæäåíèå ïëåíêè ÏÕÎ d=0,4 ìêì
Ïëàçìîõèìè÷åñêîå òðàâëåíèå ïëåíêè ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ
Èññëåäîâàíèå ïðîôèëÿ êîíòàêòà
Ðèñ. 3. Ñõåìà òåõíîëîãè÷åñêîãî ìàðøðóòà äëÿ ïëàñòèí
âòîðîé ãðóïïû
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 2
48
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Îïåðàöèè ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ (ÏÕÒ)
ïëåíêè ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ âûïîëíÿëèñü íà óñòàíîâêå
GIR-260SO ôèðìû Alcatel ïðè ìîùíîñòè Â×-ãåíåðà-
òîðà 700 Âò è îáúåìíîì ñîîòíîøåíèè êîìïîíåíòîâ
òðàâèòåëÿ Ar:CF4:CHF3=30:4:3.
Îïåðàöèè ïëàçìîõèìè÷åñêîãî óäàëåíèÿ ôîòîðåçè-
ñòà ïðîâîäèëèñü íà óñòàíîâêàõ Matrix-108 è GIR-260S
ïðè ïàðàìåòðàõ ïðîöåññà, ïðåäñòàâëåííûõ â òàáë. 1.
Îïåðàöèÿ óäàëåíèÿ ïîëèìåðà âûïîëíÿëàñü â îä-
íîì èç ðàñòâîðîâ:
� PRX-417 (ôèðìà Shipley, ÑØÀ) � âîäíî-îðãà-
íè÷åñêèé ðàñòâîð, ñîäåðæàùèé ôòîðèä-èîíû, âðåìÿ
îáðàáîòêè 30 ìèíóò ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå;
� PRX-120 (ôèðìà Shipley, ÑØÀ) � âîäíî-îðãà-
íè÷åñêèé ðàñòâîð, íå ñîäåðæàùèé ôòîðèä-èîíû, âðå-
ìÿ îáðàáîòêè 30 ìèíóò ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå;
� ïåðåêèñíî-î÷èùàþùèé ðàñòâîð (ÏÎÐ) � âîä-
íûé ðàñòâîð ïåðåêèñè âîäîðîäà, âðåìÿ îáðàáîòêè
10 ìèíóò ïðè òåìïåðàòóðå 70±5°Ñ.
Ïîñëå âûïîëíåíèÿ êàæäîé òåõíîëîãè÷åñêîé îïå-
ðàöèè íà ïëàñòèíàõ ïåðâîé ãðóïïû äëÿ SOG-ïëåíêè
îïðåäåëÿëèñü ïîêàçàòåëü ïðåëîìëåíèÿ, êà÷åñòâåííûé
ñîñòàâ ïëåíêè, ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ â ðàñòâîðå äëÿ óäà-
ëåíèÿ ïîëèìåðíûõ îñòàòêîâ ïîñëå ÏÕÒ.
Ïîêàçàòåëü ïðåëîìëåíèÿ îïðåäåëÿëè íà ëàçåðíîì
ýëëèïñîìåòðå ËÝÔ-3Ì-1 ñ êîìïüþòåðíîé îáðàáîò-
êîé ïîëó÷åííûõ ðåçóëüòàòîâ.
Êà÷åñòâåííûé ñîñòàâ SOG-ïëåíêè îöåíèâàëñÿ
ñ ïîìîùüþ ñïåêòðîôîòîìåòðà Specord M80 (Ãåð-
ìàíèÿ).
Ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ îïðåäåëÿëàñü ïî óìåíüøåíèþ
òîëùèíû SOG-ïëåíêè ïîñëå îáðàáîòêè â ðàñòâîðàõ
ðàçëè÷íîãî ñîñòàâà. Òîëùèíà ïëåíêè îïðåäåëÿëàñü íà
àâòîìàòèçèðîâàííîì èçìåðèòåëå òîëùèíû LTS-M/SP
ôèðìû Leica.
Ïàðàëëåëüíî íà ïëàñòèíàõ âòîðîé ãðóïïû êîíòðî-
ëèðîâàëñÿ ïðîôèëü êîíòàêòíîãî îêíà è êà÷åñòâî åãî
î÷èñòêè îò ïîëèìåðíûõ îñòàòêîâ ïîñëå ÏÕÒ ìåæ-
ñëîéíîãî äèýëåêòðèêà. Äëÿ èññëåäîâàíèÿ ïðîôèëÿ
êîíòàêòíûõ îêîí èñïîëüçîâàëñÿ ðàñòðîâûé ýëåêòðîí-
íûé ìèêðîñêîï ôèðìû Hitachi.
Àíàëèç ðåçóëüòàòîâ èññëåäîâàíèé
Îñíîâíîé ïðè÷èíîé îòñóòñòâèÿ êîíòàêòà ìåæäó
äâóìÿ ñëîÿìè ìåòàëëîâ Ìå-1 è Ìå-2 ïðè èñïîëüçî-
âàíèè SOG-ìàòåðèàëîâ äëÿ ïëàíàðèçàöèè ðåëüåôà
ìèêðîñõåìû ÿâëÿþòñÿ îáðûâû íàïûëÿåìîãî ìåòàëëà
Ìå-2 âåðõíåãî óðîâíÿ â êîíòàêòíûõ îêíàõ, ñôîðìè-
ðîâàííûõ â ìåæñëîéíîì äèýëåêòðèêå ÏÕÎ�SOG�
ÏÕÎ (ðèñ. 4). Ýòî ñâÿçàíî ñ èñêàæåíèåì âåðòèêàëü-
íîãî ïðîôèëÿ êîíòàêòíîãî îêíà âñëåäñòâèå çíà÷èòåëü-
íîãî áîêîâîãî ïîäòðàâëèâàíèÿ ïëåíêè SOG ïðè óäà-
ëåíèè ïîëèìåðíûõ îñòàòêîâ â îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâî-
ðàõ, ñîäåðæàùèõ F�-èîíû.
Ïðè ñîïîñòàâëåíèè òåõíè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê
SOG-ìàòåðèàëà òèïà 315F è ñêîðîñòè åãî òðàâëåíèÿ â
ðàñòâîðå PRX-417 áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî ñòðóêòóð-
íîå èçìåíåíèå ïëåíêè SOG, â ðåçóëüòàòå êîòîðîãî çíà-
÷èòåëüíî óâåëè÷èâàåòñÿ ñêîðîñòü åå òðàâëåíèÿ ìîæåò
ïðîèçîéòè ïðè âûïîëíåíèè îïåðàöèé, ïðåäøåñòâóþ-
ùèõ õèìè÷åñêîé îáðàáîòêå. Ýòî è ïðèâîäèò ê âîçíèê-
íîâåíèþ áîêîâûõ ïîëîñòåé â êîíòàêòíûõ îêíàõ.
Òèïîâîé ìàðøðóò ôîðìèðîâàíèÿ êîíòàêòíûõ îêîí
â äèýëåêòðè÷åñêîé ïëåíêå ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ âêëþ÷àåò
â ñåáÿ ñëåäóþùèå òåõíîëîãè÷åñêèå îïåðàöèè:
� ôîðìèðîâàíèå òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà êîí-
òàêòíûõ îêîí â ñëîå ôîòîðåçèñòà;
� ïëàçìîõèìè÷åñêîå òðàâëåíèå ïëåíêè ÏÕÎ�
SOG�ÏÕÎ ÷åðåç ìàñêó ôîòîðåçèñòà;
� ïëàçìîõèìè÷åñêîå óäàëåíèå ôîòîðåçèñòà;
� îòæèã â ñðåäå êèñëîðîäà ïðè òåìïåðàòóðå
425°Ñ;
� óäàëåíèå ïîëèìåðíûõ îñòàòêîâ â õèìè÷åñêèõ
ðàñòâîðàõ ðàçëè÷íîãî ñîñòàâà.
Î÷åâèäíî, ÷òî ïåðâàÿ è ïîñëåäíÿÿ îïåðàöèè íå
âëèÿþò íà ñòðóêòóðó ïëåíêè SOG, íî îíà ìîæåò èç-
ìåíèòüñÿ ïðè âûïîëíåíèè ëþáîé èç òðåõ îïåðàöèé:
ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ, ïëàçìîõèìè÷åñêîãî
óäàëåíèÿ ôîòîðåçèñòà, îòæèãà â ñðåäå êèñëîðîäà.
Òàêæå áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ
ïëåíêè SOG 315F ïðàêòè÷åñêè íå èçìåíÿåòñÿ ïîñëå
âûïîëíåíèÿ îïåðàöèé îòæèãà è ïëàçìîõèìè÷åñêîãî
òðàâëåíèÿ (òàáë. 2).
 òî æå âðåìÿ, îïåðàöèÿ ïëàçìîõèìè÷åñêîãî óäà-
ëåíèÿ ôîòîðåçèñòà, âûïîëíÿåìàÿ â êèñëîðîäíîé ïëàç-
ìå, îêàçûâàåò çíà÷èòåëüíîå âëèÿíèå íà ñâîéñòâà ïëåí-
êè SOG. Óñòàíîâëåíî, ÷òî ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ ïëåí-
êè SOG âî ôòîðñîäåðæàùèõ ðàñòâîðàõ çàâèñèò îò
ýíåðãåòè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ïëàçìû è, ñîîòâåòñòâåí-
íî, îò òèïà óñòàíîâêè ÏÕÓÔ. Òàê, ïîñëå âûïîëíåíèÿ
îïåðàöèè ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå Matrix-108 ñêîðîñòü
òðàâëåíèÿ ïëåíêè SOG 315F â ðàñòâîðå PRX-417 âîç-
ðàñòàåò â íåñêîëüêî ðàç, ïðè÷åì ïîñëåäóþùèé îòæèã
â ñðåäå àçîòà (425°Ñ, 20 ìèí) íå ïðèâîäèò ê âîññòà-
íîâëåíèþ ñâîéñòâ ïëåíêè è ñíèæåíèþ ñêîðîñòè òðàâ-
ëåíèÿ (òàáë. 2). Èç ôîòîãðàôèé íà ðèñ. 5, à, á âèäíî,
÷òî ïîñëå âûïîëíåíèÿ îïåðàöèè ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå
Matrix-108 è óäàëåíèÿ ïîëèìåðà â ðàñòâîðå PRX-417
ïðîôèëü êîíòàêòíîãî îêíà èçìåíÿåòñÿ. Ïðè ýòîì ïî-
ÿâëÿåòñÿ ïîëîñòü èç-çà ñèëüíîãî áîêîâîãî ïîäòðàâ-
ëèâàíèÿ ïëåíêè SOG. Òàêîé ïðîôèëü êîíòàêòíîãî îêíà
â äàëüíåéøåì ïðèâîäèò ê îáðûâó ñëîÿ ìåòàëëà.
Ïàðàìåòð ïðîöåññà
Óñòàíîâêà
Matrix-108
Óñòàíîâêà GIR-
260S
×àñòîòà Â×-ãåíåðàòîðà 2,45 ÃÃö 13,56 ÌÃö
Òåìïåðàòóðà ïëàñòèíû
íà ñòîëèêå, °Ñ
250 25
Ìåòîä óäàëåíèÿ
ôîòîðåçèñòà
ÑÂ×-ïëàçìà
Ðåàêòèâíî-èîííîå
òðàâëåíèå
(Â×-ïëàçìà)
Òàáëèöà 1
Ïàðàìåòðû ïðîöåññîâ ïëàçìîõèìè÷åñêîãî óäàëåíèÿ
ôîòîðåçèñòà
Ìå-2
ÏÕÎ
SOG
ÏÕÎ
Ìå-1
Ìå-2
Ìå-2
Ðèñ. 4. Îáðûâ ñëîÿ «Ìå-2» ïðè èñêàæåíèè âåðòèêàëü-
íîãî ïðîôèëÿ êîíòàêòíîãî îêíà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 2
49
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Ïðè óäàëåíèè ïîëèìåðíûõ îñòàòêîâ â ðàñòâîðàõ,
íå ñîäåðæàùèõ èîíû F� (ðèñ. 5, â, ã) ïðîôèëü êîí-
òàêòà íå íàðóøàåòñÿ, ò. ê. íå ïðîèñõîäèò òðàâëåíèÿ
ïëåíêè SOG. Îäíàêî ïðè ýòîì ïîëèìåð óäàëÿåòñÿ íå
ïîëíîñòüþ.
Ïðè âûïîëíåíèè îïåðàöèè ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå
GIR-260 (ðèñ. 6) ïðîôèëü êîíòàêòíîãî îêíà â ìåíü-
øåé ìåðå ïîäâåðæåí èçìåíåíèÿì â ïðîöåññàõ õèìè-
÷åñêîé îáðàáîòêè. Îäíàêî â ýòîì ñëó÷àå âî âñåõ èñ-
ñëåäóåìûõ ðàñòâîðàõ íå íàáëþäàëîñü ïîëíîãî óäà-
ëåíèÿ ïîëèìåðà èç îáëàñòè êîíòàêòà.
Ïðè àíàëèçå ïàðàìåòðîâ ïðîöåññà ÏÕÓÔ (òàáë. 1),
ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ ïëåíêè SOG ïîñëå ðàçëè÷íûõ
îáðàáîòîê (òàáë. 2) è ïîëó÷åííûõ ïðîôèëåé êîíòàêò-
íûõ îêîí (ðèñ. 5, 6) áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî ðàäèêàëû
êèñëîðîäà, îáðàçóþùèåñÿ â ÑÂ×-ïëàçìå íà óñòàíîâ-
êå Matrix-108, îáëàäàþò âûñîêîé ïðîíèêàþùåé ñïî-
ñîáíîñòüþ è ýíåðãèåé, äîñòàòî÷íîé äëÿ èçìåíåíèÿ
õèìè÷åñêîãî ñîñòàâà ïëåíêè SOG ïî âñåé ãëóáèíå
ïðîíèêíîâåíèÿ ðàäèêàëîâ. Ýòî ïðèâîäèò ê ïîâûøå-
íèþ ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ ïëåíêè SOG â ðàñòâîðàõ,
ñîäåðæàùèõ F�-èîíû. Êðîìå òîãî, ïîä âîçäåéñòâè-
åì ðàäèêàëîâ êèñëîðîäà ìîäèôèöèðóåòñÿ ïîëèìåð,
÷òî ñïîñîáñòâóåò åãî ïîëíîìó óäàëåíèþ â ðàñòâîðàõ
PRX-417, PRX-120 è ÏÎÐ.
à) á)
â) ã)
Ðèñ. 5. Âèä êîíòàêòíûõ îêîí â ñëîå ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ ïîñëå
óäàëåíèÿ ôîòîðåçèñòà íà óñòàíîâêå Matrix äëÿ ðàçëè÷-
íûõ ðåæèìîâ óäàëåíèÿ ïîëèìåðà
ÏÕÒ + ÏÕÓÔ ÏÕÒ + ÏÕÓÔ + PRX-417
ÏÕÒ + ÏÕÓÔ + ÏÎÐ ÏÕÒ + ÏÕÓÔ + PRX-120
Âûïîëíåííûå îïåðàöèè
Ðàñòâîð äëÿ
óäàëåíèÿ ïîëèìåðà
Ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ
SOG-ïëåíêè, íì/ìèí
Íàíåñåíèå SOG PRX-417 9
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 PRX- 417 0,3
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 � ÏÕÒ SOG PRX-417 0,5
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 � ÏÕÒ SOG � ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå Matrix PRX-417 3,88
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 � ÏÕÒ SOG � ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå GIR PRX-417 0,93
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â Î2 � ÏÕÒ SOG PRX-417 0,59
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 � ÏÕÒ SOG � ÏÕÓÔ íà óñòàíîâêå Matrix
� îáðàáîòêà â PRX-417 � îòæèã â N2
PRX-417 3,62
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â Î2 PRX-417 0,3
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 � ÏÕÒ SOG PRX-120 0
Íàíåñåíèå SOG � îòæèã â N2 � ÏÕÒ SOG ÏÎÐ 0
Òàáëèöà 2
Ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ ïëåíêè SOG 315F â ðàñòâîðå PRX-417 ïîñëå âûïîëíåíèÿ ðàçëè÷íûõ îïåðàöèé
à) á)
Ðèñ. 6. Âèä êîíòàêòíûõ îêîí â ñëîå ÏÕÎ�SOG�ÏÕÎ ïîñëå
óäàëåíèÿ ôîòîðåçèñòà íà óñòàíîâêå GIR äëÿ ðàçëè÷íûõ
ðåæèìîâ óäàëåíèÿ ïîëèìåðà
ÏÕÒ + ÏÕÓÔ ÏÕÒ + ÏÕÓÔ + ÏÎÐ
â) ã)
ÏÕÒ + ÏÕÓÔ + PRX-417 ÏÕÒ + ÏÕÓÔ + PRX-120
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 2
50
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
×òî êàñàåòñÿ ðàäèêàëîâ êèñëîðîäà, îáðàçóþùèõ-
ñÿ â Â×-ïëàçìå íà óñòàíîâêå GIR-260, òî èõ ïðîíè-
êàþùàÿ ñïîñîáíîñòü è ýíåðãèÿ çíà÷èòåëüíî íèæå.
Âñëåäñòâèå ýòîãî ïðàêòè÷åñêè íå ïðîèñõîäèò èçìå-
íåíèÿ ñîñòàâà ïëåíêè SOG è ñîñòàâà ïîëèìåðíûõ çà-
ãðÿçíåíèé ïðè óäàëåíèè ôîòîðåçèñòà, ÷òî çíà÷èòåëü-
íî óõóäøàåò êà÷åñòâî î÷èñòêè êîíòàêòíûõ îêîí îò ïî-
ëèìåðà â õèìè÷åñêèõ ðàñòâîðàõ.
Äëÿ îöåíêè êà÷åñòâà ïëåíêè SOG íåîáõîäèìî
âûáðàòü ïàðàìåòð, îòðàæàþùèé åå ñòðóêòóðíûå èç-
ìåíåíèÿ. Èç ïðèâåäåííûõ â òàáë. 3 ðåçóëüòàòîâ ýë-
ëèïñîìåòðè÷åñêèõ èçìåðåíèé âèäíî, ÷òî ïîêàçàòåëü
ïðåëîìëåíèÿ ïëåíêè SOG ïîñëå ðàçëè÷íûõ îáðàáî-
òîê íàõîäèòñÿ ïðàêòè÷åñêè íà îäíîì óðîâíå (1,4�
1,42). Ñëåäîâàòåëüíî, ïî èçìåíåíèÿì ïîêàçàòåëÿ ïðå-
ëîìëåíèÿ íåâîçìîæíî îòñëåæèâàòü ñòðóêòóðíûå èç-
ìåíåíèÿ â ïëåíêå.
Àíàëèç ñïåêòðîâ ïðîïóñêàíèÿ ïëåíîê SOG â äèà-
ïàçîíå äëèí âîëí 2,5�50 ìêì ïîñëå ðàçëè÷íûõ òåõ-
íîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé ïîçâîëèë óñòàíîâèòü èçìåíå-
íèå õèìè÷åñêîãî ñîñòàâà ïëåíîê. Âñå èññëåäóåìûå îá-
ðàçöû SOG-ïëåíîê, êðîìå îáðàçöà, îáðàáîòàííîãî íà
óñòàíîâêå ÏÕÓÔ Matrix, èìåþò ïîëîñû ïîãëîùåíèÿ
íà äëèíàõ âîëí 7,8; 9,1 è 9,5 ìêì, ñîîòâåòñòâóþùèå
ïîãëîùåíèþ ñâÿçåé Si�CH3, Si�O è ãèäðîêñèëüíîé
ãðóïïû �O�H (ðèñ. 7, à). Îáðàçåö, îáðàáîòàííûé íà
óñòàíîâêå ÏÕÓÔ Matrix (ðèñ. 7, á) íå èìååò ïîëîñ
ïîãëîùåíèÿ, ñîîòâåòñòâóþùèõ ñâÿçè Si�CH3 è ãèäðî-
êñèëüíîé ãðóïïå. Îäíàêî ñïåêòð ýòîãî îáðàçöà èìååò
ïîëîñó ïîãëîùåíèÿ ñ λ=9,3 ìêì, ñîîòâåòñòâóþùóþ
ïîãëîùåíèþ ñâÿçè Si�O. Îòñóòñòâèå â ïëåíêå SOG
ñâÿçåé Si�CH3 è Si�OÍ ïîñëå îáðàáîòêè åå â êèñëî-
ðîäíîé ÑÂ×-ïëàçìå ìàêñèìàëüíî ïðèáëèæàåò õèìè-
÷åñêèé ñîñòàâ ïëåíêè SOG ê ñîñòàâó äèîêñèäà êðåì-
íèÿ, ÷òî è îáóñëàâëèâàåò òðàâëåíèå ïëåíêè â ðàñòâîðå
PRX-417 â ñîîòâåòñòâèè ñ óðàâíåíèåì ðåàêöèè
SiO2+4NH4F+2H2O=SiF4+4NH4OH.
***
Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî îñíîâ-
íîé ïðè÷èíîé èçìåíåíèÿ ñòðóêòóðû ïëåíêè SOG, èñ-
ïîëüçóåìîé äëÿ ïëàíàðèçàöèè ðåëüåôà â ìåæñëîé-
íîì äèýëåêòðèêå, ÿâëÿåòñÿ âîçäåéñòâèå íà ïëåíêó êèñ-
ëîðîäíîé ÑÂ×-ïëàçìû ïðè ïëàçìîõèìè÷åñêîì óäà-
ëåíèè ôîòîðåçèñòà.
Îáðàáîòêà â êèñëîðîäíîé Â×-ïëàçìå íå ïðèâîäèò
ê ìîäèôèêàöèè ïëåíêè SOG. Îäíàêî ïðè ýòîì ïðî-
èñõîäèò íåïîëíîå óäàëåíèå ïîëèìåðà èç êîíòàêòíûõ
îêîí.
Ïðè èçó÷åíèè âçàèìîñâÿçè ìåæäó êà÷åñòâåííûì
ñîñòàâîì ïëåíîê SOG è èõ òåõíè÷åñêèìè õàðàêòåðè-
ñòèêàìè áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî îöåíêà êà÷åñòâà
ïëåíêè ïîñëå ðàçëè÷íûõ îïåðàöèé òåõíîëîãè÷åñêî-
ãî ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì
ìîæåò ïðîâîäèòüñÿ ïî èçìåíåíèþ ñïåêòðà ïðîïóñ-
êàíèÿ ïëåíîê.
Èñïîëüçîâàíèå ðåçóëüòàòîâ äàííîé ðàáîòû ïî-
çâîëèò èñêëþ÷èòü áðàê ÈÌÑ, îáóñëîâëåííûé îá-
ðûâîì ñëîÿ ìåòàëëà è îòñóòñòâèåì êîíòàêòîâ ìåæ-
äó ñëîÿìè.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ïëàçìåííàÿ òåõíîëîãèÿ â ïðîèçâîäñòâå ÑÁÈÑ / Ïîä ðåä. Í.
Àéíñïðóêà, Ä. Áðàóíà.� Ì.: Ìèð, 1987.
2. Èâàí÷èêîâ À. Ý., Êèñåëü À. Ì., Ìåäâåäåâà À. Á. è äð. Ìåòî-
äû óäàëåíèÿ ïîëèìåðíûõ çàãðÿçíåíèé, âûçâàííûõ ïëàçìîõèìè-
÷åñêèì òðàâëåíèåì // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîí-
íîé àïïàðàòóðå.� 2003.� ¹ 5.� Ñ. 46�50.
Âèä îáðàáîòêè SOG n
Îòæèã â N2 1,402
Îòæèã â N2 + ÏÕÒ SOG 1,413
Îòæèã â N2 + ÏÕÒ SOG + ÏÕÓÔ íà
óñòàíîâêå Matrix
1,419
Îòæèã â N2 + ÏÕÒ SOG + ÏÕÓÔ íà
óñòàíîâêå GIR
1,433
Ïëåíêà SOG áåç îáðàáîòêè 1,424
Îòæèã â Î2 1,419
Òàáëèöà 3
Çíà÷åíèÿ ïîêàçàòåëÿ ïðåëîìëåíèÿ ïëåíîê SOG ïîñëå
îáðàáîòêè
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
,
%
à)
100
80
60
40
20
0
4000 3000 2000 1000
v, ñì�1
È
íò
åí
ñè
âí
îñ
òü
,
%
á)
100
80
60
40
20
0
4000 3000 2000 1000
v, ñì�1
Ðèñ. 7. ÈÊ-ñïåêòðû ïðîïóñêàíèÿ ïëåíêè SOG 315F äî è
ïîñëå îáðàáîòêè:
à � ïîñëå íàíåñåíèÿ SOG-ïëåíêè è îòæèãà â N2; á � ïîñëå ÏÕÓÔ
íà óñòàíîâêå Matrix
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52046 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:34:53Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. 2013-12-26T00:43:52Z 2013-12-26T00:43:52Z 2009 Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу. It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments Article published earlier |
| spellingShingle | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Материалы электроники |
| title | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_alt | Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments |
| title_full | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_fullStr | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_full_unstemmed | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_short | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_sort | изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 |
| work_keys_str_mv | AT ivančikovaé izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT kiselʹam izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT medvedevaab izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT plebanovičvi izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT ivančikovaé zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT kiselʹam zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT medvedevaab zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT plebanovičvi zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT ivančikovaé modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT kiselʹam modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT medvedevaab modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT plebanovičvi modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments |