Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій ви...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52046 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. 2013-12-26T00:43:52Z 2013-12-26T00:43:52Z 2009 Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу. It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| spellingShingle |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Материалы электроники |
| title_short |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_full |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_fullStr |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_full_unstemmed |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| title_sort |
изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок |
| author |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_facet |
Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| topic |
Материалы электроники |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Зміна властивостей плівок кремнійорганічних стекол після термічної та плазмохімічної обробок Modification of spin-on-glass films properties during the thermal and plasma treatments |
| description |
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.
Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу.
It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046 |
| citation_txt |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT ivančikovaé izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT kiselʹam izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT medvedevaab izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT plebanovičvi izmeneniesvoistvplenokkremniiorganičeskihstekolposletermičeskoiiplazmohimičeskoiobrabotok AT ivančikovaé zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT kiselʹam zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT medvedevaab zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT plebanovičvi zmínavlastivosteiplívokkremníiorganíčnihstekolpíslâtermíčnoítaplazmohímíčnoíobrobok AT ivančikovaé modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT kiselʹam modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT medvedevaab modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments AT plebanovičvi modificationofspinonglassfilmspropertiesduringthethermalandplasmatreatments |
| first_indexed |
2025-12-07T16:34:53Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:34:53Z |
| _version_ |
1850868019541049344 |