Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52046
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла. Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій ви...