Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Макара, В.А., Одарич, В.А., Кепич, Т.Ю., Преображенская, Т.Д., Руденко, О.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52063
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур / В.А. Макара, В.А. Одарич, Т.Ю. Кепич, Т.Д. Преображенская, О.В. Руденко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 3. — С. 40-46. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Разработана блок-схема, изготовлен макет прибора и создан пакет автоматизированных программ для измерения показателя преломления и контроля толщины пленок в процессе изготовления пленочных структур. У роботі проведено конструкторсько-технологічний аналіз схеми вимірювання еліпсометричних параметрів,...