Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Author: Хомич, И.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Электронные средства: исследования, разработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52092
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем / И.Н. Хомич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 22-23. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Предложена конструкция светофильтров с антибликовым покрытием и прозрачным нагревателем на основе многослойных тонкопленочных интерференционных покрытий из оксидов кремния, индия и титана. Розглянуто принципові питання щодо створення світлофільтрів з противідблискуючим покриттям та тонкоплівковим прозорим нагрівачем на основі тонких (від 5 нм до 400 нм) плівок оксидів кремнію, індію та титану. Розроблено комп'ютерні програми вибору оптимальної конструкції та режимів вакуумного напилення інтерференційних покриттів світлофільтра. Проведені досліди параметрів та характеристик чотирьох макетів світлофільтрів підтвердили правильність конструкторсько-технологічних рішень. The basic questions on creation of colour-filters with an antireflection covering and thin-film transparent heater have been studied on the basis of a thin (from 5 íì up to 400 íì) film of silicon, indium and titanium oxides. There have been developed computer programs of selection of an optimum design and vacuum depositing modes of interferencial colour-filters coverings. The carried out researches of parameters and characteristics of four breadboard models of colour-filters have proved the correctness of constructional-technological decisions.