Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем
Предложена конструкция светофильтров с антибликовым покрытием и прозрачным нагревателем на основе многослойных тонкопленочных интерференционных покрытий из оксидов кремния, индия и титана. Розглянуто принципові питання щодо створення світлофільтрів з противідблискуючим покриттям та тонкоплівковим пр...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52092 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем / И.Н. Хомич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 22-23. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859673018824916992 |
|---|---|
| author | Хомич, И.Н. |
| author_facet | Хомич, И.Н. |
| citation_txt | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем / И.Н. Хомич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 22-23. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена конструкция светофильтров с антибликовым покрытием и прозрачным нагревателем на основе многослойных тонкопленочных интерференционных покрытий из оксидов кремния, индия и титана.
Розглянуто принципові питання щодо створення світлофільтрів з противідблискуючим покриттям та тонкоплівковим прозорим нагрівачем на основі тонких (від 5 нм до 400 нм) плівок оксидів кремнію, індію та титану. Розроблено комп'ютерні програми вибору оптимальної конструкції та режимів вакуумного напилення інтерференційних покриттів світлофільтра. Проведені досліди параметрів та характеристик чотирьох макетів світлофільтрів підтвердили правильність конструкторсько-технологічних рішень.
The basic questions on creation of colour-filters with an antireflection covering and thin-film transparent heater have been studied on the basis of a thin (from 5 íì up to 400 íì) film of silicon, indium and titanium oxides. There have been developed computer programs of selection of an optimum design and vacuum depositing modes of interferencial colour-filters coverings. The carried out researches of parameters and characteristics of four breadboard models of colour-filters have proved the correctness of constructional-technological decisions.
|
| first_indexed | 2025-11-30T14:29:01Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
22
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
10.04 2009 ã.
Îïïîíåíò Â. Ã. ÞÐÜÅÂ
(ÖÊÁ «Ðèòì», ã. ×åðíîâöû)
È. Í. ÕÎÌÈ×
Óêðàèíà, ã. Ëüâîâ, ÍÈÈ «Ýðîòðîí»
E-mail: erotron@org.lviv.net
ÑÂÅÒÎÔÈËÜÒÐÛ
Ñ ÒÎÍÊÎÏËÅÍÎ×ÍÛÌ ÏÐÎÇÐÀ×ÍÛÌ ÍÀÃÐÅÂÀÒÅËÅÌ
Ïðåäëîæåíà êîíñòðóêöèÿ ñâåòîôèëüò-
ðîâ ñ àíòèáëèêîâûì ïîêðûòèåì è ïðî-
çðà÷íûì íàãðåâàòåëåì íà îñíîâå ìíîãî-
ñëîéíûõ òîíêîïëåíî÷íûõ èíòåðôåðåí-
öèîííûõ ïîêðûòèé èç îêñèäîâ êðåìíèÿ,
èíäèÿ è òèòàíà.
Æèäêîêðèñòàëëè÷åñêèå (ÆÊ) ïàíåëè, êîòîðûå
øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ â ðàçëè÷íûõ îáëàñòÿõ, ïðè âñåõ
ñâîèõ ìíîãî÷èñëåííûõ ïðåèìóùåñòâàõ ïåðåä ýëåêò-
ðîííî-ëó÷åâûìè òðóáêàìè, èìåþò ñóùåñòâåííûé íå-
äîñòàòîê, îñîáåííî íåäîïóñòèìûé ïðè èõ ïðèìåíå-
íèè â âîåííîé òåõíèêå, à èìåííî � ìàëóþ ñòîéêîñòü
æèäêèõ êðèñòàëëîâ ê âîçäåéñòâèþ íèçêèõ òåìïåðà-
òóð. Ïîýòîìó àêòóàëüíîé ÿâëÿåòñÿ çàäà÷à òåðìîñòà-
áèëèçàöèè ÆÊ-ìàòðèöû çà ñ÷åò ëîêàëüíîãî ïîäîãðå-
âà, ðåøåíèþ êîòîðîé ïîñâÿùåíà íàñòîÿùàÿ ðàáîòà.
Ïîäîáíàÿ ïðîáëåìà âîçíèêëà, êîãäà îáëåäåíåíèå
âåòðîâîãî ñòåêëà ñàìîëåòîâ ñòàëî óãðîæàòü áåçîïàñ-
íîñòè àâèàïîëåòîâ, è áûëà ðåøåíà â 1940 ã. áëàãîäà-
ðÿ íàíåñåíèþ íà åãî ïîâåðõíîñòü ïîëóïðîçðà÷íîé
ýëåêòðîïðîâîäíîé òîíêîé ïëåíêè.
Âïåðâûå òàêîå ñâîéñòâî íåêîòîðûõ âåùåñòâ � ñî-
çäàâàòü òîíêèå ïëåíêè, êîòîðûå ÿâëÿþòñÿ îäíîâðå-
ìåííî ýëåêòðîïðîâîäíûìè è ïðîçðà÷íûìè äëÿ âèäè-
ìîé îáëàñòè ñïåêòðà, çàìåòèë è èññëåäîâàë Áàäåêåð
[1] åùå â 1907 ã., èçó÷àÿ îêèñëåííûå íàãðåâîì ïëåí-
êè êàäìèÿ (CdO).
Íà äàííûé ìîìåíò èçâåñòåí öåëûé êëàññ âåùåñòâ
ñ ïîäîáíûìè ñâîéñòâàìè: SnO2, In2O3, CdO è
Cd2SnO4, à òàêæå ýòè æå âåùåñòâà ñ ïðèìåñÿìè Sb,
In, Sn, Ti, Te, P èëè W. Ýòîò ðÿä âåùåñòâ õàðàêòåðè-
çóåòñÿ îáðàòíîé çàâèñèìîñòüþ ìåæäó ýëåêòðîïðîâîä-
íîñòüþ è êîýôôèöèåíòîì ïðîïóñêàíèÿ τ, ò. å. ïîêðû-
òèÿ ñ âûñîêèì çíà÷åíèåì τ èìåþò íèçêóþ ýëåêòðî-
ïðîâîäíîñòü. Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî òåïëîâàÿ ìîùíîñòü
òàêèõ ïëåíîê íåäîñòàòî÷íà äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ èõ â
êà÷åñòâå íàãðåâàòåëåé ÆÊ-ïàíåëè.
Ñòåêëÿííûå çàùèòíûå ñâåòîôèëüòðû (ÑÇÑ) èñ-
ïîëüçóþòñÿ äëÿ êîìïëåêòàöèè èíäèêàòîðîâ ñ æèäêî-
êðèñòàëëè÷åñêèìè ýêðàíàìè, êîòîðûå ïðåäíàçíà÷å-
íû äëÿ ðàáîòû ïðè òåìïåðàòóðàõ íèæå 0°Ñ è ïðÿìîì
ñîëíå÷íîì îñâåùåíèè (áîðòîâûå èíäèêàòîðû ñèñòåì
àâèîíèêè, èíäèêàòîðû áîðòîâûõ, ìîðñêèõ è íàçåì-
íûõ ñèñòåì ñïóòíèêîâîé íàâèãàöèè è ò. ä.).
Îñíîâîé ïðåäëàãàåìîãî ÑÇÑ ÿâëÿåòñÿ ñòåêëÿííàÿ
ïëàñòèíà òîëùèíîé 2 ìì è ðàçìåðîì îò 60×80 äî
180×230 ìì, íà êîòîðóþ ñ äâóõ ñòîðîí íàíîñÿòñÿ
ïðîñâåòëÿþùèå ïîêðûòèÿ: íà ôðîíòàëüíóþ ñòîðîíó
� àíòèáëèêîâîå, íà çàäíþþ � ïëåíêà-íàãðåâàòåëü ñ
òîêîïðîâîäÿùèìè øèíàìè äëÿ ïîäêëþ÷åíèÿ ê ñèñòå-
ìå ýëåêòðîïèòàíèÿ.
Òðåáîâàíèÿ ê èíòåðôåðåíöèîííûì ïîêðûòèÿì ÑÇÑ
â äèàïàçîíå äëèíû âîëíû îò 450 äî 680 íì:
� äëÿ ôðîíòàëüíîé ïîâåðõíîñòè
� äëÿ çàäíåé ïîâåðõíîñòè
Óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå ïëåíêè-íàãðåâàòåëÿ ðàñ-
ñ÷èòûâàëîñü èñõîäÿ èç íåîáõîäèìîñòè îáåñïå÷åíèÿ
ïåðåãðåâà çàäíåé ïîâåðõíîñòè ÑÇÑ îòíîñèòåëüíî òåì-
ïåðàòóðû îêðóæàþùåé ñðåäû íà 40°Ñ ïðè íàïðÿæå-
íèè âíåøíåãî èñòî÷íèêà ïèòàíèÿ 27±1 Â.
Ïðè ðàçðàáîòêå ïðîñâåòëÿþùåãî ïîêðûòèÿ ó÷èòû-
âàëîñü, ÷òî íàèáîëüøåå ðàñïðîñòðàíåíèå ïðèîáðåëè
ïðîñâåòëÿþùèå ïîêðûòèÿ òèïà L�H�M [2, ñ. 136], ãäå
L, Í, Ì � ñîîòâåòñòâåííî ïëåíêà ñ íèçêèì, âûñî-
êèì è ïðîìåæóòî÷íûì ïîêàçàòåëåì ïðåëîìëåíèÿ.
Ïëåíêà L ñîãëàñîâûâàåò ïåðåõîä «ïîäëîæêà � ïðî-
ñâåòëÿþùàÿ ñèñòåìà»; Í îáåñïå÷èâàåò øèðîêóþ çîíó
ïðîñâåòëåíèÿ; Ì îïðåäåëÿåò èíòåãðàëüíèé êîýôôè-
öèåíò çåðêàëüíîãî îòðàæåíèÿ.
Îïòè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïðîñâåòëÿþùåãî ïîêðûòèÿ
ìîãóò áûòü óëó÷øåíû ïóòåì çàìåíû ïëåíêè L íà ýê-
âèâàëåíòíóþ ïàðó Í�L çíà÷èòåëüíî ìåíüøåé òîëùè-
íû ïðè îäíîâðåìåííîé êîððåêöèè òîëùèíû ñëåäóþ-
ùèõ äâóõ ïëåíîê [4, ñ. 26, 28]. Â ðåçóëüòàòå êîìïüþ-
òåðíîãî ìîäåëèðîâàíèÿ áûëà ïîëó÷åíà êîíñòðóêöèÿ
ïðîñâåòëÿþùåãî ïîêðûòèÿ, ïîêàçàííàÿ â òàáë. 1.
èíòåãðàëüíûé êîýôôèöèåíò çåðêàëüíîãî
îòðàæåíèÿ
êîýôôèöèåíò ïðîïóñêàíèÿ
íå áîëåå 0,25%,
íå ìåíåå 99,5%;
èíòåãðàëüíûé êîýôôèöèåíò çåðêàëüíîãî
îòðàæåíèÿ
êîýôôèöèåíò ïðîïóñêàíèÿ
íå áîëåå 0,30%,
íå ìåíåå 80%;
Ìàòåðèàë Ïîêàçàòåëü ïðåëîìëåíèÿ Òîëùèíà, íì
SiO2 1,46 92,93
TiO2 2,3 124,39
SiO2 1,46 36,39
TiO2 2,3 12,84
Ñòåêëî 1,52
Òàáëèöà 1
Êîíñòðóêöèÿ ïðîñâåòëÿþùåãî ïîêðûòèÿ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
23
ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÑÐÅÄÑÒÂÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
 íàó÷íî-òåõíè÷åñêîé ëèòåðàòóðå èíôîðìàöèÿ îá
àíòèáëèêîâîì ïîêðûòèè ñ ïîäîãðåâîì îòñóòñòâóåò,
ïîýòîìó â ïåðâîì ïðèáëèæåíèè íàìè ðàññìàòðèâà-
ëàñü ñòàíäàðòíàÿ êîíñòðóêöèÿ ïðîñâåòëÿþùåãî ïî-
êðûòèÿ íà îñíîâå îêñèäîâ òèòàíà, êðåìíèÿ è èíäèÿ
(TiO2�SiO2�In2O3�TiO2�SiO2), ïîñêîëüêó îêñèä èí-
äèÿ èìååò íàèáîëüøóþ ïðîçðà÷íîñòü ïðè âûñîêîé
ïðîâîäèìîñòè [3]. Êàê ïîêàçàëî ðàñ÷åòíîå ìîäåëè-
ðîâàíèå, ïðîâåäåííîå ñ ïîìîùüþ ðàçðàáîòàííîé â
ÍÈÈ «Ýðîòðîí» êîìïüþòåðíîé ïðîãðàììû «Ïëåíêà»,
òàêàÿ ñèñòåìà (òàáë. 2) èìååò ïåðñïåêòèâó ïðàêòè-
÷åñêîãî èñïîëüçîâàíèÿ.
Êîíñòðóêöèÿ òîêîïðîâîäÿùèõ øèí äîëæíà, â ïåð-
âóþ î÷åðåäü, îáåñïå÷èâàòü êà÷åñòâåííóþ àäãåçèþ ñ
àíòèáëèêîâûì ïîêðûòèåì è âûñîêóþ ïðîâîäèìîñòü,
÷òîáû ìàòåðèàë øèíû íå ïåðåãðåâàëñÿ ïðè ïðîòåêà-
íèè òîêà, äîñòàòî÷íîãî äëÿ ðàçîãðåâà ÑÇÑ. Î÷åâèä-
íî, ÷òî øèíà íå ìîæåò áûòü îäíîñëîéíîé, ïîñêîëüêó
òå ìàòåðèàëû, êîòîðûå èìåþò õîðîøóþ àäãåçèþ ñ îñ-
íîâîé, íå èìåþò íóæíîé ýëåêòðîïðîâîäíîñòè, à ýëåê-
òðîïðîâîäíûå ìàòåðèàëû íå îáåñïå÷èâàþò æåëàòåëü-
íîé àäãåçèè. Ïîñëå èçó÷åíèÿ äîñòóïíîé íàó÷íî-òåõ-
íè÷åñêîé èíôîðìàöèè è ïðîâåäåíèÿ ýêñïåðèìåíòàëü-
íûõ íàïûëåíèé áûëà âûáðàíà ñõåìà (ïî òîëùèíå)
«5 íì Ñr � 10 íì Cu � 5 íì Cr � 100 íì Cu» [5, ñ. 20].
 òàêîé êîíñòðóêöèè ïåðâàÿ ïëåíêà (õðîìà) îáåñïå-
÷èâàåò àäãåçèþ, à ïîñëåäíÿÿ (ìåäè) � ïðîâîäèìîñòü;
âíóòðåííÿÿ ìåäíî-õðîìîâàÿ ïàðà ÿâëÿåòñÿ ýëåìåíòîì
ñîãëàñîâàíèÿ.
Íà óñòàíîâêå âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ À1504 ôèð-
ìû «Leybold AG» áûëè èçãîòîâëåíû âñå ïîêðûòèÿ
çàùèòíîãî ñâåòîôèëüòðà.
Îïòè÷åñêèå ïàðàìåòðû èçãîòîâëåííûõ îáðàçöîâ
èçìåðÿëèñü ñïåêòðîôîòîìåòðîì «Lambda-2» ôèðìû
«Perkin-Elmer», ïðîâîäèìîñòü øèí è ïðîçðà÷íîé ïðî-
âîäÿùåé ïëåíêè � ìåãîììåòðîì Å6-10, òåìïåðàòóðà
ïåðåãðåâà � êîíòàêòíûì òåðìîìåòðîì [6]. Ðåçóëüòà-
òû èçìåðåíèé ïîêàçàíû íà ðèñ. 1 è 2.
Ñîïðîòèâëåíèå òîêîïðîâîäÿùåé ïðîçðà÷íîé ïëåí-
êè ñîñòàâëÿåò 67 Îì, ïðè íàïðÿæåíèè ïèòàíèÿ 27 Â
äîñòèãàåòñÿ ïåðåãðåâ 90°Ñ.
***
Òàêèì îáðàçîì, òåîðåòè÷åñêè è ïðàêòè÷åñêè îò-
ðàáîòàíû ïðèíöèïèàëüíûå âîïðîñû ïî ñîçäàíèþ ñå-
ðèè ñâåòîôèëüòðîâ ðàçëè÷íûõ òèïîðàçìåðîâ ñ àí-
òèáëèêîâûì ïîêðûòèåì è òîíêîïëåíî÷íûì ïðîçðà÷-
íûì íàãðåâàòåëåì íà îñíîâå òîíêèõ (îò 5 äî 400 íì)
ïëåíîê îêñèäîâ êðåìíèÿ, èíäèÿ è òèòàíà. Ïðîâå-
äåííûå èññëåäîâàíèÿ ïàðàìåòðîâ è õàðàêòåðèñòèê
÷åòûðåõ ìàêåòîâ ñâåòîôèëüòðîâ ïîäòâåðäèëè ïðà-
âèëüíîñòü âûáðàííûõ êîíñòðóêòîðñêî-òåõíîëîãè-
÷åñêèõ ðåøåíèé.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Vossen J. L. Transparent conducting films // Phys. Thin.
Films.� 1977.� Vol. 9.� P. 1�77.
2. Êîðçî Â. Ô., Êóðî÷êèí Â. À., Äåìèí Â. Ï. Ïëåíêè èç ýëåìåíòî-
îðãàíè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé â ðàäèîýëåêòðîíèêå.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1973.
3. ßêîâëåâ Ï. Ï., Ìåøêîâ Á. Á. Ïðîåêòèðîâàíèå èíòåðôåðåí-
öèîííûõ ïîêðûòèé.� Ì.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1987.
4. Òèõîíðàâîâ À. Â. Ñèíòåç ñëîèñòûõ ñèñòåì // Çíàíèå.�
1987.� ¹ 5.� Ñ. 1�47.
5. Ãîòðà Ç. Þ. Òîíêîïëåíî÷íûå ðåçèñòîðû ìèêðîñõåì.�
Ëüâîâ: Êàìåíÿð, 1976.
6. Êîìðàêîâ Á. Ì., Øàïî÷êèí Á. À. Èçìåðåíèå ïàðàìåòðîâ
îïòè÷åñêèõ ïîêðûòèé.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1973.
Ðèñ. 1. Ñïåêòð êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ôðîíòàëüíîé
(à) è çàäíåé (á) ïîâåðõíîñòè ÑÇÑ
Ìàòåðèàë
Ïîêàçàòåëü
ïðåëîìëåíèÿ
Êîýôôèöèåíò
ïîãëîùåíèÿ
Òîëùèíà,
íì
SiO2 1,46 0 88,82
TiO2 2,3 0 112,95
In2O3 1,95 0,01 354,54
SiO2 1,46 0 35,31
TiO2 2,3 0 10,47
Ñòåêëî 1,52
Òàáëèöà 2
Êîíñòðóêöèÿ àíòèáëèêîâîãî ïîêðûòèÿ
400 500 600 700
100
50
Ðèñ. 2. Ñïåêòð ñâåòîïðîïóñêàíèÿ ÑÇÑ
Ñ
âå
òî
ïð
îï
óñ
êà
íè
å
Äëèíà âîëíû, íì
à)
400 508 616 724
Ê
îý
ô
ô
èö
èå
íò
î
òð
àæ
åí
èÿ
,
%
2,95
2,38
1,81
1,25
0,68
0,11
Äëèíà âîëíû, íì
á)
400 508 616 724
Ê
îý
ô
ô
èö
èå
íò
î
òð
àæ
åí
èÿ
,
%
6,16
4,93
3,70
2,47
1,24
0,01
Äëèíà âîëíû, íì
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52092 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T14:29:01Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Хомич, И.Н. 2013-12-27T23:53:18Z 2013-12-27T23:53:18Z 2009 Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем / И.Н. Хомич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 22-23. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52092 Предложена конструкция светофильтров с антибликовым покрытием и прозрачным нагревателем на основе многослойных тонкопленочных интерференционных покрытий из оксидов кремния, индия и титана. Розглянуто принципові питання щодо створення світлофільтрів з противідблискуючим покриттям та тонкоплівковим прозорим нагрівачем на основі тонких (від 5 нм до 400 нм) плівок оксидів кремнію, індію та титану. Розроблено комп'ютерні програми вибору оптимальної конструкції та режимів вакуумного напилення інтерференційних покриттів світлофільтра. Проведені досліди параметрів та характеристик чотирьох макетів світлофільтрів підтвердили правильність конструкторсько-технологічних рішень. The basic questions on creation of colour-filters with an antireflection covering and thin-film transparent heater have been studied on the basis of a thin (from 5 íì up to 400 íì) film of silicon, indium and titanium oxides. There have been developed computer programs of selection of an optimum design and vacuum depositing modes of interferencial colour-filters coverings. The carried out researches of parameters and characteristics of four breadboard models of colour-filters have proved the correctness of constructional-technological decisions. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Электронные средства: исследования, разработки Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем Світлофільтри з тонкоплівковим прозорим нагрівачем Colour-filters with a thin-film transparent heater Article published earlier |
| spellingShingle | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем Хомич, И.Н. Электронные средства: исследования, разработки |
| title | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем |
| title_alt | Світлофільтри з тонкоплівковим прозорим нагрівачем Colour-filters with a thin-film transparent heater |
| title_full | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем |
| title_fullStr | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем |
| title_full_unstemmed | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем |
| title_short | Светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем |
| title_sort | светофильтры с тонкопленочным прозрачным нагревателем |
| topic | Электронные средства: исследования, разработки |
| topic_facet | Электронные средства: исследования, разработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52092 |
| work_keys_str_mv | AT homičin svetofilʹtrystonkoplenočnymprozračnymnagrevatelem AT homičin svítlofílʹtriztonkoplívkovimprozorimnagrívačem AT homičin colourfilterswithathinfilmtransparentheater |