Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах

Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах

Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Пред...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2009
Автори: Алтухов, А.А., Митягин, А.Ю., Могучев, А.В., Митягина, А.Б.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Теми:
Сенсоэлектроника
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52094
record_format dspace
spelling Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Могучев, А.В.
Митягина, А.Б.
2013-12-28T00:03:25Z
2013-12-28T00:03:25Z
2009
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра.
Представлено конструкцію, технологію виготовлення, схему вимірювання параметрів первинних перетворювачів (ПП)мікродатчиків прискорення і тиску з використанням алмазних матеріалів. Описано методику розрахунку і експериментальний спосіб визначення основних параметрів мікродатчиків. Розраховане значення ємності 11 пФ для ПП датчика прискорення добре узгоджується з експериментальними значеннями. Робочий діапазон вимірювання прискорення . від 100 до 1800 м/с2, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 11-20,5 пФ. Для ПП датчика тиску розраховане значення ємності 7 пФ також відповідає експериментальним значенням. Робочий діапазон вимірювання тиску - від 1 до 19,5 кПа, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 6,4 - 11,7 пФ.·
The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 пF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11-20,5 пF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 пF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4-11,7 пF.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Первинні перетворювачі для мікродатчиків прискорення і тиску на алмазних матеріалах
Primary converters microsensor speedups and pressures on diamond materials
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
spellingShingle Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Могучев, А.В.
Митягина, А.Б.
Сенсоэлектроника
title_short Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
title_full Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
title_fullStr Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
title_full_unstemmed Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
title_sort первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
author Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Могучев, А.В.
Митягина, А.Б.
author_facet Алтухов, А.А.
Митягин, А.Ю.
Могучев, А.В.
Митягина, А.Б.
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
publishDate 2009
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Первинні перетворювачі для мікродатчиків прискорення і тиску на алмазних матеріалах
Primary converters microsensor speedups and pressures on diamond materials
description Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Представлено конструкцію, технологію виготовлення, схему вимірювання параметрів первинних перетворювачів (ПП)мікродатчиків прискорення і тиску з використанням алмазних матеріалів. Описано методику розрахунку і експериментальний спосіб визначення основних параметрів мікродатчиків. Розраховане значення ємності 11 пФ для ПП датчика прискорення добре узгоджується з експериментальними значеннями. Робочий діапазон вимірювання прискорення . від 100 до 1800 м/с2, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 11-20,5 пФ. Для ПП датчика тиску розраховане значення ємності 7 пФ також відповідає експериментальним значенням. Робочий діапазон вимірювання тиску - від 1 до 19,5 кПа, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 6,4 - 11,7 пФ.· The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 пF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11-20,5 пF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 пF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4-11,7 пF.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094
citation_txt Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT altuhovaa pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah
AT mitâginaû pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah
AT mogučevav pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah
AT mitâginaab pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah
AT altuhovaa pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah
AT mitâginaû pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah
AT mogučevav pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah
AT mitâginaab pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah
AT altuhovaa primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials
AT mitâginaû primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials
AT mogučevav primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials
AT mitâginaab primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials
first_indexed 2025-12-07T18:44:22Z
last_indexed 2025-12-07T18:44:22Z
_version_ 1850876166641025024

Схожі ресурси