Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Пред...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862723901195288576 |
|---|---|
| author | Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Могучев, А.В. Митягина, А.Б. |
| author_facet | Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Могучев, А.В. Митягина, А.Б. |
| citation_txt | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра.
Представлено конструкцію, технологію виготовлення, схему вимірювання параметрів первинних перетворювачів (ПП)мікродатчиків прискорення і тиску з використанням алмазних матеріалів. Описано методику розрахунку і експериментальний спосіб визначення основних параметрів мікродатчиків. Розраховане значення ємності 11 пФ для ПП датчика прискорення добре узгоджується з експериментальними значеннями. Робочий діапазон вимірювання прискорення . від 100 до 1800 м/с2, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 11-20,5 пФ. Для ПП датчика тиску розраховане значення ємності 7 пФ також відповідає експериментальним значенням. Робочий діапазон вимірювання тиску - від 1 до 19,5 кПа, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 6,4 - 11,7 пФ.·
The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 пF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11-20,5 пF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 пF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4-11,7 пF.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:44:22Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52094 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:44:22Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Могучев, А.В. Митягина, А.Б. 2013-12-28T00:03:25Z 2013-12-28T00:03:25Z 2009 Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094 Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Представлено конструкцію, технологію виготовлення, схему вимірювання параметрів первинних перетворювачів (ПП)мікродатчиків прискорення і тиску з використанням алмазних матеріалів. Описано методику розрахунку і експериментальний спосіб визначення основних параметрів мікродатчиків. Розраховане значення ємності 11 пФ для ПП датчика прискорення добре узгоджується з експериментальними значеннями. Робочий діапазон вимірювання прискорення . від 100 до 1800 м/с2, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 11-20,5 пФ. Для ПП датчика тиску розраховане значення ємності 7 пФ також відповідає експериментальним значенням. Робочий діапазон вимірювання тиску - від 1 до 19,5 кПа, при цьому ємність практично лінійно змінюється в діапазоні 6,4 - 11,7 пФ.· The article presents the design, manufacturing techniques and the scheme of parameter measuring of primary transducers for acceleration and pressure microsensors based on diamond materials. There have been described the designing procedure and an experimental way of definition of microsensors' key parameters. The calculated value of capacity 11 пF for primary transducers of the gauge of acceleration, well coincides with experimental values. The working range of accelerations from 100 to 1800 m/s2, thus capacity almost linearly varies in a range 11-20,5 пF. For primary transducers of the pressure sensor the calculated value of capacity 7 пF, also well coincides with experimental values. The working range of pressure measurements from 1 to 19,5 kPa, thus capacity almost linearly varies in a range 6,4-11,7 пF. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах Первинні перетворювачі для мікродатчиків прискорення і тиску на алмазних матеріалах Primary converters microsensor speedups and pressures on diamond materials Article published earlier |
| spellingShingle | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах Алтухов, А.А. Митягин, А.Ю. Могучев, А.В. Митягина, А.Б. Сенсоэлектроника |
| title | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_alt | Первинні перетворювачі для мікродатчиків прискорення і тиску на алмазних матеріалах Primary converters microsensor speedups and pressures on diamond materials |
| title_full | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_fullStr | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_full_unstemmed | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_short | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| title_sort | первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094 |
| work_keys_str_mv | AT altuhovaa pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT mitâginaû pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT mogučevav pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT mitâginaab pervičnyepreobrazovatelidlâmikrodatčikovuskoreniâidavleniânaalmaznyhmaterialah AT altuhovaa pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah AT mitâginaû pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah AT mogučevav pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah AT mitâginaab pervinníperetvorûvačídlâmíkrodatčikívpriskorennâítiskunaalmaznihmateríalah AT altuhovaa primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT mitâginaû primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT mogučevav primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials AT mitâginaab primaryconvertersmicrosensorspeedupsandpressuresondiamondmaterials |