Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Пред...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |