Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Пред...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | Алтухов, А.А., Митягин, А.Ю., Могучев, А.В., Митягина, А.Б. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
von: Altuchov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Altuchov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)
«Электронный нос» на основе матрицы элементарных полупроводниковых резистивных сенсоров
von: Алтухов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Алтухов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
von: Митягин, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Митягин, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Статические погрешности измерителя углового ускорения и методы их устранения
von: Лопушенко, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Лопушенко, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза
von: Алтухов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Алтухов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
von: Карапетьян, Г.Я., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Карапетьян, Г.Я., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Прецизионный датчик давления с пневмомеханическим резонатором для бортового оборудования ЛА
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Исследование функций преобразования и чувствительности радиоизмерительного преобразователя давления
von: Осадчук, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Осадчук, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Преобразователь давления с частотным выходом на основе однопереходных тензотранзисторов
von: Бабичев, Г.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)
von: Бабичев, Г.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)
Методика проектирования элементов прецизионного датчика давления с пневмомеханическим резонатором
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений А³В⁵ в датчиках давления
von: Марончук, И.Е., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Марончук, И.Е., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
von: Кондратов, В.Т., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Кондратов, В.Т., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
von: Лепих, Я.И.
Veröffentlicht: (2004)
von: Лепих, Я.И.
Veröffentlicht: (2004)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Электрофизические и фотоэлектрические характеристики трехбарьерной фотодиодной GaAs-структуры
von: Абдулхаев, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)
von: Абдулхаев, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Распределения температуры анизотропной пластины с учетом ее оптических свойств
von: Ащеулов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Ащеулов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора
von: Михаль, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Михаль, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Моделирование энергетической зависимости чувствительности CdTe (CdZnTe) детекторов гамма-излучения
von: Захарченко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Захарченко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
von: Лопин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Лопин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Датчик скорости газового потока
von: Годованюк, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Годованюк, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Создание переключающих элементов с памятью на основе кристаллов CdTe
von: Байдуллаева, А., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Байдуллаева, А., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Моделирование отклика CdZnTe- и TlBr-детекторов для регистрации смешанного бета- и гамма-излучения
von: Скрыпник, А.И.
Veröffentlicht: (2015)
von: Скрыпник, А.И.
Veröffentlicht: (2015)
Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
von: Иванова, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Иванова, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Датчики на поверхностных акустических волнах для дистанционного контроля температуры
von: Катаев, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Катаев, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Нанокристаллы Si1–xGex в роли чувствительных элементов сенсора магнитного поля и температуры
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Увеличение чувствительности сенсоров изменения показателя преломления среды на основе поверхностного плазмонного резонанса
von: Ушенин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Ушенин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Автотрассовый газоанализатор
von: Девятко, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Девятко, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Использование позитронной аннигиляционной спектроскопии для контроля процессов влагопоглощения в нанопористой керамике MgAl₂O₄
von: Клым, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Клым, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Эффективность сбора зарядов в датчиках γ-излучения с различной конфигурацией электродов
von: Кондрик, А.И.
Veröffentlicht: (2012)
von: Кондрик, А.И.
Veröffentlicht: (2012)
Ähnliche Einträge
-
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007) -
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
von: Altuchov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2009) -
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007) -
«Электронный нос» на основе матрицы элементарных полупроводниковых резистивных сенсоров
von: Алтухов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007) -
Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
von: Митягин, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)