Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
Описана методика расчета и экспериментальный способ определения основных параметров микродатчиков. Рассчитанные значения емкости первичных преобразователей датчиков хорошо согласуются с экспериментальными значениями. Установлено, что емкость практически линейно зависит от измеряемого параметра. Пред...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | Алтухов, А.А., Митягин, А.Ю., Могучев, А.В., Митягина, А.Б. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52094 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах / А.А. Алтухов, А.Ю. Митягин, А.В. Могучев, А.Б. Митягина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 27-29. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
за авторством: Altuchov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Altuchov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
«Электронный нос» на основе матрицы элементарных полупроводниковых резистивных сенсоров
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
за авторством: Митягин, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Митягин, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Статические погрешности измерителя углового ускорения и методы их устранения
за авторством: Лопушенко, В.К., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Лопушенко, В.К., та інші
Опубліковано: (2001)
Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Прецизионный датчик давления с пневмомеханическим резонатором для бортового оборудования ЛА
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование функций преобразования и чувствительности радиоизмерительного преобразователя давления
за авторством: Осадчук, В.С., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Осадчук, В.С., та інші
Опубліковано: (2004)
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Преобразователь давления с частотным выходом на основе однопереходных тензотранзисторов
за авторством: Бабичев, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Бабичев, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Методика проектирования элементов прецизионного датчика давления с пневмомеханическим резонатором
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений А³В⁵ в датчиках давления
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
за авторством: Кондратов, В.Т., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кондратов, В.Т., та інші
Опубліковано: (2008)
Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
за авторством: Лепих, Я.И.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Лепих, Я.И.
Опубліковано: (2004)
Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Универсальная система для измерения усилия-перемещения
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Электрофизические и фотоэлектрические характеристики трехбарьерной фотодиодной GaAs-структуры
за авторством: Абдулхаев, О.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Абдулхаев, О.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)
Расчет коэффициента преобразования кондуктометрического датчика биосенсора
за авторством: Михаль, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Михаль, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Распределения температуры анизотропной пластины с учетом ее оптических свойств
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Моделирование энергетической зависимости чувствительности CdTe (CdZnTe) детекторов гамма-излучения
за авторством: Захарченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Захарченко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Лопин, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Лопин, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Датчик скорости газового потока
за авторством: Годованюк, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Годованюк, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Применение ионоселективных полевых транзисторов для ферментного анализа токсичных примесей в водных растворах
за авторством: Павлюченко, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Павлюченко, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Индуктивный негасенсор
за авторством: Войцеховская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Войцеховская, Е.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Вихретоковый анизотропный термоэлектрический первичный преобразователь лучистого потока
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Создание переключающих элементов с памятью на основе кристаллов CdTe
за авторством: Байдуллаева, А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Байдуллаева, А., та інші
Опубліковано: (2001)
Моделирование отклика CdZnTe- и TlBr-детекторов для регистрации смешанного бета- и гамма-излучения
за авторством: Скрыпник, А.И.
Опубліковано: (2015)
за авторством: Скрыпник, А.И.
Опубліковано: (2015)
Построение инерциального датчика для измерения линейных ускорений и угловых скоростей летательного аппарата
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
за авторством: Иванова, Е.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Иванова, Е.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Датчики на поверхностных акустических волнах для дистанционного контроля температуры
за авторством: Катаев, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Катаев, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007) -
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
за авторством: Altuchov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009) -
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007) -
«Электронный нос» на основе матрицы элементарных полупроводниковых резистивных сенсоров
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007) -
Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
за авторством: Митягин, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)