APA (7th ed.) Citation

Попов, В., Шустов, Ю., Клименко, А., & Поканевич, А. (2009). Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Попов, В.М, Ю.М Шустов, А.С Клименко, and А.П Поканевич. Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2009.

MLA (8th ed.) Citation

Попов, В.М, et al. Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2009.