Зображення обкладинки

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов

Показано, что травление кремния ионами с низкой энергией является эффективным средством целенаправленной модификации электрофизических свойств его поверхности. Досліджено вплив травлення кремнію р-типу іонами аргону з енергією 3,6 кеВ на утворення електрично активних дефектів (ЕАД) в приповерхневому...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2009
Автори:	Попов, В.М., Шустов, Ю.М., Клименко, А.С., Поканевич, А.П.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Теми:	Материалы электроники
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52098
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов / В.М. Попов, Ю.М. Шустов, А.С. Клименко, А.П. Поканевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 48-51. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)

Термостабильные интерференционные оксидные покрытия для активных элементов лазеров ИК-диапазона
за авторством: Загоруйко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
за авторством: Семенов, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
за авторством: Лаврич, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Процессы фазовой релаксации электронов в неупорядоченных пленках золота, подвергнутых облучению ионами аргона
за авторством: Белевцев, Б.И., та інші
Опубліковано: (1995)

Эффекты слабой локализации электронов в проводимости пленок золота, подвергнутых облучению ионами аргона
за авторством: Белевцев, Б.И., та інші
Опубліковано: (1995)

О влиянии облучения ионами Ar⁺ на коррозионную стойкость металлов и сплавов
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
за авторством: Lavrich, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние высокодозового облучения ионами N⁺ на кристаллическую структуру Y₂,₉₅La₀,₀₅Fe₅O₁₂
за авторством: Фодчук, И.М., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние облучения тяжелыми ионами высоких энергий на структурные изменения в аморфных сплавах
за авторством: Дидык, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2003)

Методика и экспериментальные данные облучения конструкционных материалов ионами гелия на линейном ускорителе
за авторством: Анохин, Р.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Индуктивность, электрически перестраиваемая полупроводниковой структурой
за авторством: Semenov, А. А., та інші
Опубліковано: (2012)

Индуктивность, электрически перестраиваемая полупроводниковой структурой
за авторством: Семенов, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Захват дейтерия на ловушках, созданных в стали Х18Н10Т при облучении высокоэнергетическими ионами аргона
за авторством: Копанец, И.Е., та інші
Опубліковано: (2008)

Профили дефектов, распределение и местоположение гелия, аргона, криптона и ксенона, ионно-имплантированных в никель
за авторством: Толстолуцкая, Г.Д., та інші
Опубліковано: (2006)

Нем'ятий Василь Миколайович
Опубліковано: (1990)

Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
за авторством: Завадский, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Оценка влияния параметров электронного луча на образование корневых дефектов при ЭЛС
за авторством: Статывка, Ю.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Влияние облучения и отжига на термическую стабильность радиационных дефектов в кремнии
за авторством: Варенцов, М.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Электрически малые вибраторные, спиральные и петлевые антенны
за авторством: Овсяников, В.В.
Опубліковано: (2017)

Коллапс и образование гидридов в циркониевых элементах конструкции активных зон водоохлаждаемых реакторов
за авторством: Грицина, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Молекулярная модель и химическая связь теллура
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-TiO₂:Mn/p-CdTe
за авторством: Мостовой, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Разработка сцинтилляторов на основе соединений AIIBVI для медицинского и технического радиационного приборостроения
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
за авторством: Горев, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2008)