Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами
Исследовано влияние последовательно соединенных потенциальных барьеров на физические процессы, протекающие в гетеропереходе на примере одно- и многобарьерных структур. В результате модификации увеличивается фоточувствительность приемника и расширяется его спектральный диапазон. Досліджено вплив посл...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52099 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Ф.А. Гиясова, Л.Х. Зоирова, О.А. Абдулхаев, Д.Р. Джураев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 52-58. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859606792439332864 |
|---|---|
| author | Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Гиясова, Ф.А. Зоирова, Л.Х. Абдулхаев, О.А. Джураев, Д.Р. |
| author_facet | Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Гиясова, Ф.А. Зоирова, Л.Х. Абдулхаев, О.А. Джураев, Д.Р. |
| citation_txt | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Ф.А. Гиясова, Л.Х. Зоирова, О.А. Абдулхаев, Д.Р. Джураев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 52-58. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследовано влияние последовательно соединенных потенциальных барьеров на физические процессы, протекающие в гетеропереходе на примере одно- и многобарьерных структур. В результате модификации увеличивается фоточувствительность приемника и расширяется его спектральный диапазон.
Досліджено вплив послідовно з'єднанних потенційних бар'єрів на фізичні процеси, що протікають в p-n-гетеропереході на прикладі одно- і багатобар'єрних структур. Показано, що модифікація гетеропереходу шляхом створення послідовно з'єднанного бар'єру до підкладки і до гетерошару призводять до переводу пасивної паразитної частини підкладки в категорію активної і до її модуляції з двох сторін, а сформований до гетерошару третій бар'єр виключає інжекцію носіїв в базову область і істотно зменшує ємність структури.
There have been researched how the consistently connected potential barriers influence on physical processes running in p-n-heterojunction on an example of one- and multibarrier structures. It is shown, that updating of the heterojunction by creation of the consistently connected barrier to a substrate and to heterolayer result in convertion of a passive parasitic part of a substrate to the active category and its modulation from the two-parties. The third barrier generated to heterolayer excludes the injection of carriers to the base area and essentially reduces capacity of structure.
|
| first_indexed | 2025-11-28T04:36:09Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
52
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
23.04 2009 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. ß. ß. ÊÓÄÐÈÊ
(ÈÔÏ èì. Â. Å. Ëàøêàð¸âà, ã. Êèåâ)
Ä. ô.-ì. í. À. Â. ÊÀÐÈÌÎÂ, ê. ô.-ì. í. Ä. Ì. ¨ÄÃÎÐÎÂÀ,
ê. ô.-ì. í. Ô. À. ÃÈßÑÎÂÀ, Ë. Õ. ÇÎÈÐÎÂÀ, Î. À. ÀÁÄÓËÕÀÅÂ,
Ä. Ð. ÄÆÓÐÀÅÂ
Ðåñïóáëèêà Óçáåêèñòàí, ã. Òàøêåíò, ÍÏÎ «Ôèçèêà�Ñîëíöå»;
Áóõàðñêèé ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò
Å-mail: karimov@uzsci.net; djuraev2002@mail.ru
ÌÎÄÈÔÈÊÀÖÈß ÁÀÐÜÅÐÍÎÉ ÑÒÐÓÊÒÓÐÛ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ
pAlGaInAs�nGaAs ÏÎÑËÅÄÎÂÀÒÅËÜÍÎ ÑÎÅÄÈÍÅÍÍÛÌÈ
ÏÎÒÅÍÖÈÀËÜÍÛÌÈ ÁÀÐÜÅÐÀÌÈ
Èññëåäîâàíî âëèÿíèå ïîñëåäîâàòåëüíî
ñîåäèíåííûõ ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ
íà ôèçè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîòåêàþùèå
â ãåòåðîïåðåõîäå íà ïðèìåðå îäíî- è
ìíîãîáàðüåðíûõ ñòðóêòóð. Â ðåçóëüòà-
òå ìîäèôèêàöèè óâåëè÷èâàåòñÿ ôîòî-
÷óâñòâèòåëüíîñòü ïðèåìíèêà è ðàñøè-
ðÿåòñÿ åãî ñïåêòðàëüíûé äèàïàçîí.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ áûñòðûìè òåìïàìè ðàñøèðÿ-
åòñÿ îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ îïòè÷åñêèõ ñèãíàëîâ â îï-
òîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâàõ ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ.
Ñîçäàíî áîëüøîå êîëè÷åñòâî òèïîâ èçëó÷àòåëåé ñâå-
òà, êîòîðûå òðåáóþò ðàçðàáîòêè ôîòîïðèåìíûõ ñòðóê-
òóð äëÿ ðàçëè÷íîãî ñïåêòðàëüíîãî äèàïàçîíà, îáëà-
äàþùèõ ñîîòâåòñòâóþùèìè îïòèìàëüíûìè ïàðàìåò-
ðàìè è õàðàêòåðèñòèêàìè êàê ïî ôîòî÷óâñòâèòåëüíî-
ñòè, òàê è ïî áûñòðîäåéñòâèþ.
Âåëè÷èíà ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè îïðåäåëÿåòñÿ
êâàíòîâûì âûõîäîì, ò. å. ÷èñëîì ãåíåðèðîâàííûõ
ýëåêòðîííî-äûðî÷íûõ ïàð ïðè ïîãëîùåíèè îäíîãî
ôîòîíà. Ìàêñèìàëüíîå çíà÷åíèå ôîòî÷óâñòâèòåëüíî-
ñòè èäåàëüíîãî ôîòîäèîäà ñ îäíèì p�n-ïåðåõîäîì èëè
áàðüåðîì ìîæåò äîñòè÷ü 0,93 À/Âò, ïðè ýòîì ÷àñòîò-
íûé äèàïàçîí áóäåò îãðàíè÷åí [1]. ×òîáû ýòîãî èçáå-
æàòü, ñòàëè ðàçðàáàòûâàòüñÿ àíàëîãè äèîäà Ðèäà (p+�
n�i�n+ èëè n+�p+�i�ð+) è èíæåêöèîííî-ïðîëåòíûå äè-
îäû òèïà «ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê�ìåòàëë» [2], îá-
ëàäàþùèå âûñîêîé ðàáî÷åé ÷àñòîòîé è áûñòðîäåé-
ñòâèåì. Â íèõ çàäàííîå (ïðîòÿæåííîå) ðàñïðåäåëå-
íèå ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ çà ñ÷åò ïîñëåäîâàòåëüíî ñî-
åäèíåííûõ äâóõ è òðåõ áàðüåðîâ ïîçâîëÿåò ïîâûñèòü
ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü.  ÷àñòíîñòè, â [3] äëÿ ïîâû-
øåíèÿ áûñòðîäåéñòâèÿ óìåíüøåíà åìêîñòü ñòðóêòó-
ðû ïóòåì ñîçäàíèÿ âñòðå÷íî-øòûðåâûõ ïëàíàðíûõ
ñòðóêòóð ñ äâóìÿ áàðüåðàìè Øîòòêè íà îñíîâå àðñå-
íèäà ãàëëèÿ. Äâóõñòîðîííå ÷óâñòâèòåëüíûå äâóõáà-
ðüåðíûå m�p�m- è m�n�m-ñòðóêòóðû ñ äâóìÿ áàðüå-
ðàìè Øîòòêè íà îñíîâå êðåìíèÿ, îáëàäàþùèå âûñî-
êîé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ â êîðîòêîâîëíîâîé îá-
ëàñòè ñïåêòðà, îïèñàíû â [4].
Äëÿ ïîâûøåíèÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè è áûñòðî-
äåéñòâèÿ ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóð â [4, 5] îñóùåñòâ-
ëåíî èíòåãðèðîâàíèå ð�n-ïåðåõîäà ñ îáðàòíî âêëþ-
÷åííûìè ïåðåõîäàìè «ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê» â
åäèíóþ ñòðóêòóðó íà îñíîâå ãåòåðîñëîÿ GaInAs è
AlGaAs.
Îïèñàííûå ýêñïåðèìåíòû ïðîâåäåíû íà ðàçëè÷íûõ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëàõ, îäíàêî èìåþùèåñÿ
ê íàñòîÿùåìó âðåìåíè äàííûå ëèòåðàòóðíûõ èñòî÷íè-
êîâ íå ïîçâîëÿþò ïîëó÷èòü ñâåäåíèÿ î ïîñëåäîâàòåëü-
íîì óïðàâëåíèè ïàðàìåòðàìè ïðè ìîäèôèêàöèè êîí-
ñòðóêöèè ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ñòðóêòóðû.
 äàííîé ðàáîòå ïðèâåäåíû òåõíîëîãè÷åñêèå ïðèí-
öèïû èçãîòîâëåíèÿ ïîýòàïíî ìîäèôèöèðîâàííûõ îò
îäíî- äî òðåõáàðüåðíîé ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóð íà
îñíîâå ãåòåðîïåðåõîäà ðAlGaInAs�nGaAs, è èññëå-
äîâàíî âëèÿíèå íàëè÷èÿ ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåí-
íûõ áàðüåðîâ ê ð�n-ïåðåõîäó íà ôèçè÷åñêèå ïðîöåñ-
ñû, ïðîòåêàþùèå â ñòðóêòóðàõ.
Èçãîòîâëåíèå îáðàçöîâ äëÿ èññëåäîâàíèÿ
Èññëåäóåìûå îáðàçöû áûëè èçãîòîâëåíû èçâåñò-
íûì ìåòîäîì [6] â ñïåöèàëüíîì óñòðîéñòâå [7] ïó-
òåì âûðàùèâàíèÿ èç æèäêîé ôàçû ãåòåðîñëîåâ
pAlGaInAs íà ïîäëîæêàõ nGaAs, ëåãèðîâàííûõ òåë-
ëóðîì, à òàêæå êèñëîðîäîì. Îäíîâðåìåííîå èñïîëü-
çîâàíèå àëþìèíèÿ è èíäèÿ â ãåòåðîñëîÿõ îòêðûâàåò
äîïîëíèòåëüíóþ ñòåïåíü ñâîáîäû ïðè ðåãóëèðîâàíèè
ïàðàìåòðîâ è ñâîéñòâ ãåòåðîñëîÿ. Îñîáåííîñòè åãî
ïîëó÷åíèÿ ïðèâåäåíû â ðàáîòàõ àâòîðîâ [8]. Ïîëó÷å-
íèå ñîîòâåòñòâóþùèõ ñòðóêòóð ñ îìè÷åñêèì è âû-
ïðÿìëÿþùèì p�n-ïåðåõîäîì è êîíòàêòîì «ìåòàëë�
ïîëóïðîâîäíèê» òðåáóåò, êðîìå ïîäáîðà ñîñòàâà ãå-
òåðîñëîÿ, åùå è âûáîðà êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé êàê
â ãåòåðîñëîå, òàê è â ïîäëîæêå nGaAs.
 ñâÿçè ñ ýòèì, äëÿ èññëåäîâàíèé èçãîòàâëèâà-
ëèñü îáðàçöû ñ êîíöåíòðàöèåé íîñèòåëåé â ãåòåðî-
ñëîÿõ, ñîîòâåòñòâóþùåé ïðåäíàçíà÷åíèþ êîíòàêòîâ.
Îäíîáàðüåðíûå ôîòîäèîäíûå ñòðóêòóðû ïîëó-
÷åíû ñîçäàíèåì îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê îáåèì ïî-
âåðõíîñòÿì ãåòåðîïåðåõîäà pAlGaInAs(Zn)�nGaAs.
Êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé â ýïèòàêñèàëüíîì ãåòåðî-
ñëîå pAlGaInAs(Zn) òîëùèíîé îêîëî 1 ìêì âûáðàíà
ðàâíîé Np=4·1018 ñì�3, à ïîäëîæêè nGaAs, ëåãèðî-
âàííîé òåëëóðîì, � Nn=1·1017 ñì�3. Îìè÷åñêèå êîí-
òàêòû ê ïîâåðõíîñòè ãåòåðîñëîÿ pAlGaInAs ñîçäàíû
íàïûëåíèåì ñïëàâà Au+Zn ÷åðåç ïðîçðà÷íóþ Ø-îá-
ðàçíóþ ìàñêó, à ñ òûëüíîé ñòîðîíû íàïûëåí ñïëîø-
íîé êîíòàêò èç ñïëàâà In+Sn.
Äàëåå äëÿ ïîñëåäîâàòåëüíîãî ñîåäèíåíèÿ áàðüåðà
ê ð�n-ïåðåõîäó áûë ïîëó÷åí áàðüåð Øîòòêè íà ïî-
âåðõíîñòè ñ òûëüíîé ñòîðîíû ïîäëîæêè, à òàêæå p-
AlGaInAs(Zn)-ãåòåðîñëîé ñ ñîîòâåòñòâóþùåé êîíöåí-
òðàöèåé íîñèòåëåé.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
53
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
 äâóõáàðüåðíûõ ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóðàõ êîí-
öåíòðàöèÿ íîñèòåëåé â ýïèòàêñèàëüíîì ãåòåðîñëîå
pAlGaInAs(Zn) òîëùèíîé îêîëî 1 ìêì ñîñòàâëÿëà
Np=4·1017 ñì�3. Íà èõ ïîâåðõíîñòè òàêæå íàïûëåíè-
åì ÷åðåç Ø-îáðàçíóþ ìàñêó ñïëàâà Au+Zn ñîçäàâà-
ëèñü îìè÷åñêèå êîíòàêòû. Êîíöåíòðàöèÿ íîñèòåëåé â
ïîäëîæêå nGaAs òîëùèíîé 350 ìêì ñîñòàâëÿëà
Nn=1·1015 ñì�3, ñ åå òûëüíîé ñòîðîíû ôîðìèðîâàëè
ïîòåíöèàëüíûå áàðüåðû èç Au òîëùèíîé 70 Å [9]. Ïîä-
ëîæêà nGaAs â çàâîäñêèõ óñëîâèÿõ áûëà ëåãèðîâà-
íà êèñëîðîäîì, êîòîðûé äàåò äîíîðíûé ïðèìåñíûé
óðîâåíü ñ ãëóáèíîé çàëåãàíèÿ 0,8 ýÂ [10]. Ñ öåëüþ
ïîëó÷åíèÿ î÷åðåäíîãî ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííî-
ãî áàðüåðà ê ð�n-ïåðåõîäó áûë ñôîðìèðîâàí áàðüåð
Øîòòêè ñî ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ, êàê ýòî ïîêàçàíî â
[11]. Ïàðàìåòðû ãåòåðîñëîÿ áûëè ñëåäóþùèìè.
×åòûðåõñëîéíûå òðåõáàðüåðíûå äâóõáàçîâûå ôî-
òîäèîäíûå ñòðóêòóðû áûëè ïîëó÷åíû íàïûëåíèåì â
âàêóóìå ïîëóïðîçðà÷íîãî ñëîÿ Au òîëùèíîé 70 Å,
íà ïîâåðõíîñòü ñëîÿ ðAlGaInAs (òîëùèíà 2 ìêì,
Np=2·1016 ñì�3). Ñî ñòîðîíû ïîäëîæêè nGaAs ïîòåí-
öèàëüíûé áàðüåð áûë ïîëó÷åí íàïûëåíèåì ñëîÿ Ag
òîëùèíîé 70 Å. Òîëùèíà îáëàñòè nGaAs ñ êîíöåíò-
ðàöèåé íîñèòåëåé Nn=1·1015 ñì�3, êîòîðàÿ áûëà òàêæå
ëåãèðîâàíà êèñëîðîäîì, ñîñòàâëÿåò 350 ìêì [12]. Íà
ðèñ. 1 ïðèâåäåíà ãåîìåòðèÿ ñòðóêòóð ýòèõ îáðàçöîâ.
Òàêèì îáðàçîì, äëÿ èññëåäîâàíèÿ âëèÿíèÿ íàëè-
÷èÿ ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûõ ïîòåíöèàëüíûõ áà-
ðüåðîâ íà ôèçè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîòåêàþùèå â
ð�n-ãåòåðîïåðåõîäå, áûëè èçãîòîâëåíû îäíî- è ìíî-
ãîáàðüåðíûå ñòðóêòóðû íà îñíîâå ãåòåðîïåðåõîäà
pAlGaInAs�nGaAs, êàæäàÿ èç êîòîðûõ ìîæåò áûòü
èñïîëüçîâàíà â ðàçëè÷íûõ îïòîýëåêòðîííûõ ñõåìàõ,
ïðåäíàçíà÷åííûõ äëÿ ôîòîïðèåìíûõ óñòðîéñòâ.
Èññëåäîâàíèå ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ è ôîòîýëåêò-
ðè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê îáðàçöîâ
Äëÿ ñðàâíèòåëüíîãî àíàëèçà ôèçè÷åñêèõ ïðîöåñ-
ñîâ, ïðîòåêàþùèõ â áàçîâûõ îáëàñòÿõ îäíî- è ìíî-
ãîáàðüåðíûõ ñòðóêòóð, áûëè ïðîâåäåíû èññëåäîâà-
íèÿ âîëüò-àìïåðíûõ, âîëüò-åìêîñòíûõ è ñïåêòðàëü-
íûõ õàðàêòåðèñòèê èçãîòîâëåííûõ ýêñïåðèìåíòàëü-
íûõ îáðàçöîâ.
Äëÿ îäíîáàðüåðíîé pAlGaInAs�nGaAs-ñòðóêòóðû,
êàê âèäíî èç ðèñ. 2, à, â ðåæèìå îáðàòíîãî ñìåùå-
íèÿ ãåòåðîïåðåõîäà ïðè óâåëè÷åíèè ðàáî÷åãî íàïðÿ-
æåíèÿ íàáëþäàåòñÿ ðîñò îáðàòíîãî òîêà. Âåëè÷èíà
òåìíîâîãî òîêà îò 10�8 À íà íà÷àëüíîì ó÷àñòêå ñ ïî-
âûøåíèåì íàïðÿæåíèÿ äî 1,6  óâåëè÷èâàåòñÿ áîëåå
÷åì íà äâà ïîðÿäêà. Ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû ïëåí-
êè òåìíîâûå è ñâåòîâûå êðèâûå ïåðåñåêàþòñÿ ïðè
íàïðÿæåíèè âûøå 1,2 Â. Â ðåæèìå çàïèðàíèÿ óæå íà
íà÷àëüíîì ó÷àñòêå ïîÿâëÿåòñÿ ñâåòîâîé òîê, âåëè÷è-
íà êîòîðîãî çàòåì ñòàíîâèòñÿ ñðàâíèìîé ñ òåìíîâûì
òîêîì. Ïðè ýòîì çà ñ÷åò èíæåêöèè íîñèòåëåé ÷åðåç
ïðÿìîñìåùàåìûé ð�ï-ïåðåõîä ñîïðîòèâëåíèå ñòðóê-
òóðû óìåíüøàåòñÿ (ðèñ. 3, à). Èç ýòîãî ñëåäóåò, ÷òî
îäíîáàðüåðíàÿ pAlGaInAs�nGaAs-ñòðóêòóðà îáëàäà-
åò ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ ëèøü â ðåæèìå çàïèðàíèÿ
èëè ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû ìåëêîçàëåãàþùåãî
ôîòîïðèåìíîãî ð�n-ïåðåõîäà.
Äâóõáàðüåðíàÿ pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòóðà,
ÿâëÿÿñü îäíîáàçîâîé (nGaAs), îáëàäàåò äâóõñòîðîí-
íåé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ è ðàáîòîñïîñîáíîñòüþ
ïðè îáåèõ ïîëÿðíîñòÿõ ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ.
Òðåõáàðüåðíàÿ Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòó-
ðà òàêæå ÿâëÿåòñÿ äâóõñòîðîííå ÷óâñòâèòåëüíîé è
ðàáîòîñïîñîáíîé ïðè ëþáûõ ïîëÿðíîñòÿõ ðàáî÷åãî
íàïðÿæåíèÿ è ïðè ýòîì èìååò äâå ìîäóëèðóåìûå áàçû
(ðAlGaInAs è nGaAs).
 äâóõñòîðîííå ÷óâñòâèòåëüíûõ ñòðóêòóðàõ ñóùå-
ñòâóåò ÷åòûðå ñåìåéñòâà ñâåòîâûõ õàðàêòåðèñòèê: â
ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ãåòåðîïåðåõîäà è â ðåæè-
ìå çàïèðàíèÿ ãåòåðîïåðåõîäà äëÿ äâóõ ñëó÷àåâ � ïðè
ïîäñâåòêå ñî ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ è ñî ñòîðîíû ïîä-
ëîæêè. Òàê êàê ýôôåêòû ïðèìåñíîé ôîòî÷óâñòâèòåëü-
íîñòè äâóõáàðüåðíîé pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòó-
ðû ê ìîíîõðîìàòè÷åñêîìó èçëó÷åíèþ ïîäðîáíî èñ-
ñëåäîâàíû â [6], îãðàíè÷èìñÿ ðàññìîòðåíèåì åå ôî-
òîýëåêòðè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê ïðè ïîäñâåòêå ñî ñòî-
ðîíû ãåòåðîñëîÿ, ê êîòîðîìó ïðèìûêàåò òðåõáàðüåð-
íàÿ äâóõáàçîâàÿ Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòó-
ðà, ñîçäàâàÿ âûïðÿìëÿþùèé êîíòàêò.
 äâóõáàðüåðíîé îäíîáàçîâîé ðAlGaInAs�nGaAs�
Au-ñòðóêòóðå â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ãåòåðîïå-
ðåõîäà òåìíîâîé òîê ïðè óâåëè÷åíèè íàïðÿæåíèÿ îò
0 äî 80  âîçðàñòàåò íà ÷åòûðå ïîðÿäêà, à â ðåæèìå
çàïèðàíèÿ � íå áîëåå ÷åì íà îäèí, êîãäà òîê äîñòè-
ãàåò íàñûùåíèÿ (ðèñ. 2, á).
Ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ â ïðÿìîì
íàïðàâëåíèè ïîÿâëÿåòñÿ ôîòîòîê, âåëè÷èíà êîòîðîãî
ñ óâåëè÷åíèåì íàïðÿæåíèÿ «ìàñêèðóåòñÿ» âîçðàñòà-
þùèì òåìíîâûì òîêîì, îáóñëîâëåííûì îäíîâðåìåí-
íîé èíæåêöèåé òåìíîâûõ íîñèòåëåé â áàçîâóþ îá-
ëàñòü â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ãåòåðîïåðåõîäà.
Ýòî ïîäòâåðæäàåòñÿ îòíîñèòåëüíî ðåçêèì óìåíüøå-
íèåì ñîïðîòèâëåíèÿ pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòó-
ðû, ò. å. ìîäóëÿöèåé áàçîâîé îáëàñòè (ðèñ. 3, á, êðè-
âàÿ 1).
Ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ ñ
ðîñòîì âåëè÷èíû ñâåòîâîé òîê äîñòèãàåò íàñûùåíèÿ,
à ñîïðîòèâëåíèå pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòóðû
à)
Wp�n
p
n
â)á)
Wp�n
Wn�m
p
n
m
Wp�n
Wn�m
Wm�p p
n
m
Ðèñ. 1. Ãåîìåòðèÿ ñòðóêòóð:
à � îäíîáàðüåðíàÿ pAlGaInAs�nGaAs; á � äâóõáàðüåðíàÿ pAlGaInAs�nGaAs�Au; â � òðåõáàðüåðíàÿ Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag
m
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
54
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
à) á)
Ðèñ. 2. Òåìíîâûå (1, 2) è ñâåòîâûå ïðè îñâåùåíèè ñî
ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ (11, 21) õàðàêòåðèñòèêè ñòðóêòóð:
1, 11 � ïðÿìûå; 2, 21 � îáðàòíûå;
à � pAlGaInAs�nGaAs; á � pAlGaInAs�ïGaAs�Au; â �
Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag
I, À
10�4
10�5
10�6
10�7
10�8
0 0,4 0,8 1,2 U, Â
1
11 2
21
I, À
10�3
10�4
10�5
10�6
10�7
10�8
0 20 40 60 U, Â
1
11
2
21
1, 11 � (+)p�n�m(�)
2, 21 � (�)p�n�m(+)
â) I, À
10�6
10�7
10�8
10�9
0 2 4 6 8 10 U, Â
1
11
2
21
1, 11 � (+)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(�)
2, 21 � (�)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(+)
à) á)
â)
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ñîïðîòèâëåíèÿ ñòðóêòóð îò íàïðÿ-
æåíèÿ â òåìíîòå (1, 2) è ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû ãåòå-
ðîñëîÿ (11, 21):
1, 11 � ïðÿìûå; 2, 21 � îáðàòíûå;
à � pAlGaInAs�nGaAs; á � pAlGaInAs�nGaAs�Au; â �
Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag
R, Îì
107
106
105
104
0 0,4 0,8 1,2 U, Â
1 � (+)pAlGaInAs�nGaAs(�)
2 � (�)pAlGaInAs�nGaAs(+)
11 � Ô→(+)pAlGaInAs�nGaAs(�)
21 � Ô→(�)pAlGaInAs�nGaAs(+)
1
11
2
21
R, Îì
108
107
106
105
0 20 40 60 80 U, Â
1 � (+)pAlGaInAs�nGaAs�Au(�)
2 � (�)pAlGaInAs�nGaAs�Au(+)
11 � Ô→(+)pAlGaInAs�nGaAs�Au(�)
21 � Ô→(�)pAlGaInAs�nGaAs�Au(+)
1
11
2
21
R, Îì
108
106
104
102
2 4 6 8 U, Â
1 � (+)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(�)
2 � (�)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(+)
11 � Ô→(+)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(�)
21 � Ô→(�)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(+)
1
21
2
11
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
55
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
óâåëè÷èâàåòñÿ. Òàêîå ïîâåäåíèå ñâåòîâûõ õàðàêòå-
ðèñòèê ìîæíî îáúÿñíèòü îòñóòñòâèåì èíæåêöèè íî-
ñèòåëåé â äàííîì ðåæèìå, ò. ê. èíà÷å óìåíüøàëîñü
áû ñîïðîòèâëåíèå áàçû. ×òî êàñàåòñÿ òðåõáàðüåðíîé
Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòóðû, òî èíæåêöèÿ
íîñèòåëåé â íåé îòñóòñòâóåò ïðè ëþáûõ ðåæèìàõ, â
ðåçóëüòàòå ÷åãî åå ñîïðîòèâëåíèå íå óìåíüøàåòñÿ ñ
ðîñòîì íàïðÿæåíèÿ (ðèñ. 3, â).
Òðåõáàðüåðíàÿ Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòó-
ðà èìååò ñèììåòðè÷íóþ âîëüò-àìïåðíóþ õàðàêòåðèñ-
òèêó, ò. å. ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè ïðÿìàÿ è îáðàòíàÿ
âåòâè õàðàêòåðèñòèêè ñîâïàäàþò, îäíàêî ñâåòîâîé òîê
áîëüøå òåìíîâîãî (ñì. ðèñ. 2, â). ×òî êàñàåòñÿ ñî-
ïðîòèâëåíèÿ, òî åãî âåëè÷èíà ñ óâåëè÷åíèåì ðàáî÷å-
ãî íàïðÿæåíèÿ ñíà÷àëà íåñêîëüêî óìåíüøàåòñÿ, à çà-
òåì íà÷èíàåò ðàñòè, ÷òî îáóñëîâëåíî çàìåäëåíèåì ïðè-
ðîñòà òîêà, ò. å. îòñóòñòâèåì èíæåêöèè íîñèòåëåé â
áàçîâóþ îáëàñòü.
Òàêèì îáðàçîì, äëÿ îäíîáàðüåðíîé ãåòåðîñòðóê-
òóðû õàðàêòåðíû óìåíüøåíèå ôîòîòîêà ñ óâåëè÷åíè-
åì ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ è îäíîñòîðîííÿÿ ôîòî÷óâ-
ñòâèòåëüíîñòü. Â äâóõáàðüåðíîé îäíîáàçîâîé
pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòóðå íàáëþäàåòñÿ óìåíü-
øåíèå ôîòîòîêà ñ ðîñòîì íàïðÿæåíèÿ, îáóñëîâëåí-
íîå èíæåêöèåé íîñèòåëåé â áàçîâóþ îáëàñòü ÷åðåç
ïðÿìîñìåùåííûé ð�n-ãåòåðîïåðåõîä.  òðåõáàðüåð-
íîé äâóõáàçîâîé Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòó-
ðå ñ ðîñòîì ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ ôîòîòîê óâåëè÷è-
âàåòñÿ.
Îäíîáàðüåðíûå pAlGaInAs�nGaAs-ñòðóêòóðû èìå-
þò åìêîñòü, îïðåäåëÿåìóþ êîíöåíòðàöèåé íîñèòåëåé
â ð- è n-îáëàñòÿõ. Åå âåëè÷èíà äëÿ çíà÷åíèé êîíöåí-
òðàöèè íîñèòåëåé Np=4·1018 ñì�3 è Nn=1·1017 ñì�3 ñî-
ñòàâëÿåò 60 ïÔ (ñì. òàáëèöó).
 îäíîáàðüåðíîé ñòðóêòóðå ìîäóëÿöèÿ áàçû îñó-
ùåñòâëÿåòñÿ ñ îäíîé ñòîðîíû îò ãðàíèöû p�n-ïåðå-
õîäà. Ïðè ñîçäàíèè âòîðîãî áàðüåðà «ìåòàëë�ïîëó-
ïðîâîäíèê» ïîñëåäîâàòåëüíî ê p�n-ïåðåõîäó ñ òûëü-
íîé ñòîðîíû nGaAs-ãåòåðîñòðóêòóðà ñòàíîâèòñÿ ìî-
äóëèðóåìîé ñ äâóõ ñòîðîí, ïðè÷åì áàëëàñòíàÿ ïàðà-
çèòíàÿ ÷àñòü áàçû ñòàíîâèòñÿ ðàáî÷åé.  ðåçóëüòàòå
ïîñëåäîâàòåëüíîãî ïðèñîåäèíåíèÿ åìêîñòè âòîðîãî
áàðüåðà îáùàÿ åìêîñòü äâóõáàðüåðíîé îäíîáàçîâîé
pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòóðû ñóùåñòâåííî
óìåíüøàåòñÿ, â íàøåì ñëó÷àå � äî 12 ïÔ. Ôîðìè-
ðîâàíèå òðåòüåãî áàðüåðà ê ïîâåðõíîñòè ãåòåðîñëîÿ
pAlGaInAs ïðåâðàùàåò ãåòåðîñòðóêòóðó â äâóõáàçî-
âóþ Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòóðó, åìêîñòü êî-
òîðîé ñòàíîâèòñÿ åùå ìåíüøå � äî 8,5 ïÔ, ÷òî ïðè-
âîäèò ê ñóùåñòâåííîìó ïîâûøåíèþ áûñòðîäåéñòâèÿ
ôîòîäèîäíîé ñòðóêòóðû íà îñíîâå ãåòåðîïåðåõîäà
pAlGaInAs�nGaAs.
Èññëåäîâàíèÿ ñïåêòðàëüíûõ õàðàêòåðèñòèê îäíî-
è ìíîãîáàðüåðíûõ ñòðóêòóð ïîêàçàëè, ÷òî ñïåêòðàëü-
íûé ôîòîòîê Iô â îäíîáàðüåðíîé ñòðóêòóðå èìååò
ìàêñèìóì ïðè ýíåðãèè èçëó÷åíèÿ 1,34 ýÂ, ÷òî ñîîò-
âåòñòâóåò øèðèíå çàïðåùåííîé çîíû ãåòåðîñëîÿ
(ðèñ. 4, êðèâàÿ 1). Â äâóõáàðüåðíîé ñòðóêòóðå íà-
áëþäàåòñÿ ðàñøèðåíèå ñïåêòðà ìàêñèìàëüíîãî ôî-
òîòîêà â íàïðàâëåíèè äëèííîâîëíîâîé îáëàñòè
(λ=1,1�1,5 ìêì), îáóñëîâëåííîå âîçáóæäåíèåì ôî-
òîíîñèòåëåé ñ óðîâíåé ñîáñòâåííîãî äåôåêòà è ïðè-
ìåñåé êèñëîðîäà (êðèâàÿ 2). Â òðåõáàðüåðíîé ñòðóê-
òóðå ñïåêòðàëüíûé äèàïàçîí ìàêñèìàëüíîãî ôîòîòî-
êà ðàñøèðÿåòñÿ â îáå ñòîðîíû (êðèâàÿ 3, λ=0,6�
1,6 ìêì) çà ñ÷åò îõâàòà óðîâíåé ïðèìåñåé ñëîåì
îáúåìíîãî çàðÿäà ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ.
Òàêèì îáðàçîì, â äâóõáàðüåðíîé ñòðóêòóðå ôè-
çè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîòåêàþùèå â ãåòåðîïåðåõîäå,
ñòàíîâÿòñÿ â îïðåäåëåííîé ñòåïåíè óïðàâëÿåìûìè
âòîðûì áàðüåðîì.
Îäíîáàðüåðíàÿ Äâóõáàðüåðíàÿ îäíîáàçîâàÿ Òðåõáàðüåðíàÿ äâóõáàçîâàÿ
(+)p�n(�) (�)p�n(+) (+)p�n�m(�) (�)p�n�m(+) (+)m�p�n�m(�) (�)m�p�n�m(+)
U C U C U C U C U C U C
0 60 0 60 0 11,90 0 11,49 0 8,60 0 8,70
0,057 60 0,055 60 0,1 11,93 0,4 11,39 1 8,61 0,5 8,74
0,5 60 0,5 60 0,5 12,30 1,0 11,22 4 8,63 2 8,70
0,6 60 0,6 60 1,0 12,16 1,6 10,96 7 8,637 4 8,67
0,7 60 0,7 60 2,0 12,18 2,0 10,80 9 8,639 6 8,65
3,0 12,18 6,0 9,76 8 8,63
10,0 8,80 10 8,61
20,0 8,55
Åìêîñòü ñòðóêòóð (â ïÔ) äëÿ ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèé íàïðÿæåíèÿ (â Â)
Iô
0,8
0,4
0
0,2 0,6 1,0 1,4 λ, íì
Ðèñ. 4. Ñïåêòðàëüíûå õàðàêòåðèñòèêè ñòðóêòóð ïðè îñâå-
ùåíèè ñî ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ:
1 � (�)pAlGaInAs�nGaAs(+) ïðè 0,6 B; 2 � (+)pAlGaInAs�nGaAs�
Au(�) ïðè 2 B; 3 � (+)Au�pAlGaInAs�nGaAs�Ag(�) ïðè 2 B
2
3
1
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
56
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Àíàëèç ôîòîãåíåðàöèîííûõ ïðîöåññîâ â ãåòåðî-
ñòðóêòóðå
Ñîïîñòàâëåíèå âîëüò-àìïåðíûõ, ñâåòîâûõ è ñïåê-
òðàëüíûõ õàðàêòåðèñòèê èññëåäóåìûõ ñòðóêòóð ïî-
êàçûâàåò, ÷òî êàæäàÿ ñòðóêòóðà îáëàäàåò ñïåöèôè-
÷åñêèìè ñâîéñòâàìè. Ýòî îáóñëîâëåíî ôèçè÷åñêèìè
ïðîöåññàìè, ïðîòåêàþùèìè â íèõ.
Êàê áûëî ïîêàçàíî ðàíåå, äëÿ îäíîáàðüåðíîé
pAlGaInAs�nGaAs-ãåòåðîñòðóêòóðû õàðàêòåðíî íàëè-
÷èå ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè ëèøü â ðåæèìå çàïèðàíèÿ
ð�n-ïåðåõîäà (ðèñ. 2, à). Ïðè ýòîì åå âåëè÷èíà óìåíü-
øàåòñÿ ñ ðîñòîì çàïèðàþùåãî íàïðÿæåíèÿ, ÷òî îáóñ-
ëîâëåíî ñóùåñòâåííûì óâåëè÷åíèåì òåìíîâûõ òî-
êîâ, ãåíåðèðóåìûõ â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà ãåòåðî-
ïåðåõîäà [13]. Èç ðèñ. 4 (êðèâàÿ 1) ñëåäóåò, ÷òî ñïåê-
òðàëüíàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü òàêîé ñòðóêòóðû ìàêñè-
ìàëüíà ïðè äëèíå âîëíû λ=0,92 ìêì. Ýòî ñâÿçàíî ñ
ïîãëîùåíèåì ôîòîíîâ â ñîáñòâåííîé îáëàñòè, êîòî-
ðàÿ ñîîòâåòñòâóåò øèðèíå çàïðåùåííîé çîíû ãåòåðî-
ñëîÿ. Îòñóòñòâèå ôîòîòîêà ïðè λ>1 ìêì ñâÿçàíî ñ ðåç-
êèì óìåíüøåíèåì êâàíòîâîãî âûõîäà è íåâîçìîæ-
íîñòüþ âîçáóæäåíèÿ ïðèìåñíûõ íîñèòåëåé.
 ñîîòâåòñòâèè ñ çîííîé äèàãðàììîé íà ðèñ. 5, â
îäíîáàðüåðíîé pAlGaInAs�nGaAs-ñòðóêòóðå â ðàâíî-
âåñíîì ñîñòîÿíèè ñîçäàåòñÿ êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïî-
òåíöèàëîâ è ñîîòâåòñòâóþùèé ñëîé îáúåìíîãî çàðÿ-
äà ìåæäó ð- è n-îáëàñòÿìè, à îñòàëüíàÿ ÷àñòü áàçû
îñòàåòñÿ «ìåðòâîé» èç-çà òîãî, ÷òî íà áîëüøîì ðàñ-
ñòîÿíèè îò ð�ï-ïåðåõîäà íàíåñåíû îìè÷åñêèå êîíòàê-
òû.  ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ð�ï-ïåðåõîäà óìåíü-
øåíèå êîíòàêòíîé ðàçíîñòè ïîòåíöèàëîâ ïðèâîäèò ê
ñóæåíèþ îáëàñòè îáúåìíîãî çàðÿäà, à ïðèëîæåííîå
ïðÿìîå íàïðÿæåíèå âûçûâàåò èíæåêöèþ è ðåêîìáè-
íàöèþ ýëåêòðîíîâ è äûðîê (ðèñ. 5, á). Â ðåæèìå çà-
ïèðàíèÿ ð�ï-ïåðåõîäà â îáëàñòè îáúåìíîãî çàðÿäà
ãåíåðèðóþòñÿ íåîñíîâíûå íîñèòåëè, ñîçäàþùèå îá-
ðàòíûé òîê, à ïðè ïîäñâåòêå ñî ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ
(1 ìêì) ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå ïàðû ðàçäåëÿþòñÿ, ñî-
çäàâàÿ ôîòîòîê.
 äâóõáàðüåðíîé îäíîáàçîâîé pAlGaInAs�nGaAs�
Au-ñòðóêòóðå ñ ðîñòîì ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ ñâåòî-
âîé è òåìíîâîé òîêè âåäóò ñåáÿ â çàâèñèìîñòè îò ðå-
æèìà âêëþ÷åíèÿ (ðèñ. 2, á). Ñáëèæåíèå ñâåòîâûõ òî-
êîâ (ïðÿìîãî è îáðàòíîãî) îáóñëîâëåíî èíæåêöèåé
äûðîê ÷åðåç ïðÿìîñìåùåííûé ãåòåðîïåðåõîä â áàçî-
âóþ îáëàñòü. Íåèçìåííîñòü òîêîâ (ñâåòîâîãî è òåì-
íîâîãî) ïðè ïðÿìîì ñìåùåíèè ñâÿçàíà ñ ãåíåðàöèåé
íåîñíîâíûõ òåìíîâûõ è ôîòîíîñèòåëåé â ñëîÿõ îáúåì-
íîãî çàðÿäà ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ [13]. Â òàêîé äâóõ-
áàðüåðíîé ñòðóêòóðå â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ãå-
òåðîïåðåõîäà â ïðèìåñíîé îáëàñòè (λ=1,5 ìêì), îáóñ-
ëîâëåííîé íàëè÷èåì óðîâíåé êèñëîðîäà â áàçîâîé
îáëàñòè, ïîÿâëÿåòñÿ ôîòîòîê. Ìàêñèìàëüíûé ôîòî-
òîê ñîçäàåòñÿ ïðè äëèíå âîëíû λ=0,92 ìêì, ÷òî âûç-
âàíî ïîãëîùåíèåì ôîòîíîâ â ãåòåðîñëîå pAlGaInAs.
Îäíàêî â êîðîòêîâîëíîâîé îáëàñòè ñïåêòðà âî âñåõ
èññëåäóåìûõ ñòðóêòóðàõ ôîòîòîê ìàë, ÷òî ìîæíî
îáúÿñíèòü íèçêèìè çíà÷åíèÿìè êîýôôèöèåíòà ïîãëî-
ùåíèÿ â ãåòåðîñëîå, ñîäåðæàùåì èíäèé.
 äâóõáàðüåðíîé pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòó-
ðå ê øèðîêîçîííîé áàçå (nGaAs) ñôîðìèðîâàíû
äâà áàðüåðà, à ê ãåòåðîñëîþ � îìè÷åñêèé êîíòàêò
(ðèñ. 6). Â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ãåòåðîïåðåõî-
äà äûðêè èíæåêòèðóþòñÿ â íàïðàâëåíèè áàçîâîé îá-
ëàñòè, à ýëåêòðîíû ïåðåõîäÿò ÷åðåç áàðüåð «ìåòàëë�
nGaAs». Ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû ãåòåðîñëîÿ â áà-
çîâîé îáëàñòè ðàçäåëÿþòñÿ ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå
ïàðû, à èç ïðèìåñíûõ óðîâíåé êèñëîðîäà îñâîáîæ-
äàþòñÿ ýëåêòðîíû. Ïðè ñìåíå îñâåùàåìîé ïîâåðõ-
íîñòè èìååì ðàçäåëåíèå ôîòîíîñèòåëåé èç îáëàñòè
îáúåìíîãî çàðÿäà çàïèðàåìîãî áàðüåðà, à òàêæå âû-
ñâîáîæäåíèå ýëåêòðîíîâ èç ìåòàëëà. Ïðè ñìåíå ïî-
ëÿðíîñòè ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ èç îáëàñòè îáúåìíî-
ãî çàðÿäà ãåíåðèðóþòñÿ ýëåêòðîíû è äûðêè, ñîçäà-
âàÿ òåìíîâîé òîê (ðèñ. 6, á). Ïðè ïîäñâåòêå ñî ñòî-
ðîíû ãåòåðîñëîÿ ñîçäàþòñÿ ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå
ïàðû ñ ïðèìåñíûõ óðîâíåé êèñëîðîäà â îáëàñòè
îáúåìíîãî çàðÿäà è áàçîâûõ îáëàñòåé.
Äëÿ òðåõáàðüåðíîé Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-
ñòðóêòóðû õàðàêòåðíûì ÿâëÿåòñÿ îáðàçîâàíèå ôîòî-
òîêà ñèíõðîííî ñ òåìíîâûì íåçàâèñèìî îò ðåæèìà
âêëþ÷åíèÿ. Ýòî ÿâëåíèå ñâÿçàíî ñ ãåíåðàöèîííûìè
ïðîöåññàìè â îáëàñòÿõ îáúåìíîãî çàðÿäà îáåäíÿå-
ìûõ ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ, ò. å. ñ îòñóòñòâèåì èí-
æåêöèè íîñèòåëåé â ãåòåðîïåðåõîäå. Â òðåõáàðüåðíîé
äâóõáàçîâîé ñòðóêòóðå íàáëþäàåòñÿ ñìåùåíèå ïèêà
Wn�p
Vk
n�p
nGaAs
pAlGaInAs
Wn�p
Vk
n�p�V
nGaAs
pAlGaInAs
Wn�p
Vk
n�p+V
nGaAs
pAlGaInAs
hv
Ðèñ. 5. Ýíåðãåòè÷åñêèå çîííûå äèàãðàììû îäíîáàðüåðíîé pAlGaInAs�nGaAs-ñòðóêòóðû:
à � â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè; á � â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ; â � ïðè çàïèðàíèè ãåòåðîïåðåõîäà è îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû
ãåòåðîñëîÿ
à) â)á)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
57
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ìàêñèìàëüíîãî ôîòîòîêà â áîëåå äëèííîâîëíîâóþ îá-
ëàñòü (λ=1,1�1,25 ìêì), ò. å. ðàñøèðåíèå ñïåêòðàëü-
íîé õàðàêòåðèñòèêè.  äàííîì ñëó÷àå äëèííîâîëíî-
âîå èçëó÷åíèå ïîãëîùàåòñÿ ïî âñåé ãëóáèíå ãåòåðî-
ñëîÿ, âêëþ÷àÿ ñëîé îáúåìíîãî çàðÿäà è áàçîâîé îáëà-
ñòè èç àðñåíèäà ãàëëèÿ. Ïðè ýòîì â îáëàñòè ñèëüíîãî
ïîëÿ ãåòåðîïåðåõîäà ýôôåêòèâíî ðàçäåëÿþòñÿ ôîòî-
íîñèòåëè èç ïðèìåñíîãî óðîâíÿ êèñëîðîäà. Íàáëþ-
äàåìûé ýôôåêò ñâÿçàí ñ ïîäàâëåíèåì èíæåêöèè íî-
ñèòåëåé ÷åðåç ãåòåðîïåðåõîä è ïåðåðàñïðåäåëåíèåì
ïîëÿ ìåæäó áàðüåðàìè [14].
 ýòîé òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðå èìåþòñÿ äâå áà-
çîâûå îáëàñòè, çàïèðàåìûå ñ îáåèõ ñòîðîí (ðèñ. 7).
 ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ãåòåðîïåðåõîäà ãåíåðè-
ðóþòñÿ ýëåêòðîíû è äûðêè èç îáëàñòåé îáúåìíîãî
çàðÿäà ïåðåõîäîâ «ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê». Ïðè
ýòîì äûðêè íàêàïëèâàþòñÿ â ãåòåðîáàçîâîé îáëàñòè,
à ïî ìåðå óâåëè÷åíèÿ ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ ïåðåõî-
äÿò ê êîíòàêòó áàðüåðà èç Ag; ýëåêòðîíû � êàê ãåíå-
ðèðîâàííûå, òàê è ôîòîðàçäåëåííûå � áåñïðåïÿò-
ñòâåííî ïåðåõîäÿò ê ïðîòèâîïîëîæíîìó êîíòàêòó
(ðèñ. 7, á). Òåìíîâûå òîêè áóäóò îïðåäåëÿòüñÿ ïðå-
èìóùåñòâåííî ýëåêòðîíàìè, ò. å. èõ çíà÷åíèÿ âíà÷àëå
áóäóò ìàëû. Îò ñâåòîâîãî èçëó÷åíèÿ ãåíåðèðóþòñÿ
ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå ïàðû èç îáëàñòè îáúåìíîãî
çàðÿäà è èç ãåòåðîñëîÿ. Ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû
çàïèðàåìîãî nGaAs�Ag-áàðüåðà ïðîèñõîäèò ãåíåðà-
nGaAs
pAlGaInAs
A u
nGaAs
pAlGaInAs
hv
hv
A u
nGaAs
pAlGaInAs
hv
A u
Ðèñ. 6. Ýíåðãåòè÷åñêèå çîííûå äèàãðàììû äâóõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû:
à � â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè; á � â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ; â � ïðè çàïèðàíèè ãåòåðîïåðåõîäà è îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû
ãåòåðîñëîÿ
â)à) á)
á)
nGaAs
pAlGaInAs
A g A u
nGaAs
pAlGaInAs
A g
A u
hv
hv
nGaAs
pAlGaInAs
A g
A u
hv
Ðèñ. 7. Ýíåðãåòè÷åñêèå çîííûå äèàãðàììû òðåõáàðüåðíîé Au�ðAlGaInAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòóðû:
à � â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè; á � â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ; â � ïðè çàïèðàíèè ãåòåðîïåðåõîäà è îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû
ãåòåðîñëîÿ
â)à)
öèÿ ôîòîíîñèòåëåé èç áàçîâîé îáëàñòè è ñëîÿ îáúåì-
íîãî çàðÿäà áàðüåðà. Èíæåêöèÿ íîñèòåëåé èçâíå îò-
ñóòñòâóåò.
 ðåæèìå çàïèðàíèÿ ãåòåðîñëîÿ äûðêè ñêàïëèâà-
þòñÿ â ãåòåðîáàçå, à ýëåêòðîíû, êàê ãåíåðèðîâàííûå
â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà, òàê è ôîòîãåíåðèðîâàííûå,
äîñòèãàþò ìåòàëëè÷åñêîãî êîíòàêòà áàçû èç nGaAs.
Ïðè ýòîì òàêæå èç ïðèìåñíîãî öåíòðà êèñëîðîäà ãå-
íåðèðóþòñÿ ýëåêòðîíû, ÷òî ñïîñîáñòâóåò ïîÿâëåíèþ
ôîòîòîêà â äëèííîâîëíîâîé îáëàñòè ñïåêòðà. Â äàí-
íîì ðåæèìå ïðîöåññ èíæåêöèè íîñèòåëåé òàêæå îò-
ñóòñòâóåò. Îñíîâíûì ìåõàíèçìîì, ñîçäàþùèì îáðàò-
íûé òåìíîâîé òîê, ÿâëÿåòñÿ ãåíåðàöèÿ íåîñíîâíûõ íî-
ñèòåëåé èç ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà çàïèðàåìîãî ãåòå-
ðîáàðüåðà. Ñîîòâåòñòâåííî, çíà÷åíèÿ òåìíîâîãî òîêà
� íèçêèå, à âõîäíîå ñîïðîòèâëåíèå � âûñîêîå.
Òàêèì îáðàçîì, ðîëü ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ,
ïîëó÷åííûõ ñî ñòîðîíû ïîäëîæêè è ïëåíêè, çàêëþ-
÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ïàññèâíûå ó÷àñòêè (áàçîâîé îáëàñ-
òè) â îäíîáàðüåðíûõ ñòðóêòóðàõ ñòàíîâÿòñÿ àêòèâíû-
ìè, ò. ê. çà ñ÷åò ñôîðìèðîâàííûõ ïîòåíöèàëüíûõ áà-
ðüåðîâ áàçîâûå îáëàñòè ñòàíîâÿòñÿ îäíîâðåìåííî
ìîäóëèðóåìûìè êàê ñî ñòîðîíû îáëàñòè îáúåìíîãî
çàðÿäà ð�ï-ïåðåõîäà, òàê è ñî ñòîðîíû îáúåìíîãî çà-
ðÿäà ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïåðåõîäîâ, ÷òî ïðè-
âîäèò ê ïîâûøåíèþ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè ñòðóêòó-
ðû è ê ðàñøèðåíèþ åå ñïåêòðàëüíîãî äèàïàçîíà.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2009, ¹ 4
58
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Çàêëþ÷åíèå
Èññëåäîâàíèÿ òîêîâûõ õàðàêòåðèñòèê îäíî- è
äâóõáàçîâûõ ñòðóêòóð ïîêàçàëè, ÷òî ôèçè÷åñêèå ïðî-
öåññû â íèõ èìåþò ñâîè îñîáåííîñòè, çàâèñÿùèå îò
ñâîéñòâ êàæäîãî èç êîíòàêòîâ. Õàðàêòåðèñòèêè äâóõ-
áàðüåðíîé pAlGaInAs�nGaAs�Au-ñòðóêòóðû ñ îìè-
÷åñêèì êîíòàêòîì ê ãåòåðîñëîþ è âûïðÿìëÿþùèì êîí-
òàêòîì ñ òûëüíîé ñòîðîíû áàçû íåñêîëüêî îòëè÷àþò-
ñÿ îò õàðàêòåðèñòèê îäíîáàðüåðíûõ äèîäîâ. Â äâóõ-
áàðüåðíîé p�n�m-ñòðóêòóðå â ðåæèìå (+)pAlGaInAs�
nGaAs�Au(�) èìååò ìåñòî ìåäëåííûé ðîñò òîêà, ñòðå-
ìÿùåãîñÿ ê íàñûùåíèþ. Ýòî ÿâëÿåòñÿ ñëåäñòâèåì
ïðîòåêàíèÿ òîêà ÷åðåç çàïèðàåìûé nGaAs�Au-ïåðå-
õîä, ïîñêîëüêó îòíîñèòåëüíî ïîëÿðíîñòè ïðèëîæåí-
íîãî íàïðÿæåíèÿ pAlGaInAs�nGaAs-ãåòåðîïåðåõîä ÿâ-
ëÿåòñÿ ïðÿìîâêëþ÷åííûì è â íåì íåò ïðåïÿòñòâèé äëÿ
èíæåêòèðóåìûõ èç îìè÷åñêîãî êîíòàêòà ãåòåðîñëîÿ
äûðîê. Â ðåçóëüòàòå ñîïðîòèâëåíèå ñòðóêòóðû ñ ðîñ-
òîì íàïðÿæåíèÿ óìåíüøàåòñÿ, ïðè ýòîì òîëùèíà ñëîÿ
îáúåìíîãî çàðÿäà ãåòåðîïåðåõîäà òàêæå óìåíüøàåò-
ñÿ, à nGaAs�Au-ïåðåõîä ðàñøèðÿåòñÿ. Èíæåêöèÿ íî-
ñèòåëåé â áàçîâóþ îáëàñòü ïðèâîäèò ê óâåëè÷åíèþ
åå ïðîâîäèìîñòè çà ñ÷åò èçìåíåíèÿ âðåìåíè æèçíè è
ïîäâèæíîñòè íîñèòåëåé.
Çàìåíà â ýòîé ñòðóêòóðå îìè÷åñêîãî êîíòàêòà ê
ãåòåðîñëîþ íà çàïèðàåìûé ïðèâîäèò ê òîìó, ÷òî ïðî-
òåêàþùèé òîê óìåíüøàåòñÿ ïðèìåðíî íà äâà ïîðÿä-
êà, ïðè ýòîì äâóõáàðüåðíàÿ p�n�m-ñòðóêòóðà ïðåâðà-
ùàåòñÿ â äâóõáàçîâîþ òðåõáàðüåðíóþ m1�p�n�m2-
ñòðóêòóðó. ×òî êàñàåòñÿ ñîïðîòèâëåíèÿ ñòðóêòóðû, òî
îíî ñ ðîñòîì íàïðÿæåíèÿ íåñêîëüêî óìåíüøàåòñÿ, à
çàòåì ïîñòåïåííî âîçðàñòàåò. Ñîîòâåòñòâåííî, ïðîâî-
äèìîñòü áàçîâûõ îáëàñòåé îñòàåòñÿ íåèçìåííîé, à èí-
æåêöèîííûå ïðîöåññû èñêëþ÷àþòñÿ. Ôèçè÷åñêèå
ïðîöåññû, ïðîòåêàþùèå â áàçîâûõ îáëàñòÿõ m1�p�
n�m2-ñòðóêòóðû, óïðàâëÿþòñÿ çàïèðàåìûìè m1�p- è
n�m2-ïåðåõîäàìè. Â m1�p�n�m2-ñòðóêòóðå ñ ðîñòîì
ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ ñëîè îáúåìíîãî çàðÿäà îáîèõ
áàðüåðîâ «ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê» ðàñøèðÿþòñÿ, â
òî âðåìÿ êàê ñëîé îáúåìíîãî çàðÿäà ãåòåðîïåðåõîäà
èçìåíÿåòñÿ íåçíà÷èòåëüíî.
Íà îñíîâàíèè ñîïîñòàâëåíèÿ òîêîâûõ õàðàêòåðè-
ñòèê pAlGaInAs�nGaAs�Au- è Au�ðAlGaInAs�nGaAs�
Ag-ñòðóêòóð ìîæíî ñäåëàòü âûâîä, ÷òî â äâóõáàçî-
âîé m1�p�n�m2-ñòðóêòóðå øóìû è òîêè ìåíüøå, ÷åì
â îäíîáàçîâîé p�n�m-ñòðóêòóðå [15]. Òàêèå ñòðóê-
òóðû ïðåäñòàâëÿþò èíòåðåñ äëÿ âîëîêîííî-îïòè÷å-
ñêèõ ñèñòåì.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Òðèøåíêîâ Ì. À., Ôðèìåð À. È. Ôîòîýëåêòðè÷åñêèå ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû ñ p�n-ïåðåõîäàìè // Ñá. ñòàòåé: Ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû è èõ ïðèìåíåíèå.� Ì.: Ñîâ. ðàäèî,
1971.� Âûï. 25.� Ñ. 160�165.
2. Çè Ñ. Ì. Ôèçèêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ. Êí. 2.�
Ì.: Ìèð, 1984.� Ñ. 150�155.
3. Àâåðèí Ñ. Â. Îïðåäåëåíèå õàðàêòåðèñòèê êîíòàêòà ìåòàëë-
ïîëóïðîâîäíèê äëÿ âñòðå÷íî-øòûðåâûõ ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóð
// Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1990.� Ò. 16, âûï 4.� Ñ. 49�53.
4. ̈ äãîðîâà Ä. Ì., ßêóáîâ Ý. Í. Äåòåêòîðû îïòè÷åñêîãî ñèãíàëà
íà îñíîâå Au�nSi�Al è Au�nSi äèîäîâ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðî-
âàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2005.� ¹ 4.� Ñ. 39�42.
5. Karimov A. V., Karimova D. A. Three-junction Au/AlGaAs(n)/
GaAs(p)/Ag photodiode // Materials Science in Semiconductor Pro-
cessing.� 2003.� Vol. 6, iss. 1�3.� P. 137�142.
6. Àíäðååâ Â. Ì., Äîëãèíîâ Ë. Ì., Òðåòüÿêîâ Ä. Í. Æèäêî-
ñòíàÿ ýïèòàêñèÿ â òåõíîëîãèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ.�
Ì.: Ñîâ. ðàäèî, 1975.
7. À. ñ. 762253. Ñïîñîá ïîëó÷åíèÿ p�n-ïåðåõîäîâ íà îñíîâå
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé À3Â5 / À. Â. Êàðèìîâ, Ì. Ìèðçà-
áàåâ.� 16.05 1980.
8. Ïàò. IAP 20060393 ÐÓç. Óñòðîéñòâî äëÿ æèäêîñòíîé ýïè-
òàêñèè êîëüöåîáðàçíûõ ñëîåâ íà îñíîâå ñîåäèíåíèé À3Â5 / Ä. Ì.
¨äãîðîâà, À. Â. Êàðèìîâ, Ô. Ì. Àøðàïîâ è äð.� 26.11 2008.
9. ̈ äãîðîâà Ä. Ì., Àøðàïîâ Ô. Ì. Èññëåäîâàíèå ïðèìåñíîãî
ôîòîýôôåêòà â ìèêðîñëîéíûõ äâóõáàðüåðíûõ p�n�m-ñòðóêòó-
ðàõ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòó-
ðå.� 2006.� ¹ 3.� Ñ. 40�47.
10. Ïîëåâûå òðàíçèñòîðû íà àðñåíèäå ãàëëèÿ / Ïîä ðåä. Ä. Â.
Äè Ëîðåíöî, Ä. Ä. Êàíäåóëîëà.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1988.
11. À. Ñ. 167399. Òðåõáàðüåðíûé ôîòîäèîä Êàðèìîâà / À. Â.
Êàðèìîâ.� 8.05 1991.
12. Yodgorova D. M., Zoirova L. Í., Karimov A. V. The deter-
mination of distribution of potential in three-barrier structure //
Semiconductor Physics Quantum Electronics Optoelectronics.�
2006.� Vol. 9, N 3.� Ð. 36�40.
13. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì. Îäíî- è äâóõáàðüåðíûå
ñòðóêòóðû äëÿ îïòîýëåêòðîíèêè // Ýëåêòðîíèêà.� 2005.� ¹ 11.�
Ñ. 5�13.
14. Çîèðîâà Ë. Õ. Âëèÿíèå ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ íà ñïåêòðàëü-
íóþ ÷óâñòâèòåëüíîñòü òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû // Óçáåêñêèé
Ôèçè÷åñêèé æóðíàë.� 2008.� Ò. 10, ¹ 4�5.� Ñ. 323�328.
15. Ñòàôååâ Â. È. Ýëåêòðîííûå ïðèáîðû íà îñíîâå ïîëóèçî-
ëÿòîðîâ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðà-
òóðå.� 2007.� ¹ 5.� Ñ. 3�13.
ÍÎÂÛÅ ÊÍÈÃÈ
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È Ãóëÿåâà Ë. Í. Òåõíîëîãèÿ ìîíòàæà è ðåãóëèðîâêà ðàäèîýëåêòðîííîé
àïïàðàòóðû è ïðèáîðîâ.� Ì.: Àêàäåìèÿ, 2009.� 256 ñ.
 ó÷åáíîì ïîñîáèè ïðèâåäåíû ñâåäåíèÿ îá èçìåðåíèÿõ è èçìåðèòåëüíûõ ïðèáî-
ðàõ. Ðàññìîòðåíû âèäû ìîíòàæà ðàäèîýëåêòðîííîé àïïàðàòóðû, òåõíîëîãèÿ
ìîíòàæà èñòî÷íèêîâ ïèòàíèÿ, óñèëèòåëåé, ãåíåðàòîðîâ, óñòðîéñòâ èìïóëüñíîé è
âû÷èñëèòåëüíîé òåõíèêè, ñóïåðãåòåðîäèííûõ ðàäèîïðèåìíèêîâ è òåëåâèçîðîâ,
îñîáåííîñòè ìîíòàæà ìèêðîñõåì íà ïå÷àòíûå ïëàòû. Îïèñàíû âèäû ýëåêòðîìå-
õàíè÷åñêèõ óñòðîéñòâ, à òàêæå èçäåëèé ðàäèîýëåêòðîííîé àïïàðàòóðû. Äëÿ ó÷à-
ùèõñÿ ó÷ðåæäåíèé íà÷àëüíîãî ïðîôåññèîíàëüíîãî îáðàçîâàíèÿ.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52099 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T04:36:09Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Гиясова, Ф.А. Зоирова, Л.Х. Абдулхаев, О.А. Джураев, Д.Р. 2013-12-28T00:20:50Z 2013-12-28T00:20:50Z 2009 Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Ф.А. Гиясова, Л.Х. Зоирова, О.А. Абдулхаев, Д.Р. Джураев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 52-58. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52099 Материалы электроники Исследовано влияние последовательно соединенных потенциальных барьеров на физические процессы, протекающие в гетеропереходе на примере одно- и многобарьерных структур. В результате модификации увеличивается фоточувствительность приемника и расширяется его спектральный диапазон. Досліджено вплив послідовно з'єднанних потенційних бар'єрів на фізичні процеси, що протікають в p-n-гетеропереході на прикладі одно- і багатобар'єрних структур. Показано, що модифікація гетеропереходу шляхом створення послідовно з'єднанного бар'єру до підкладки і до гетерошару призводять до переводу пасивної паразитної частини підкладки в категорію активної і до її модуляції з двох сторін, а сформований до гетерошару третій бар'єр виключає інжекцію носіїв в базову область і істотно зменшує ємність структури. There have been researched how the consistently connected potential barriers influence on physical processes running in p-n-heterojunction on an example of one- and multibarrier structures. It is shown, that updating of the heterojunction by creation of the consistently connected barrier to a substrate and to heterolayer result in convertion of a passive parasitic part of a substrate to the active category and its modulation from the two-parties. The third barrier generated to heterolayer excludes the injection of carriers to the base area and essentially reduces capacity of structure. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами Модифікація бар'єрної структури на основі pAlGaInAs–nGaAs послідовно з'єднанними потенційними бар'єрами Modification of barrier structure on the basis of pAlGaInAs–nGaAs by consecutively connected potential barriers Article published earlier |
| spellingShingle | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами Каримов, А.В. Ёдгорова, Д.М. Гиясова, Ф.А. Зоирова, Л.Х. Абдулхаев, О.А. Джураев, Д.Р. Материалы электроники |
| title | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами |
| title_alt | Модифікація бар'єрної структури на основі pAlGaInAs–nGaAs послідовно з'єднанними потенційними бар'єрами Modification of barrier structure on the basis of pAlGaInAs–nGaAs by consecutively connected potential barriers |
| title_full | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами |
| title_fullStr | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами |
| title_full_unstemmed | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами |
| title_short | Модификация барьерной структуры на основе pAlGaInAs–nGaAs последовательно соединенными потенциальными барьерами |
| title_sort | модификация барьерной структуры на основе palgainas–ngaas последовательно соединенными потенциальными барьерами |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52099 |
| work_keys_str_mv | AT karimovav modifikaciâbarʹernoistrukturynaosnovepalgainasngaasposledovatelʹnosoedinennymipotencialʹnymibarʹerami AT edgorovadm modifikaciâbarʹernoistrukturynaosnovepalgainasngaasposledovatelʹnosoedinennymipotencialʹnymibarʹerami AT giâsovafa modifikaciâbarʹernoistrukturynaosnovepalgainasngaasposledovatelʹnosoedinennymipotencialʹnymibarʹerami AT zoirovalh modifikaciâbarʹernoistrukturynaosnovepalgainasngaasposledovatelʹnosoedinennymipotencialʹnymibarʹerami AT abdulhaevoa modifikaciâbarʹernoistrukturynaosnovepalgainasngaasposledovatelʹnosoedinennymipotencialʹnymibarʹerami AT džuraevdr modifikaciâbarʹernoistrukturynaosnovepalgainasngaasposledovatelʹnosoedinennymipotencialʹnymibarʹerami AT karimovav modifíkacíâbarêrnoístrukturinaosnovípalgainasngaasposlídovnozêdnannimipotencíinimibarêrami AT edgorovadm modifíkacíâbarêrnoístrukturinaosnovípalgainasngaasposlídovnozêdnannimipotencíinimibarêrami AT giâsovafa modifíkacíâbarêrnoístrukturinaosnovípalgainasngaasposlídovnozêdnannimipotencíinimibarêrami AT zoirovalh modifíkacíâbarêrnoístrukturinaosnovípalgainasngaasposlídovnozêdnannimipotencíinimibarêrami AT abdulhaevoa modifíkacíâbarêrnoístrukturinaosnovípalgainasngaasposlídovnozêdnannimipotencíinimibarêrami AT džuraevdr modifíkacíâbarêrnoístrukturinaosnovípalgainasngaasposlídovnozêdnannimipotencíinimibarêrami AT karimovav modificationofbarrierstructureonthebasisofpalgainasngaasbyconsecutivelyconnectedpotentialbarriers AT edgorovadm modificationofbarrierstructureonthebasisofpalgainasngaasbyconsecutivelyconnectedpotentialbarriers AT giâsovafa modificationofbarrierstructureonthebasisofpalgainasngaasbyconsecutivelyconnectedpotentialbarriers AT zoirovalh modificationofbarrierstructureonthebasisofpalgainasngaasbyconsecutivelyconnectedpotentialbarriers AT abdulhaevoa modificationofbarrierstructureonthebasisofpalgainasngaasbyconsecutivelyconnectedpotentialbarriers AT džuraevdr modificationofbarrierstructureonthebasisofpalgainasngaasbyconsecutivelyconnectedpotentialbarriers |