Метод считывания и обработки стационарных интерференционных картин

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Ильин, В.Н., Дубешко, А.В., Михаевич, Д.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Метрология. Стандартизация
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52100
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Метод считывания и обработки стационарных интерференционных картин / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 4. — С. 59-62. — Бібліогр.: 1 назв. — рос.

Разработан оптоэлектронный метод считывания и определения дробной доли полосы стационарных интерференционных картин, формируемых в модернизированном двухлучевом интерферометре Кестерса при поверке концевых мер длины. Оптоелектронна система зчитування дозволяє отримувати і обробляти зображення інтерференційної картини в інтерферометрі Кестерса в режимі реального часу і має достатню розрізнювальну здатність. Середнє квадратичне відхилення результату вимірювань складає 0,001 мкм. Загальний час, що витрачається на вимірювання і обробку результатів, скоротився з двох годин до 30 хвилин. Optoelectronic reading system allows to obtain and process the interference pattern image in the Kosters interferometer in the real-time mode and has sufficient resolution. Rms deviation of measuring result is 0,001 mm. Total time spent on measuring and analysing the results, was reduced from two hours to 30 minutes.