Акустойонні та акустоелектронні технології
Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління. В...
Gespeichert in:
| Datum: | 2007 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/523 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Акустоіонні та акустоелектронні технології / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісн. НАН України. — 2007. — N 5. — С. 3-8. — Бібліогр.: 11 назв. — укp. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-523 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. 2008-04-23T14:26:36Z 2008-04-23T14:26:36Z 2007 Акустоіонні та акустоелектронні технології / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісн. НАН України. — 2007. — N 5. — С. 3-8. — Бібліогр.: 11 назв. — укp. 0372-6436 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/523 The new approach to problem solution of semi-conductor material control within the frame of silicon technology of KMON-devices manufacturing is presented as well as to active acoustic-electron devices characteristic control problem and creation of new generation gauges based on these devices. The approach is to use ultrasonic treatment of semi-conduct plates during implantation (acousticion technologies) and to investigate physical phenomena that occur during acoustic waves spread in anisotropic piezoelectrics (acoustic-electron technologies). Ef fectiveness and universality of acoustic-ion and acousticelectron methods which priorities are proved by patents for invention can play an important role for instrument-making industry, information technologies, machine building, as well as become the basis of such advance scientific and engineering trends as thin film technology, nanoelectronics, functional microelectronics, optoelectronics. Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління. Він полягає у використанні ультразвукової обробки напівпровідникових пластин під час імплантації (акустоіонні технології) та вивченні фізичних явищ, які виникають у процесі поширення акустичних хвиль в анізотропних п'єзоелектриках (акустоелектронні технології). Ефективність та універсальність акустоіонних і акустоелектронних методів, пріоритети яких підтверджені патентами на винахід, можуть мати суттєве значення для розвитку приладо-інформаційних технологій і машинобудування, а також можуть бути базовими для ряду таких перспективних науково-технічних напрямів, як технологія тонких плівок, наноелектроніка, функціональна мікроелектроніка, оптоелектроніка. uk Видавничий дім "Академперіодика" НАН України №5 С. 3-8 Статті та огляди Акустойонні та акустоелектронні технології Acoustic-Ion and Acoustic-Electron Technologies Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Акустойонні та акустоелектронні технології |
| spellingShingle |
Акустойонні та акустоелектронні технології Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. Статті та огляди |
| title_short |
Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_full |
Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_fullStr |
Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_full_unstemmed |
Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_sort |
акустойонні та акустоелектронні технології |
| author |
Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. |
| author_facet |
Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. |
| topic |
Статті та огляди |
| topic_facet |
Статті та огляди |
| publishDate |
2007 |
| language |
Ukrainian |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Acoustic-Ion and Acoustic-Electron Technologies |
| description |
Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління. Він полягає у використанні ультразвукової обробки напівпровідникових пластин під час імплантації (акустоіонні технології) та вивченні фізичних явищ, які виникають у процесі поширення акустичних хвиль в анізотропних п'єзоелектриках (акустоелектронні технології). Ефективність та універсальність акустоіонних і акустоелектронних методів, пріоритети яких підтверджені патентами на винахід, можуть мати суттєве значення для розвитку приладо-інформаційних технологій і машинобудування, а також можуть бути базовими для ряду таких перспективних науково-технічних напрямів, як технологія тонких плівок, наноелектроніка, функціональна мікроелектроніка, оптоелектроніка.
|
| issn |
0372-6436 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/523 |
| citation_txt |
Акустоіонні та акустоелектронні технології / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісн. НАН України. — 2007. — N 5. — С. 3-8. — Бібліогр.: 11 назв. — укp. |
| work_keys_str_mv |
AT mačulínvf akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT lepíhâí akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT olíhâm akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT romanûkbm akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT mačulínvf acousticionandacousticelectrontechnologies AT lepíhâí acousticionandacousticelectrontechnologies AT olíhâm acousticionandacousticelectrontechnologies AT romanûkbm acousticionandacousticelectrontechnologies |
| first_indexed |
2025-12-07T21:12:44Z |
| last_indexed |
2025-12-07T21:12:44Z |
| _version_ |
1850885501082402816 |