Акустойонні та акустоелектронні технології
Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління. В...
Saved in:
| Date: | 2007 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/523 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Акустоіонні та акустоелектронні технології / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісн. НАН України. — 2007. — N 5. — С. 3-8. — Бібліогр.: 11 назв. — укp. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862751718158106624 |
|---|---|
| author | Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. |
| author_facet | Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. |
| citation_txt | Акустоіонні та акустоелектронні технології / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісн. НАН України. — 2007. — N 5. — С. 3-8. — Бібліогр.: 11 назв. — укp. |
| collection | DSpace DC |
| description | Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління. Він полягає у використанні ультразвукової обробки напівпровідникових пластин під час імплантації (акустоіонні технології) та вивченні фізичних явищ, які виникають у процесі поширення акустичних хвиль в анізотропних п'єзоелектриках (акустоелектронні технології). Ефективність та універсальність акустоіонних і акустоелектронних методів, пріоритети яких підтверджені патентами на винахід, можуть мати суттєве значення для розвитку приладо-інформаційних технологій і машинобудування, а також можуть бути базовими для ряду таких перспективних науково-технічних напрямів, як технологія тонких плівок, наноелектроніка, функціональна мікроелектроніка, оптоелектроніка.
|
| first_indexed | 2025-12-07T21:12:44Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-523 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0372-6436 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T21:12:44Z |
| publishDate | 2007 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. 2008-04-23T14:26:36Z 2008-04-23T14:26:36Z 2007 Акустоіонні та акустоелектронні технології / В. Мачулін, Я. Лепіх, Я. Оліх, Б. Романюк // Вісн. НАН України. — 2007. — N 5. — С. 3-8. — Бібліогр.: 11 назв. — укp. 0372-6436 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/523 The new approach to problem solution of semi-conductor material control within the frame of silicon technology of KMON-devices manufacturing is presented as well as
 to active acoustic-electron devices characteristic control problem and creation of new generation gauges based on
 these devices. The approach is to use ultrasonic treatment of semi-conduct plates during implantation (acousticion
 technologies) and to investigate physical phenomena that occur during acoustic waves spread in anisotropic piezoelectrics (acoustic-electron technologies). Ef fectiveness and universality of acoustic-ion and acousticelectron methods which priorities are proved by patents
 for invention can play an important role for
 instrument-making industry, information technologies, machine building, as well as become the basis of such advance scientific and engineering trends as thin film
 technology, nanoelectronics, functional microelectronics, optoelectronics. Представлено новий підхід до розв'язання проблеми керування параметрами напівпровідникових матеріалів у межах кремнієвої технології виготовлення КМОН-приладів, а також проблеми управління характеристиками активних акустоелектронних пристроїв і створення на їх основі датчиків нового покоління. Він полягає у використанні ультразвукової обробки напівпровідникових пластин під час імплантації (акустоіонні технології) та вивченні фізичних явищ, які виникають у процесі поширення акустичних хвиль в анізотропних п'єзоелектриках (акустоелектронні технології). Ефективність та універсальність акустоіонних і акустоелектронних методів, пріоритети яких підтверджені патентами на винахід, можуть мати суттєве значення для розвитку приладо-інформаційних технологій і машинобудування, а також можуть бути базовими для ряду таких перспективних науково-технічних напрямів, як технологія тонких плівок, наноелектроніка, функціональна мікроелектроніка, оптоелектроніка. uk Видавничий дім "Академперіодика" НАН України №5 С. 3-8 Статті та огляди Акустойонні та акустоелектронні технології Acoustic-Ion and Acoustic-Electron Technologies Article published earlier |
| spellingShingle | Акустойонні та акустоелектронні технології Мачулін, В.Ф. Лепіх, Я.І. Оліх, Я.М. Романюк, Б.М. Статті та огляди |
| title | Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_alt | Acoustic-Ion and Acoustic-Electron Technologies |
| title_full | Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_fullStr | Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_full_unstemmed | Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_short | Акустойонні та акустоелектронні технології |
| title_sort | акустойонні та акустоелектронні технології |
| topic | Статті та огляди |
| topic_facet | Статті та огляди |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/523 |
| work_keys_str_mv | AT mačulínvf akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT lepíhâí akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT olíhâm akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT romanûkbm akustoionnítaakustoelektronnítehnologíí AT mačulínvf acousticionandacousticelectrontechnologies AT lepíhâí acousticionandacousticelectrontechnologies AT olíhâm acousticionandacousticelectrontechnologies AT romanûkbm acousticionandacousticelectrontechnologies |