Оптимизация конструкции мембранных датчиков

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Рубцевич, И.И., Высоцкий, В.Б., Ковальчук, Н.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Сенсоэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52307
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Оптимизация конструкции мембранных датчиков / И.И. Рубцевич, В.Б. Высоцкий, Н.С. Ковальчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 16-19. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Предложена оптимизированная конструкция газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением за счет использования многослойной мембраны. Розглянуто можливість зменшення потужності, що споживається датчиком концентрації газу за рахунок введення щілин в структуру багатошарової мембрани. Длязбільшення ефективної площі контакту платини з підшаром пористого алюмінію запропоновано проводити розтравлення вершин пір в концентрованій ортофосфорній кислоті.· The possibility of reducing the power consumed by the gas concentration sensor through the introduction of cracks in the structure of multi-layered membrane has been considered. The conduction of etching of the peaks of pores in concentrated ortophosphoric acid for increasing of the effected area of contact of platinum with sub layer of porous aluminum has been suggested.