Оптимизация конструкции мембранных датчиков

Предложена оптимизированная конструкция газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением за счет использования многослойной мембраны. Розглянуто можливість зменшення потужності, що споживається датчиком концентрації газу за рахунок введення щілин в структуру багатошарової мембрани. Длязбільшенн...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2009
Main Authors: Рубцевич, И.И., Высоцкий, В.Б., Ковальчук, Н.С.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52307
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Оптимизация конструкции мембранных датчиков / И.И. Рубцевич, В.Б. Высоцкий, Н.С. Ковальчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 16-19. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine