Оптимизация конструкции мембранных датчиков
Предложена оптимизированная конструкция газового анализатора с уменьшенным энергопотреблением за счет использования многослойной мембраны. Розглянуто можливість зменшення потужності, що споживається датчиком концентрації газу за рахунок введення щілин в структуру багатошарової мембрани. Длязбільшенн...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | Рубцевич, И.И., Высоцкий, В.Б., Ковальчук, Н.С. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52307 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Оптимизация конструкции мембранных датчиков / И.И. Рубцевич, В.Б. Высоцкий, Н.С. Ковальчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 16-19. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Оптимизация конструкции мембранных датчиков
by: Rubcevich, I. I., et al.
Published: (2009)
by: Rubcevich, I. I., et al.
Published: (2009)
Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
by: Шарапов, В.М., et al.
Published: (2005)
by: Шарапов, В.М., et al.
Published: (2005)
Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
by: Стемпицкий, В.Р., et al.
Published: (2017)
by: Стемпицкий, В.Р., et al.
Published: (2017)
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2015)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2015)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2010)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2010)
Датчик скорости газового потока
by: Годованюк, В.Н., et al.
Published: (2011)
by: Годованюк, В.Н., et al.
Published: (2011)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2012)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2012)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2008)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2008)
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2007)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2007)
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2013)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2013)
Устройства измерения температуры на основе пленочных термоэлектрических сенсоров
by: Капитанов, Н.В., et al.
Published: (2004)
by: Капитанов, Н.В., et al.
Published: (2004)
Датчики Холла на основе структур GaAs, полученных низкотемпературной ЖФЭ из расплавов Bi
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2002)
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2002)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2013)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2013)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2011)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2011)
Методика проектирования элементов прецизионного датчика давления с пневмомеханическим резонатором
by: Черняк, Н.Г., et al.
Published: (2002)
by: Черняк, Н.Г., et al.
Published: (2002)
Нанокристаллы Si1–xGex в роли чувствительных элементов сенсора магнитного поля и температуры
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2012)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2012)
Использование позитронной аннигиляционной спектроскопии для контроля процессов влагопоглощения в нанопористой керамике MgAl₂O₄
by: Клым, Г.И., et al.
Published: (2006)
by: Клым, Г.И., et al.
Published: (2006)
Преобразователь давления с частотным выходом на основе однопереходных тензотранзисторов
by: Бабичев, Г.Г., et al.
Published: (2004)
by: Бабичев, Г.Г., et al.
Published: (2004)
Исследование функций преобразования и чувствительности радиоизмерительного преобразователя давления
by: Осадчук, В.С., et al.
Published: (2004)
by: Осадчук, В.С., et al.
Published: (2004)
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений А³В⁵ в датчиках давления
by: Марончук, И.Е., et al.
Published: (2002)
by: Марончук, И.Е., et al.
Published: (2002)
Поверхностно-барьерные структуры для ультрафиолетовых сенсоров пламени
by: Бобренко, Ю.Н., et al.
Published: (2007)
by: Бобренко, Ю.Н., et al.
Published: (2007)
Многофункциональный сенсор с цифровой индикацией
by: Викулин, И.М., et al.
Published: (2003)
by: Викулин, И.М., et al.
Published: (2003)
Получение арсенид-галлиевых структур силовых биполярных и полевых транзисторов методом газофазной эпитаксии
by: Воронин, В.А., et al.
Published: (2010)
by: Воронин, В.А., et al.
Published: (2010)
Вихретоковый анизотропный термоэлектрический первичный преобразователь лучистого потока
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2010)
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2010)
Датчик угла поворота генераторного типа с элементом на поверхностных акустических волнах
by: Лепих, Я.И.
Published: (2009)
by: Лепих, Я.И.
Published: (2009)
Акустоэлектронные сенсоры газа со слоистыми структурами
by: Лепих, Я.И.
Published: (2005)
by: Лепих, Я.И.
Published: (2005)
Детекторные свойства Cd₀,₉Zn₀,₁Te:Al под влиянием гамма-облучения малой дозы
by: Кондрик, А.И.
Published: (2016)
by: Кондрик, А.И.
Published: (2016)
Электротепловой элемент сенсоров газа
by: Лепих, Я.И.
Published: (2002)
by: Лепих, Я.И.
Published: (2002)
Эффективность сбора зарядов в датчиках γ-излучения с различной конфигурацией электродов
by: Кондрик, А.И.
Published: (2012)
by: Кондрик, А.И.
Published: (2012)
Моделирование отклика CdZnTe- и TlBr-детекторов для регистрации смешанного бета- и гамма-излучения
by: Скрыпник, А.И.
Published: (2015)
by: Скрыпник, А.И.
Published: (2015)
Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
by: Лепих, Я.И.
Published: (2004)
by: Лепих, Я.И.
Published: (2004)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2016)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2016)
Трехпараметрический генераторный датчик
by: Филинюк, Н.А., et al.
Published: (2014)
by: Филинюк, Н.А., et al.
Published: (2014)
Распределения температуры анизотропной пластины с учетом ее оптических свойств
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2003)
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2003)
Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности
by: Лепих, Я.И., et al.
Published: (2001)
by: Лепих, Я.И., et al.
Published: (2001)
Моделирование энергетической зависимости чувствительности CdTe (CdZnTe) детекторов гамма-излучения
by: Захарченко, А.А., et al.
Published: (2007)
by: Захарченко, А.А., et al.
Published: (2007)
Исследование характеристик щелевого теплообменника с развитой поверхностью теплообмена
by: Малкин, Э.С., et al.
Published: (2010)
by: Малкин, Э.С., et al.
Published: (2010)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2011)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2011)
Микроволновая обработка диэлектрических материалов в нерезонансных системах
by: Демьянчук, Б.А.
Published: (2010)
by: Демьянчук, Б.А.
Published: (2010)
Создание переключающих элементов с памятью на основе кристаллов CdTe
by: Байдуллаева, А., et al.
Published: (2001)
by: Байдуллаева, А., et al.
Published: (2001)
Similar Items
-
Оптимизация конструкции мембранных датчиков
by: Rubcevich, I. I., et al.
Published: (2009) -
Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
by: Шарапов, В.М., et al.
Published: (2005) -
Исследование электрических и магнитных характеристик высокотемпературных датчиков Холла на основе гетеро-структуры AlGaN/GaN
by: Стемпицкий, В.Р., et al.
Published: (2017) -
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2015) -
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2010)