Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Дружинин, А.А., Голота, В.И., Когут, И.Т., Ховерко, Ю.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52308
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, Ю.Н. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 20-25. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Разработаны приборные элементы на локальных трехмерных КНИ-структурах. Сравниваются расчетные и экспериментальные характеристики КНИ МОП-транзисторов. Спроектирована топология микрокатода, интегрированного со схемой управления. Показано приклади приладних елементів для мікросистемних застосувань, як...