Cover Image

Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора

Исследована погрешность сопротивления тонкопленочного резистора, вызванная исключением контактных площадок перекрытия резистивного и проводящего слоев. Розглянуто конструкцію тонкоплівкового резистора без контактних площадок перекриття резистивного елементу і провідника. Досліджена залежність похибк...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2009
Main Author:	Спирин В.Г.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Subjects:	Технологические процессы и оборудование
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52314
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 42-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора
by: Spirin, V. G.
Published: (2009)

Метод расчета сопротивления электродов тонкопленочного резистора
by: Спирин, В.Г.
Published: (2009)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
by: Спирин, В.Г.
Published: (2008)

Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм
by: Спирин, В.Г.
Published: (2004)

Монтаж микросборок с подложкой из кремния
by: Спирин, В.Г.
Published: (2005)

Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния
by: Спирин, В.Г.
Published: (2005)

Метод оценки качества тонкопленочной платы
by: Спирин, В.Г.
Published: (2012)

Устройства для контроля качества сварных соединений выводов бескорпусных микросхем
by: Спирин, В.Г.
Published: (2013)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2011)

Сопротивление контактов тонкопленочного резистора
by: Spirin, V. G.
Published: (2008)

Исследование линейной корреляционной связи в парных выборках малого объема
by: Попукайло, В.С.
Published: (2016)

Исследование качества пайки кристаллов мощных транзисторов релаксационным импеданс-спектрометром
by: Турцевич, А.С., et al.
Published: (2012)

Аналитические электронные весы с цифроаналоговым каналом компенсации
by: Липинский, А.Ю., et al.
Published: (2005)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)

Установка для регенерации сорбентов в электромагнитном поле
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)

Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
by: Одиноков, В.В., et al.
Published: (2011)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
by: Костин, Е.Г., et al.
Published: (2008)

Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
by: Рогов, Р.В., et al.
Published: (2005)

Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
by: Крапивко, Г.И.
Published: (2005)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
by: Борисенко, А.Г.
Published: (2013)

Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)

Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
by: Крылов, В.Н., et al.
Published: (2007)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
by: Голишников, А.А., et al.
Published: (2014)

Повышение помехоустойчивости бинаризации изображений фотошаблонов в пространстве вейвлет-преобразования
by: Щербакова, Г.Ю., et al.
Published: (2011)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
by: Болтовец, Н.С., et al.
Published: (2009)

Получение высокочистых гранулированных металлов: кадмия, цинка, свинца
by: Щербань, А.П., et al.
Published: (2017)

Повышение адгезионной прочности никелевых контактов ветвей термоэлектрических модулей
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2006)

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
by: Борисенко, А.Г., et al.
Published: (2005)

Технология создания легированных бором слоев на алмазе
by: Зяблюк, К.Н., et al.
Published: (2012)

Особенности изготовления Cd1-xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
by: Томашик, З.Ф., et al.
Published: (2013)

Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А⁴В⁶
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007)

Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
by: Баранов, В.В.
Published: (2005)

Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
by: Андронова, Е.В., et al.
Published: (2008)

Приборное обеспечение измерения параметров ультразвуковых воздействий в технологических процессах
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2008)

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2010)

Выбор микропривода механизма зажима и подачи проволоки в установках термозвуковой микросварки
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2010)

Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2009)