Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности

• Опубліковано в: : Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Дата: 2009
• Автори: Коваленко, К.Л., Шаран, Н.Н., Севастьянов, В.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Теми: Материалы электроники
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52316
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности / К.Л. Коваленко, Н.Н. Шаран, В.В. Севастьянов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 49-50. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Получена наноструктурированная композитная пленка для применения в качестве чувствительного элемента интегральных сенсоров влажности с повышенной чувствительностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками. Отримано наноструктуровану композитну плівку, яка дозволяє створювати інтегральні сенсори вологості з високою чутливістю, зі стабільними в часі характеристиками, з лінійною залежністю ємності від відносної вологості практично у всьому діапазоні змін останньої (від 3 до 100%), які зберігають працездатність при низьких температурах до -35°С.· Received nanostructure of the composite film allows to create integrated sensor controls of humidity with high sensitivity, stable in time, with linear dependence of capacity from relative humidity practically in all range of its change (3 to 100%) and keeping working capacity at low temperatures up to -35°C.