Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Коваленко, К.Л., Шаран, Н.Н., Севастьянов, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52316
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности / К.Л. Коваленко, Н.Н. Шаран, В.В. Севастьянов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 49-50. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Получена наноструктурированная композитная пленка для применения в качестве чувствительного элемента интегральных сенсоров влажности с повышенной чувствительностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками. Отримано наноструктуровану композитну плівку, яка дозволяє створювати інтегральні сенсори вологості з високою чутливістю, зі стабільними в часі характеристиками, з лінійною залежністю ємності від відносної вологості практично у всьому діапазоні змін останньої (від 3 до 100%), які зберігають працездатність при низьких температурах до -35°С.· Received nanostructure of the composite film allows to create integrated sensor controls of humidity with high sensitivity, stable in time, with linear dependence of capacity from relative humidity practically in all range of its change (3 to 100%) and keeping working capacity at low temperatures up to -35°C.