Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности
Получена наноструктурированная композитная пленка для применения в качестве чувствительного элемента интегральных сенсоров влажности с повышенной чувствительностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками. Отримано наноструктуровану композитну плівку, яка дозволяє створювати інтегральні сенс...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52316 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности / К.Л. Коваленко, Н.Н. Шаран, В.В. Севастьянов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 49-50. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |