Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2009
• Main Authors: Коваленко, К.Л., Шаран, Н.Н., Севастьянов, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52316
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности / К.Л. Коваленко, Н.Н. Шаран, В.В. Севастьянов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 49-50. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Получена наноструктурированная композитная пленка для применения в качестве чувствительного элемента интегральных сенсоров влажности с повышенной чувствительностью и улучшенными эксплуатационными характеристиками. Отримано наноструктуровану композитну плівку, яка дозволяє створювати інтегральні сенс...