Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы

Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2009
Hauptverfasser: Дудин, С.В., Рафальский, Д.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52330
record_format dspace
spelling Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
2013-12-29T22:19:03Z
2013-12-29T22:19:03Z
2009
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи
Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
spellingShingle Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
Технологические процессы и оборудование
title_short Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_full Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_fullStr Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_full_unstemmed Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_sort закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
author Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
author_facet Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
publishDate 2009
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи
Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
description Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
citation_txt Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT dudinsv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy
AT rafalʹskiidv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy
AT dudinsv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi
AT rafalʹskiidv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi
AT dudinsv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem
AT rafalʹskiidv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem
first_indexed 2025-12-07T17:07:23Z
last_indexed 2025-12-07T17:07:23Z
_version_ 1850870064159391744