Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы

Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2009
Main Authors: Дудин, С.В., Рафальский, Д.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862707907574890496
author Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
author_facet Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
citation_txt Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
first_indexed 2025-12-07T17:07:23Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52330
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:07:23Z
publishDate 2009
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
2013-12-29T22:19:03Z
2013-12-29T22:19:03Z
2009
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи
Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
Article
published earlier
spellingShingle Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В.
Технологические процессы и оборудование
title Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_alt Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи
Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system
title_full Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_fullStr Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_full_unstemmed Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_short Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
title_sort закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330
work_keys_str_mv AT dudinsv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy
AT rafalʹskiidv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy
AT dudinsv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi
AT rafalʹskiidv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi
AT dudinsv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem
AT rafalʹskiidv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem