Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862707907574890496 |
|---|---|
| author | Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. |
| author_facet | Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. |
| citation_txt | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:07:23Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52330 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:07:23Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. 2013-12-29T22:19:03Z 2013-12-29T22:19:03Z 2009 Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330 Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system Article published earlier |
| spellingShingle | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_alt | Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system |
| title_full | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_fullStr | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_full_unstemmed | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_short | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_sort | закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330 |
| work_keys_str_mv | AT dudinsv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy AT rafalʹskiidv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy AT dudinsv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi AT rafalʹskiidv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi AT dudinsv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem AT rafalʹskiidv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem |