Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52330 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. 2013-12-29T22:19:03Z 2013-12-29T22:19:03Z 2009 Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330 Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| spellingShingle |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_full |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_fullStr |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_full_unstemmed |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| title_sort |
закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы |
| author |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. |
| author_facet |
Дудин, С.В. Рафальский, Д.В. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Закономірності формування пучка іонів низької енергії за допомогою односітчастої іонно-оптичної системи Principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system |
| description |
Обнаружено два режима извлечения ионов: пучковый и плазменный, переход между которыми происходит при некотором критическом потенциале плазмы в источнике.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52330 |
| citation_txt |
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 42-45. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT dudinsv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy AT rafalʹskiidv zakonomernostiformirovaniâpučkaionovnizkoiénergiipripomoŝiodnosetočnoiionnooptičeskoisistemy AT dudinsv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi AT rafalʹskiidv zakonomírnostíformuvannâpučkaíonívnizʹkoíenergíízadopomogoûodnosítčastoííonnooptičnoísistemi AT dudinsv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem AT rafalʹskiidv principlesoflowenergyionbeamformationinsinglegridionopticalsystem |
| first_indexed |
2025-12-07T17:07:23Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:07:23Z |
| _version_ |
1850870064159391744 |