Федорович, О., Кругленко, М., & Полозов, Б. (2009). Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationФедорович, О.А, М.П Кругленко, and Б.П Полозов. "Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2009.
MLA (8th ed.) CitationФедорович, О.А, et al. "Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.