Наливайко, О., & Турцевич, А. (2009). Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationНаливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. "Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2009.
MLA (8th ed.) CitationНаливайко, О.Ю, and А.С Турцевич. "Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.