Наливайко, О., & Турцевич, А. (2009). Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Наливайко, О.Ю, und А.С Турцевич. "Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2009.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Наливайко, О.Ю, und А.С Турцевич. "Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.