Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52332 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Наливайко, О.Ю. Турцевич, А.С. 2013-12-29T22:28:06Z 2013-12-29T22:28:06Z 2009 Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332 Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста Адсорбційно-кінетична модель осаджування плівок полікристалічного кремнію, легованих фосфором в процесі зростання The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped film polysilicon deposition process Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста |
| spellingShingle |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста Наливайко, О.Ю. Турцевич, А.С. Материалы электроники |
| title_short |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста |
| title_full |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста |
| title_fullStr |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста |
| title_full_unstemmed |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста |
| title_sort |
адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста |
| author |
Наливайко, О.Ю. Турцевич, А.С. |
| author_facet |
Наливайко, О.Ю. Турцевич, А.С. |
| topic |
Материалы электроники |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Адсорбційно-кінетична модель осаджування плівок полікристалічного кремнію, легованих фосфором в процесі зростання The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped film polysilicon deposition process Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| description |
Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332 |
| citation_txt |
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT nalivaikooû adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserosta AT turcevičas adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserosta AT nalivaikooû adsorbcíinokínetičnamodelʹosadžuvannâplívokpolíkristalíčnogokremníûlegovanihfosforomvprocesízrostannâ AT turcevičas adsorbcíinokínetičnamodelʹosadžuvannâplívokpolíkristalíčnogokremníûlegovanihfosforomvprocesízrostannâ AT nalivaikooû theadsorptivekineticmodelofinsituphosphorusdopedfilmpolysilicondepositionprocess AT turcevičas theadsorptivekineticmodelofinsituphosphorusdopedfilmpolysilicondepositionprocess AT nalivaikooû adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserostaoûnalivaikoasturcevičtehnologiâikonstruirovanievélektronnoiapparature20096s5055bíblíogr7nazvros AT turcevičas adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserostaoûnalivaikoasturcevičtehnologiâikonstruirovanievélektronnoiapparature20096s5055bíblíogr7nazvros |
| first_indexed |
2025-11-25T21:05:32Z |
| last_indexed |
2025-11-25T21:05:32Z |
| _version_ |
1850548237326352384 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
��
�
���
������
�
��������
�� �!
����
�
"������
��������������� ��
��
#$%&
�'
(
)
*�+���,���
�
-���.
��������� ��
������������������������ �
/����0����
1������2�
�
3�����
4&"
5$�
�����6
789:;<=
:>?@>ABC;DEF;G>BH@:< IJ
K�L"/1M$"44"8-$4)�$N)L-KO
3"�)*P
"LKQ�)4$O
&*)4"-
&"*$-/$L�K**$N)L-"R"
-/)34$O�
*)R$/"(K44ST
%"L%"/"3
(
&/"M)LL)
/"L�K
����������� !��"�#� ��$���#�%&� " �
�� '��$(�� � � )�*+,-./+0� $�������
���1�%� "�2���$3�� !�"��4$)�56$&
��$�����15� "� � "�#� $� �� � �� "�#
"�2���$3�� )%" �$(� 1� )��#� ��7$� )��
�$3�$�� �� ��� ��8�� ����$��� � � 7$�
4�"� 7 � ���#�����������$�9
�:�
&�����
��������
����U������
���'��
#��.�
��8
��U��'V�
���
����W����'
���������
+�����
�����28
X��
�
�
���������
�X��
������
��
���V�
�
���8
����V�
���'��
��
��
�����2�V�
'�������'
YZ[\]
1��2+��
��
����
�VXV���
�������
���W����
���8
���
��������
����U������
���'��
�
�������'��8
�V'
���
�����������'
Y�[!]
"������
���'�
�
��
0��2+��
����U��
��
��0�������
�
��������
���W��8
��
�
�����
���
������
&-�
����������V�
�
������8
��
���
�
̂ ��^���'
#����.�
�������
�
����
���
��
���W����
���
����W����'
��������
�� �
�
��8
���
�
�U��
����V'�
&���U���V�
�
� ��
��0�
���8
��
�U�����
�V��W���
��
������
��������W����
�
��
���������
�
�������
�
�����0���
*���'���
��
��8
X��� �
����U��
�����
�����
2
X�����'��
�
�����8
�
�
���W����
&-*%
�
�������2�V�
��������
'�8
��������
�
^��^���
Y��
Z�]
L
������
�
����V�
���
����X���
�
YZZ]�
'����2
*���'���
����������
��
�������
�����0���
0��2+���
��
��X��
��
����2���
���������
�
�������
���
4��
� _�
��0�
�
���� _���
������������
��8
��
���
���������
���W����
������������V�
������
&-
�
������
&-�
����������V�
�
��������
���
�
̂ ��8
^���'�
�
����X��
��2��'
����
���
����W������
���8
����
�
��� U�'�
�
����'�
(
��U��
��
�����W��
�����2X������2
���'����V�
����
��V
���'�
��'
Z��
''
�
�����
�����
#Z��.
�
����2�V'
�����
�������'
Z�
"'`�'�
����������V�
0���'�
��
��
��V�
��������
��2��
�V��_�����
��8
'�U�����
������
���'��
��_����
\���a���
�'
(
��U��
��
������
��
�����2X������2
������
��
'���8
������
�
��X���
�'��2
^��^���
�
������'
����
8
�������
������
U��
�
V
��'����
���
���W����
�X8
'�� ���2
�
���
��
���bL
��'����
���V�
���^��2
������W�����
�
�U���
2�
aZbL
/�0�U��
��������
*Σ
�X'�� ���2
�
�����X���
cc���[\���
&�
&��
���W8
�����
&-
0�X
����������
�������2���
��������
'�8
��������
#*
d;e\
.
�X'�� ���2
��
�'
��0������
�
��8
X����
�'��2
�X�
�
&��
���W�����
������
&-�
����8
���'V�
�
��������
���
�
^��^���'�
���
��+����
��
����
fe
c
gd;e
\
#γ.
�X'�� ���2
�
����Z
��
���Z�
��
�'
�X'�����
��
���
�'���
^��^���
�
������'
��
���V+���
����������
�
��_��V
�
����2����
�����
������
������
&-*%
�����2X������2
����8
���V�
�����
V
�������2���
����
������
h����X��8
�V���X��
�����W��
[
0�����
��
��
�
�����2X���8
���'
�������
�X
���0���
���'��
���_���
���W8
����V�
������
������� ���2
���
��'�_�
����
��8
^�
�'�
��
ifj8df
5kB;>l6
��
�������
����
���
���
�
������������V�
������
&-�
����U���V�
������X�'
������
�������8
����
'����������
���0����
�����
�������
�����08
������8����
�U����
'����2�
������W����
�
YZ��
Zc]�
��
���
0�X����
�
��
������_��
����_��� �=
[
��'�U����
������
���W����
&-
�� �
�
��
���������
��������
Z8��
��� ���m
[
�������
�
��X����
^�X�
��
����'�
�����
� �
�
��
���2
�
�����2X��'V�
����
�U����
�����X�8
���
�������
�
�'����
��V
��U
�W��
'���m
[
���
����������
�
���������
2�
'�������
'�8
W�
���X�
2�
�
���0��� X����'
#�����W��'.
����8
���0������'
���
� ����
�
��
���'
���
��^^����8
�������� �
����
��
�
�����
�
�����
�
�����
�����
�����
�����
�����
�
�����
��
� ���������
��
��
��
���
�������
�����
����������
�
�� �
�� �
�� �
��
��
���
�� ���
���
��
�
���!�
�����������
�
�
���!�
������"
����
��
�
��
#���
�
��
#�
���#������
��
���������
�
���!�
��
�
���
����
��
������
/��
Z
1���8���'�
��'�U������
���W����
������
&-
�X
��X����
^�XV
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�Z
���������
������
���
���
��
��
����
����
��
��'����0����
�
���
��
��8
���0����
�
1���8���'�
��'�U������
���W����
�X
��X����
^�XV
������
��������
����U������
���'��
����8
�
������
��
���� �
Yc�
�
\]�
�
X�����'��
�
������
�
���W����
������������V�
������
&-
�
�������28
����
�������
'���������
[
��
���� �
h���2
������
U
�
������
2
���W����
'���
����
��X���
��
�
���8
��U����'
�'����
��V
�
*
d;e\
��
��
���������
�������
Z8��
��� ���
������
2
���
�
������
'�W�
0V
2
�V��W���
���
;n<θ=
�
�
#Z.
L
����2
X��������
�����0�����V�
���
���
'�8
��������'
������� �
�
�V��W����'
θnατ.g=
�
m
#�.
���
α n�*Σg#�π>?@.Zg�nγ*Σ�
#c.
&�����'������
���������
#Z.
��
��U��2���
��8
��
���
2
���������
.
�
�
�U�
V��
^��'��V
#�.
�
#c.�
����U�'
;nβ*.g.
�
�
#\.
���
βn<γτ.
�
[
����
��
��
��
���
��
X�����
�
���8
����
'����������
�
.
X�����
�
�
�����
X��������
���������
��
������� �'��
��������'�
�����0���8
�����0���
'������
'���������
�
���������
�� �8
_����
������
�'
��'�U�����
�������
&��
'��V�
θ
����
���
2
���������
��
X�����
�
θ�
�
���
���
�
�U��
0��2+��
θ
���
��X��
�'��2+�8
�
�
�
�
�����
�
0������U��
'����
�0��X�
���V_�8
��
���������
�
3������
��������V�
��
�����
��8
���� �
*���'����
��
��X��� �
�0o ���
2
����0�V�
X�����'��
�
(
YZZ�
�
cZc[c��]
������W���
'����2
�����0����
�U�
V���_�
���������
���
��^^�X��
�
�X��'�����
���
�����0�������V�
'������
����
'����2
��X��� �
��U��
�����
�
����U��
�����
���8
��
2
�������'��
��2�V�
X�����'��
�
����
���
�
���������
�
���^^�����
�
X��������
��
��������
�����
�����0���
�
��X'�W���
��8
���0����
^���'��
��
'������
0�X
�U�
�
�X��'����8
�
��
5�����0�
[
�����0�
6
YZZ]
X�����'��
2
.#θ.
'�W�
0V
2
�����
������
�V��W����'
( )
1
0 1 2
1
/ 1 1 ,
1
S S K
−
= + −
− θ
#�.
&��
'��V�
������� �
θppZ�
.g.
�
nZ�
���
�'�
X�8
����'��
2
������
�
���W����
�
�������
�����8
��
&�
�������
����
�������
������V�
�U��
���
X�8
����'��
��
;#*
d;e\
.
#���
�.
0V��
���������V
U��8
����V�
X��U���
β
��
��X��U�V�
�'����
��
���W8
����
�
��
������������V�
������
&-
���
��''��8
��'
��������
cc���
�
\���
&�
#�'
����� �.
&���
��8
�
�
�
X��U���
β
�
���������
#\.�
'�W��
����U�8
�
2
���
��
�
���_��
����U��V
.g.
�
���
<
Z
n
?A
�
?B
[
�
[
?Ag#?Bq?A.nZr.
�
gCm
#�.
����
��
V
������
�
�����0���
�
�����0���
��
��'�8
���0�����V�
���
���m
���^^�����
�����������
;�
�'g'��
Z�
!
\
*Σncc
&�
���bL
�s�
���
�Z�
���bL
�
Z�
��
c�
*
d;e\
/��
�
h�����'��
�
������
�
���W����
�����������8
�V�
������
&-
�
�������2����
�������
'���������
���
��X��U�V�
�'����
����
���W����
#����+�V�
[
�������'��
m
����
��
[
���U�
.
���
<
[
=
�
[
;
[
θ
[
����
��
�
������
�
��
���������
�������m
������
����
�����0�����V�
���
���
��
���������
�m
������
2
���
�
�������
�V��W����
�
����U��
��
�
�8
'��
���'�� �
���W����V�
��
���_��2
Z
�'�
X�
Z
�m
�
����2
X��������
�����0�����V�
���
���
α
[
τ
[
.
[
>
[
?
[
@
[
U����
������
'������
������
�
�
���������
2
�����U���
���_���
�
�������
���'���m
�������
���'
���0V����
'������
'���������
��
��8
�������
�m
����
���
2
5��������� 6
'������V
'���������
�
��8
�������
�m
'����
'������V
'���������m
���
� ���
1��2�'���m
�'����
���
��X�
�
���°$� ����%&� �&� τ�'��&'%&(��� β��&')*�+%&�%&�
��
��Σ,**�)(����
(-'� '�..� &�./� &'�//� '�/-.�
(/(� '�-/� '�0� 1�.&&� &�''/�
(1'� '�00� '�0� 0�1/� &�)(�
-&'� &�(� '�./� /�'&� &�-/�
-)'� &�1� '�-/� -�(/-� &�1..�
-('� .�)1� &�'&� (�'/� *�**�
��
��Σ,.1����
(-'� '�.(� &�(*� &)�)&� '�00(.�
(/(� '�-1� '�0)� &'�.� &�&.-�
(1'� '�1*� '�0� 1�/-� &�.*0�
-&'� &�(0(� '�(.� /�01(� &�1(0�
-)'� )�'-� '�-/� /�./*� )�*1-�
-('� .�**� &�'-� (�/*-� *�0')�
��0����
Z
D��4��$3� � �"������ &�������$8156$&� �� E�""
"�2���$3� ���� ��9
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
L
������
�
����V�
�����'�
����U���
=
�
�
���8
���
���������
���
���
���
�
�
�'��
���'��
#!`Z�Z\
�'r�.�
'�W��
��������
2
����U���
<θ
�
��8
�
���
2
X�����'��
2
.g.
�
nF#<θ.�
�����
�����_��
�X'������
����
���
�
���������
��
'���
���
�
�
�8
����
X��������
���������
�
���W���� �
�
���
^������������
�'����
���
<nDtGA>
�����
X�����8
'��
�
��
��X��U�V�
�'����
��
���W����
���
��'8
'����'
��������
cc���
&�
��������V
��
���� �
h���2
������
U
�
�����U����
�'����
��V
���W����
���8
����
�
�'�_����
����V�
�
�
�����
�����U���
��8
��U��V
<θ
�
0����
�������
̂ ��'�
������ _���
�U�8
�
��
h�����'��
�
.g.
�
nF#<θ.
���
*Σn\���
&�
�'��
�������U�V�
���
&���U���V�
����V�
�����
��2�
���
�
�'�
U
�
���
��X���
�'����
����
�
�����U����'
�������2����
�������
'���������
�
����2
X��������
��������8
�
�
�X'�� �
�
�����2��
0V�
���
���
�
�'
����
8
���
2
���������
0V�
��
�'��2+��
� �
�
�
�����8
U����'
*
d;e\
������
2
���W����
0V�
��
���
����
���V_��� �
U
�
�
��0�����
�
��
����
���
&��
0�8
���
�V�����
�'����
����
�
����2
X��������
������8
���
�
�
�����U����'
�������2����
�������
'���8
������
�X'�� �
�
'���������
���
��
�
�����
'��8
������
�'��2+��
�
����
���
2
���������
�
0����
������
���
����
�
�V���
������
�
���W����
��
���V_����
��
������
'�����X'�
�����0���
���
��X��U�V�
��
����
'���������
�����2X������2
������ ����8
��
X�����'��
2
����
����'���
��2�V�
^�������
������� �'V�
�X
�������'��
��2���
X�����'��
�
;
�
#*
d;e\
.
��
'�
������
������W�����
�
YZ\]=
GnZg;
�
m
#s.
Hn;
�
g#β*r;
�
.
#!.
��
����
�����������V�
X��U����
�'����
��V
�
�������
�
�
X�����'��
�
���
��������V�
�����8
���
�������
��2��
�����0��
[
��������
���� �
�
���
���
���������
����������
'������V
'�8
��������
��
d;e
�
#:�.
�
e
�
�
��W��
�X
��
��V�
X���8
'��
����
�����0�����V�
���
�
h��U���
<
�
<
Z
��
���
��
�
���_��
�'����
��
�
��������
0V��
���������V
'�
���'
���'��2+��
������
��
�
�����2X������'
���������
#Z.�
#\.�
#�.
�
�������'��
��2�V�
X�����'��
��
;
�
#*
d;e\
.
h��U���
τ.
�
����U�
V�����2
���
��'�_�
���������
#c.
�
#\.
$X
�0�
Z
������
U
�
���
�����U����
�'����
��V
���W����
����U��V
<�
β
�
τ.
�
��X���
��
�
�
�
W�
���'
��
����U��V
<
Z
��
0V��
�0����W���
���
�8
'�
�U�����
�X'������
L
�����U����'
�0_���
���8
����
�
����
���
��0�����
�
��X���
����
����U��
<�
β
�
τ.
�
�����
�U�����
X�����'��
�
;
#*
d;e\
.
0V��
��8
�
����V
������_�'
�0��X�'
L�����
2
���W����
����U�
V�����2
��
X������'�
X��U����
θ
�X
����8
����
#Z.�
�
��������
������� ���2
�X
��������
�X�8
��'V
�����0����
����U������
��
�'
�����
����8
��
����V�
U��
��
���������
#Z.
�
#\.
�
�U�
�'
����8
����
#�.=
0
2
0
(2 )
1 .
(1 )
n
P K
S
θ θ − θ= + γτ − θ
#�.
-��
�����
�X
���
��
����U���V�
����
�U�����
����V�
����+�
��������
�
�
�������'��
��2�V'�
����V'�
4���U��
�������_��
��0����
��_��
�����
�X'�8
� �
����
���
���W����
������
��������
����U�8
�����
���'��
L�����
2
���W����
���
��������
/4
c
�
KA4
c
�'��2+��
�
YZ�]
%�����
Y�]
�U�
��
�
U
�
X�8
'�������
�VX����
�����0����
����
��V
��
��
���V�
���
���
���������
�
T�+
'��
YZ�]
�
��'�_2�
'�8
����
L�
�
������
'�����X'
�������
�
X�����'��
2
������
�
���W����
&-*%�
�����2X�
����
���
*��8
�'���rT��+��2����
K�
��V
YZ�]
u
�
3�������
�U�8
��
�
U
�
�������
������
�
���W����
������
����8
����
����U������
���'��
���
�������'����'
���
�����������
^��^���'
���������
������
���
0��8
��������
��
���V�
���
���
%��^��
����+�
�����8
0����
�
���'���'�
�
�
�������
��������
�
̂ ��^�8
.g.
�
��!
��\
�
���
Z
Z��
�
<θ�
�rZ
*Σncc���
&�
���bL �s�
��� �Z� ���
���bL
/��
c
h�����'��
�
.g.
�
�
<θ
���
��X��U�V�
�'����8
����
���W����
;�
�'g'��
��
Z�
�
����
��Z�
��Z�
*
fec
�
&�
*Σn\���
&�
���bL
�s�
���
���
���bL
/��
\
h�����'��
�
������
�
���W����
������
&-*%
�
�������2����
�������
^��^���
���
��X��U�V�
�'8
����
����
���W����
#����+�V�
[
�������'��
m
����
��
[
���U�
.
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�c
���������
������
���
��
�_�
0��2+�
�����U����
�����W����
^��^����
0�������_���
�����0���
'���������
$X
�����
������V�
��
���� �
X�����'��
��
���8
���
U
�
���
�'����
����
���
�
���bL
��0�����
�
��X���
�'��2+����
������
�
���W����
�
�����U�8
���'
�������2����
�������
̂ ��^���
&��
�'����8
����
W�
���[���bL
�
�����U����'
*
fec
������
2
���W����
�'��2+��
�
��
��
���2���
�
���
0��28
+��
X��U��� �
*
fec
���
��+2
��X��U�
��2��
�
��U�8
�
�
�
������
�
���W����
���
�'����
����
���
�
���bL
(��
�
�
�����
��2�
���
�
��������
��'
��8
���
���
�����0���
'���������
�
̂ ��^���
����'�
�
�'�
W�
���
��'�
Y!]
&��
���W�����
&-*%
�
���
�'�
5������
����8
����V�
'��������
[
^��^��6
��������
#Z.[#\.
��
��
�
����������V'�
YZ�]
"�����
����U���
.g.
�
�
�
�'
���U��
0���
X�����
2
�
��''�����
�
�����
X��������
���������
�
θΣ
'�������'�
'���������
�
^��^���
#���
�
�'
�����������
� �
U
�
�
'�����8
���
�
̂ ��^��
�����0����
�
����'�
�
�'�
W�
���8
��'�.=
( )
1
0 1 2
1
/ 1 1 .
1
S S K
−
Σ
= + −
− θ
#Z�.
h��U���
θΣ
�
θ
'�W��
��������
2
��
�������8
'��
��2���
X�����'��
�
;#�
/4c
.
#���
\.�
�����2X�
^��'��V
#Z.[#\.�
#Z�.
�
X��U���
�
Z
�
β
��
��8
�
��
�
���_��
�'����
��V
#�'
�0�
Z.
L
����2
X��������
���������
�
^��^���'
θ
/4c
�����
��X8
���
�
'�W��
θΣ
�
θ
d;e\
����U�V�
X�����'��
�
θΣ�
θ
d;e\
�
θ
/4c
�
*
/4c
�����
�����V
��
���� �
/��U�
V
����XV���
�
U
�
���
�
��
n���bL
��U���
�W�
�
f
/4c
≈��Z
&�
X��U����
��''�����
�
�����
X��������
�����0�����V�
���
���
������� �
�
�
�������'
��8
���0����
^��^���
L
�����U����'
�'����
��V
��
���bL
�
�
��������
���W��
�
��
����
&�
(
�
W�
���'
��
θ
/4c
����������V
���
��+�8
��
YZZ]
θ
/4c
nβ′/
/4c
.′gd′
�
m
#ZZ.
β′nγ′τ′.′
�
g=
�
m
#Z�.
γn#�π>
/4c
?@.Zg��
#Zc.
(���U���
β′
������� ��
��
�������
����
�������
���������
�U��
��
X�����'��
�
θ
/4c
#�
/4c
.
*����8
�V�
X�����'��
�
��0�����
�
���
�������2�V�
���8
���� �
^��^���
'����
���c
&��
�
�����2X�����
���2��
��X0������V�
̂ ��^��
&���U���V�
X��U���
β′
��������V
�
����� �
h�����'��
2
.′
�
θ
/4c
'�W��
�����
2
��������8
�'
#�.�
X�'����
<
Z
��
<
Z
′
[
����
��
��
�����
���X�8
�_��
�������
�����0���
'������
̂ ��^���
YZ�]
��
����������
�����
�����0���
YZZ�
�
cZ�]
���������
#ZZ.
����0��X��
�
��
����'���
��2���
^������
In<
Z
g#ZrθΣ.r<
Z
�
Inβ′�
fec
gθ
fec
rZ
#Z\.
h�����'��
�
I
�
#ZrθΣ.
��
��W���
�X
�������8
����V�
�'����
��
���
X��U��� �
��''������
���8
����
cc���
�
\���
&�
0V��
���
����V
�
�����2X���8
���'
���
��
�
���_��
X��U����
β′
�
���U�
�V�
X�8
����'��
��
θ
�
θ
fec
�
/
fec
(��
���
�'��
�������8
�V�
�����
���
U
�
�����
��2�
���
�
�����'���'�8
�
�
'�����
����������
�����
�����0���
��
�����8
��
�����0���
'������
̂ ��^���
h�
�'
���
��'�_�
���������
#Z�.[#Zc.
0V��
����U�
��V
X��U���
<
Z
′
�
τ′.′
�
��
�����������V�
�'����
��
�
��������
���W����
������
&-*%
#�'
�0�
�.
-��
�����
�X
�0�
��
���
�����U����
�'����
�8
�V
���W����
��X���
��
X��U���
β′
�
τ.
�
�
�
����8
U���
<
Z
′
���
�'�
�U�����
�X'������
��
�'��
(
�
W�
���'
��0�����
�
�����U����
<
Z
′
�
���
�'
���8
����2����
�������
^��^���
&��
�����U����
��'8
'������
�������
X��U���
β′
�
τ.′
�
�'��2+��
�
���2$� β′� �&′� τ�'′��&'%*���
��
��Σ,**�)(�������+*,'�')//&3'�&).-1����
-('� &0�'/� '�''//3'�')� 1�/&-�
-)'� &(�*(0� '�''*3'�''0*� 0�&))0�
(1'� &*�.-/� '�'')(3'�''01� /�'')�
(/(� &&�/10� '�''))3'�''-(� -�'0�
(-'� 0�'/(� '�''&3'�''**� .�&).0�
��
��Σ,.1�1�������+*,'�'.&(03'�&0/&*����
-('� &&�-/(� '�''--3'�'&.0� -�)/)�
-)'� &'�*00� '�''/3'�''1� (�.1.�
(1'� /�)(&� '�''&3'�''/.� *�//�
(/(� -�'/1� '�'')-3'�''(-� *�&**�
(-'� .�.)/� '�'')&3'�''(1� )�)-&�
��0����
�
D��4��$3� � �"������ &�������$8156$&� �� E�""
"�2���$3� ���� ��9
�:
���
τ′
[
d′
[
d′
�
[
>
fec
[
�������
���'
���0V����
'������
̂ ��^���
��
������8
���
�m
����
���
2
���������
'������V
^��^���
�
������8
���
�m
��U��2��
����
���
2
��������� m
'����
'������V
̂ ��^���
θ Σ�
θ
d
;e
\
�
θ f
e
c
Z��
��!
���
��\
���
�
����
���\
����
���!
��Z�
*
fec
�
&�
*Σncc���
&�
/��
�
h�����'��
�
θΣ�
θ
d;e\
�
θ
fec
�
�������2����
���8
����
^��^���
���
����
X��U��� �
�'����
��V
���W8
���� =
(1'2$�3� �θ45*�� θ675.�� θΣ8�
-('2$�3� θ45*�� θ675.�� θΣ�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�\
���������
������
���
���
���
<
Z
′ppZ�
���^^�����
�����0���
̂ ��^���
��8
'����
0��2+�
���^^�����
�
���
�����0����
�
����8
��
��'���0�0���
'������
^��^���
�U��2
'���
�����
�U�����
X�����'��
�
;#�
/4c
.�
�����
�����8
�V�
��
���
\�
0V��
����U��V
��
*Σn\���
&�
�
��8
���2X������'
���������
#Z.�
#\.�
#Z�.[#Zc.
(�����
U
�
���
����+�
��������'����
�������'��
��2�V�
X��U���
������
�
���W����
K������U�V�
��X��28
�
V
0V��
����U��V
�
���
*Σncc���
&�
&��
����
�U�����
�����X����
��������
���W��8
��
&-*%
�
��'�
����o �� �
�
������_��
��8
����V�
��0����� =
����'��'�
������
2
���W��8
�� m
����������
2
��_��V
������
��
����
���
�
��
��������m
���
�W����
��0��'���
����2����
��8
���
������
#�����
���������� .
�
���
�������8
���
�m
���^��'���
X���������
�������U������
��8
�2�^�
(
Y\�
s]
����X����
U
�
������2
���������� �
����'��'V�
�
0��2+���
��
���U���
���'�����
���8
���
&-
#pZ���
'�"'`�'.�
���
����
�
���
�'����8
���
���W����
���bL
�
��W�
��
0����
�V�����
�'����
��
��0�����
�
��X���
����
����2����
��8
���
������ �
�
��W�
��������
���
X�����'��
�
�
���
��+���
�0o�'�V�
��
����
fe
c
gd;e
\
��
�V�����������������
&-*%
�����
�'�
���8
��0��U2
+������
�0��������
X��V
��
��������
X�8
����
�
����
�����
�������
&-*%
'�W��
�����
�8
��
2
���
��''�
�����
�������
��0�
�����
X����
#���8
�
����
��.
�
�����
�������
��
������
Y\�
�
s�]
&���8
��
&-*%�
���W����V�
���
�'����
����
���bL
�
��W��
�����
�
W���
�'��
0��2+��
��X'��
X�����
U�'
���W����V�
���
0����
�V�����
�'����
�����
�������
��2���
��X'�W��
���
�W����
0����
��X���
����2�V�
�����
�������
-��'�
����
�V��
�
'��8
����������
��
������
&-*%�
���W����V�
���
�
��
≤���bL�
��
����V+��
����
'�'�
�
�
W�
���'
�V��
�
'������������
��
�������
�V��_���V�
���
�
��
≥���bL�
���
����
��Z�
'�'
�
0����
Y\�
s]
L��W�8
���
+�������
��
�
���������
�
������
��������
��8
��U������
���'��
�U��2
��W��
��
L1$L
�
v1$L
(
Y\�
Zs]
����X����
U
�
�
�����U����'
���
��+�8
��
��
����
γ
���^^�����
X��������
���
����2���
�
����2��
#
X
.
������'�
&-*%
�'��2+��
�
����
���
�
��
n�s�bL
�
γn����Z
X
n���c�
���
�����U����
γ
��
����\
���^^�����
X��������
���
��� �
��
'�8
���
��!�
�
���
γn���Z�
X
n���!
(
YZ�]
����X����
U
�
���
�'����
����
0����
���bL
/4
c
�����0����
�
�
��
����
��������
(
�
W�
���' �
��X��W����
'���������
'�W�
���
���
2
���'
��
'�=
�����0��
�
��������_��
��X��W�8
���
d;e
\
��
���������
�
���
��X��W����
d;e
\
��
d;e
�
#�������.
�
��������_�
���
�����0��
�
��X��8
W����
��
���������
�
K����0��
̂ ��^���
��
����8
�����
�
d;e
\
0����
������U
�
��2���
�
����
��
�
���
�����0���
��_��
�����
0��2+�
YZ�]
(���
8
���
2
0����������
^��^���'
�
�����
��
�
���W8
����
X��U�
��2��
'��2+��
������2��
d;e
�
[
����8
�V_���V�
0���������
��
��V�
����+�
�����0���8
�
�
���������
2�
$X���
���
U
�
��
�������
���������
�
�����
'�8
��������
�
���
������
�'��2+��
�
���
��X���
�8
���
������
����
�����W���
̂ ��^���
�
��X����
̂ �X�
YZ!]
(
��'�'
�����
�����
�
���
^��^���
���
��
���W���'��
������
0�������
��'����0���
��'�8
U����
���0���
�����
'������V
'���������
�X8X�
0����
�V�����
����
���
����
��2���
�
^��^���
��
���������
�
���'���'
YZ!]
w
�
�������
�
0��2+�8
'�
������
��������
�
���W�����
���������
�
�
�'��2+����
�0_��
������
�
���W����
3�����8
���
#���^^�����
���������
Z�rc
YZ!].
0���
�����8
'����
�����0�����
2�
�
��0�'
'��
�
�������U�8
�����
���2�^�
L
������
�
����V�
�������
#���^^�8
����
���������
0��X��
�
�������.
0���
0V�
��
��8
�������
2
��
�������
���������
�
�
���2��
�0���
28
�
��
���
����2���
�
����2��
#���
�
����
�������.
&��
�'�
��������
�����
�
���
������
&-*%
��
��8
�������
�
�����
��������
�
��
�
�����
�������8
U������
���2�^�
[
'��������
����'
�0��X�'�
�����0������8����
�U����
'�8
���2�
�
�U�����
��
���U�
5������
��������V�
'�8
�������
[
̂ ��^��6�
���XV���
��
��
U
�
��
���
�8
W���
����'��'V�
������
��
�
����������
�
���W8
����
������
&-*%
��W��
�0����U�
2
'����'��2��
��X'�W���
�
����2
X��������
�����0�����V�
���8
���
'�������'�
'���������
$X
���������V�
�V+�
����V�
������
U
�
��
����
���
�������0��X���
��0�8
�
2
���
�'����
���
��W�
���bL�
��''����'
�����8
���
��� ���
��
&�
�
�/4c
n���\[���s
&�
#U
�
���
8
��
�
���
�����X���
X��U����
γn����Zx�����
���
*Σn��
&�.
(
����
������ �
�_�
��
���������
�������
0����������
�����0���
'���������
'�8
������'�
^��^����
�
���'�
����
�0����U����
�
���^��'���
X���������
�������U������
���2�^�
������'�
&-*%
�
���
�W����
�V������
�����
��8
��������
������
#����2���
�����
�������
��W�
Z���
'�"'`�'.
L
�����2X������'
��X��0�
���V�
��W�'��
���W8
����
&-*%
0V��
����U��V
�
���
��V
��������8
����
�
�W���U���
����
������
v�
��������V�
X�8
����'�����
�
���
�
&-*%
'���
�����2X���
2�
��8
W�
���
��X��0�
��
���������
���W����
��
����
�8
���
���'�
��'
Z��
�
���
''
���
�
����X��
��2�V��
��
�
�
���
����2�V�
����
����
����W������
���8
����
$L&"*Ph"(K44S)
$L�"N4$-$
Z
&�������
����U�����
��������������
g
&��
���
R
T��8
0��� [
3 =
3���
Z�!�
�
���������
L1$L
�
Z
g
&��
���
L
h� [
3 =
3���
Z�!�
c
y:9;GA
z
ft<JD@JA>:<<;GB
A;<;DtG
{t@
;G>BH@:>B|
D;@D?;>A
:G|
|;A}<:JA [
~t@�B<<�
i��
�d�=
y<?�B@
�D:|B9;D
f?I<;AEB@A�
Z��!
\
�������U
K
L �
K��^����
*
&
&�����
��������
����U��8
����
���'��
�
���������
����X����
��
��
�����2�V�
���'
�
���������������V�
���0���� [
3����=
1���������
������
����
�
i?<|B@
�
�
i �
7}}BG|:
f �
eBG|@;DA
i �
ztGH
�
7
�G
;G|?A>@;:<
kf�j�
}@tDBAA
{t@
;G8A;>?
fEtA}Et@?A8�t}B|
}t<JA;<;DtG
gg
�
7<BD>@tDEB9
dtD [
Z��� [
jt<
Zcs�
~
Z [
f
�sc[�s�
�
kB:@G
�
� �
�tA>B@
�
�
�B}tA;>;tG
:G|
B<BD>@;D:<
}@t}B@>;BA
t{
;G
A;>?
}EtA}Et@?A8|t}B|
A;<;DtG
{;<9A
IJ
<t�8}@BAA?@B
DEB9;D:<
C:}t?@
|B}tA;>;tG
gg
�
t{
�}}<;B|
fEJA;DA [
Z�!s [
jt<
�Z�
~
� [
f
Z!�![Z��\
s
kBAG;�tC:
j
f �
z?@>ABC;DE
�
d �
y@:AG;>A�J
j
�
B>
:<
zEB
A>@?D>?@B�
9t@}Et<tHJ
:G|
@BA;A>;C;>J
t{
;G
A;>?
}EtA}Et@?A
}t<JA;<;DtG
{;<9A
gg
zE;G
dt<;|
�;<9A [
Z��\ [
jt<
�\s [
f
Z��[Z�Z
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
!
z?@>ABC;DE
�
d �
y@:AG;>A�J
j
� �
79B<J:GtC
j
�
B>
:<
zEB
B{{BD>
t{
}@t|?D>;tG
DtG|;>;tGA
{t@
;G
A;>?
}EtA}Et@?A
|t}B|
kf�j�
}t<JA;<;DtG
;G
9tGtA;<:GBg}EtA}E;GB
AJA>B9
tG
>EB
|B}tA;>;tG
}@tDBAA
�;GB>;DA
gg
zE;G
dt<;|
�;<9A [
Z��\ [
jt<
�\! [
f
�![cZ
�
�:@@t�
�
�
�
zEB
�;GB>;DA
t{
A;<;DtG
|B}tA;>;tG
tG
A;<;DtG
IJ
}J@t<JA;A
t{
A;<:GB
gg
�
7<BD>@tDEB9
dtD [
Z�s\ [
jt<
Z�Z�
~
s [
f
!��[��s
Z�
e;>DE9:G
i
k �
�E9B|
�
dt9B
@BDBG>
>@BG|A
;G
>EB
}@B}:8
@:>;tG
t{
>E;G
<:JB@A
IJ
<t�
}@BAA?@B
DEB9;D:<
C:}t?@
|B}tA;>;tG
gg
j:D??9 [
Z�!\ [
jt<
c\�
~
Z�8ZZ [
f
�s�[�!�
ZZ
/�0��
�
3 �
3����
N
T�'�
���������
�
��X����
'�
���
r
��X [
3 =
3���
Z�!Z
Z�
-�0��
(
R �
v+�����
u
(
K����0������8����
�U����
'����2
��������
���W����
������
��������
����U������
���'8
��
�
����
���
����W������
�������
gg
&��������
2 [
Z�!� [
�
! [
�
!s[�c
Zc
�������U
K
L �
/�'��
4
( �
4��������
"
u �
3�������U
$
$
-���
���
���
�
������
��������
����U������
���'�� �
��8
��U���V�
������X�'
������
�����������
'���������
���
��8
��W����'
��������
gg
w���
�����
������
L��
s [
Z��c [
(V�
\8� [
�
c�[c�
Z\
L����
3
L
3�����X'
������X�
'���������
���
����8
W����'
��������
gg
$X���
�
K4
LLL/
���
4�������U�����
'�
�����V [
Z�!� [
�
Z!�
�
s [
�
Z�ss[Z�!�
Z�
7CB@A>BJG
�
� �
f?>
�
e
�G{<?BGDB
t{
�Ae
c
�
fe
c
:G|
�
�
e
�
tG
>EB
H@t�>E
@:>B
:G|
@BA;>;C;>J
t{
}t<JD@JA>:<<;GB
A;<;DtG
{;<9A
|B}tA;>B|
{@t9
:
d;e\8e�
9;�>?@B
gg
�
7<BD>@tDEB9
dtD [
Z�sc [
jt<
Z���
~
Z [
f
Z��[ZZ�
Z�
�?
i
k �
iBJB@AtG
i
d �
�|At@}>;tG
t{
fe
c
tG
d;#Z��.
:G|
;>A
B{{BD>A
tG
>EB
Dt:|At@}>;tG
t{
d;e
\
gg
�
j:D dD;
:G|
zBDEGt<tHJ [
Z�!� [
�� [
~
� [
f
\\s[\\�
Zs
�������U
K
L �
R���2��
(
$ �
4��������
"
u
-��^��8
'���
2
�������X������
�������U������
���2�^�
���������
�
��
�����2�V�
���'
���
���W�����
��������
����U������
���'8
�� �
�������������
�
��������
���
�
^��^���'
�
0���'
gg
w���8
�����
������
L��
s [
Z��c [
�
\8� [
�
��[�s
Z!
�@;A
e �
�:?AA:>
� �
�t>
�
B>
:<
kf�j�
A;<;DtG8I:AB|
{;<9
{t@9:>;tG
;G
A?I9;D@t9B>B@
>@BGDEBA
;G
;G|?A>@;:<
B�?;}9BG>=
B�}B8
@;9BG>A
:G|
A;9?<:>;tG
gg
�EB9
j:}
�B}tA;>;tG [
���� [
jt<
!�
~
� [
f
�Zc[�Z�
���� �
���
�
�
�
�
�
�
�
�
��������
��
��
�� �� �� ���
� �
�� ����� ���
� �
� ��� ���� ��� ���
����� ������������������
���
�� ��!��!�" � !�#�$�"������%&'&
��(%)��
���������
���
��
����������������
����
���������������������� ����� ��
�����
��������
�����������������
����� �����
������� ��������������� ���
�
����������� ���������������� �����
���
������ ����� ������������������
�
����� !�"���#�
�����������������
��������������
$
���
�
������ �����%� ���� ����� ����������� �������
�������������� ����� �������� ������ ������
�� %��$
���������������������������������
�������� ��
���
������
���������
��� ���� �����
������ ��������
���$
#� ��� ����� ����� ����������� ���� ������ ���
������$
������� �������
���� �������������� � ����������� %��$
�������
������ ����
������
����������� � !��������$
��
���������������������
���
������� �������
��� ��
�����
���� ������ ����������������� � �������� ���
�$
������������ �������
������ �
��#� �����&���������$
�� ����
��������
��� �����
��������� �������
������$
���
���#� �������� ������������� ������������
�����
�����#������ ����������������������� ����� ��!�'��$
� ���������
������ �����
������ ����������
���� ��� ���
����� ���$
�� ���
��������
����
����%���
��
� ����
������������
�������
��$
�� ������������
��� ���������� �����������
������������� �����������������
()*� ��+,*-!�'����� �� ���� ��� �� �������� ���� ��
�� � ��� �
������
� �
��������������������� ������
��������� ������������� ������
�� � ��������� � !
.������������� ���� �����������
���������
�
��
������ �������� �������
����������������� �%�������
������������
��
���� ��������� �����/�$
0/1/2��������
��� ������������ �����/�3"245��
��������������� �������$
������� ����������
����� �� ������� ��������������� ���������
������� �$
�������
�� ��������� ������
�� ��� �� � ������� ����� ��!� ���������
�����
�
���� � ������������������ ����� ������������������ � ���#����$
�����# � � ���#��� &�������������� �� �����!�'��������� �
�� ������� ��
�
��������� � ����������������������
������
��
������
����������� ���
'61"7!
8����
���������������������������� ����� �����
����������������������� ���$
����� �����
�����#��������� ����������
����������������#������
�� ���������$
�������
�������������������������!�9�����
���� ������� ��������
��� ���!
|