Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста

Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2009
Hauptverfasser: Наливайко, О.Ю., Турцевич, А.С.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52332
record_format dspace
spelling Наливайко, О.Ю.
Турцевич, А.С.
2013-12-29T22:28:06Z
2013-12-29T22:28:06Z
2009
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332
Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы электроники
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
Адсорбційно-кінетична модель осаджування плівок полікристалічного кремнію, легованих фосфором в процесі зростання
The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped film polysilicon deposition process
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
spellingShingle Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
Наливайко, О.Ю.
Турцевич, А.С.
Материалы электроники
title_short Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
title_full Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
title_fullStr Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
title_full_unstemmed Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
title_sort адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
author Наливайко, О.Ю.
Турцевич, А.С.
author_facet Наливайко, О.Ю.
Турцевич, А.С.
topic Материалы электроники
topic_facet Материалы электроники
publishDate 2009
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Адсорбційно-кінетична модель осаджування плівок полікристалічного кремнію, легованих фосфором в процесі зростання
The adsorptive-kinetic model of in-situ phosphorus doped film polysilicon deposition process
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
description Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332
citation_txt Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT nalivaikooû adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserosta
AT turcevičas adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserosta
AT nalivaikooû adsorbcíinokínetičnamodelʹosadžuvannâplívokpolíkristalíčnogokremníûlegovanihfosforomvprocesízrostannâ
AT turcevičas adsorbcíinokínetičnamodelʹosadžuvannâplívokpolíkristalíčnogokremníûlegovanihfosforomvprocesízrostannâ
AT nalivaikooû theadsorptivekineticmodelofinsituphosphorusdopedfilmpolysilicondepositionprocess
AT turcevičas theadsorptivekineticmodelofinsituphosphorusdopedfilmpolysilicondepositionprocess
AT nalivaikooû adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserostaoûnalivaikoasturcevičtehnologiâikonstruirovanievélektronnoiapparature20096s5055bíblíogr7nazvros
AT turcevičas adsorbcionnokinetičeskaâmodelʹosaždeniâplenokpolikristalličeskogokremniâlegirovannyhfosforomvprocesserostaoûnalivaikoasturcevičtehnologiâikonstruirovanievélektronnoiapparature20096s5055bíblíogr7nazvros
first_indexed 2025-11-25T21:05:32Z
last_indexed 2025-11-25T21:05:32Z
_version_ 1850548237326352384
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� �� � ��� ������ � �������� �� �! ���� � "������ ��������������� �� �� #$%& �' ( ) *�+���,��� � -���. ��������� �� ������������������������ � /����0���� 1������2� � 3����� 4&" 5$� �����6 789:;<= :>?@>ABC;DEF;G>BH@:< IJ K�L"/1M$"44"8-$4)�$N)L-KO 3"�)*P "LKQ�)4$O &*)4"- &"*$-/$L�K**$N)L-"R" -/)34$O� *)R$/"(K44ST %"L%"/"3 ( &/"M)LL) /"L�K ����������� !��"�#� ��$���#�%&� " � �� '��$(�� � � )�*+,-./+0� $������� ���1�%� "�2���$3�� !�"��4$)�56$& ��$�����15� "� � "�#� $� �� � �� "�# "�2���$3�� )%" �$(� 1� )��#� ��7$� )�� �$3�$�� �� ��� ��8�� ����$��� � � 7$� 4�"� 7 � ���#�����������$�9 �:� &����� �������� ����U������ ���'�� #��.� ��8 ��U��'V� ��� ����W����' ��������� +����� �����28 X�� � � ��������� �X�� ������ �� ���V� � ���8 ����V� ���'�� �� �� �����2�V� '�������' YZ[\] 1��2+�� �� ���� �VXV��� ������� ���W���� ���8 ��� �������� ����U������ ���'�� � �������'��8 �V' ��� �����������' Y�[!] "������ ���'� � �� 0��2+�� ����U�� �� ��0������� � �������� ���W��8 �� � ����� ��� ������ &-� ����������V� � ������8 �� ��� � ̂ ��^���' #����.� ������� � ���� ��� �� ���W���� ��� ����W����' �������� �� � � ��8 ��� � �U�� ����V'� &���U���V� � � �� ��0� ���8 �� �U����� �V��W��� �� ������ ��������W���� � �� ��������� � ������� � �����0��� *���'��� �� ��8 X��� � ����U�� ����� ����� 2 X�����'�� � �����8 � � ���W���� &-*% � �������2�V� �������� '�8 �������� � ^��^��� Y�� Z�] L ������ � ����V� ��� ����X��� � YZZ]� '����2 *���'��� ���������� �� ������� �����0��� 0��2+��� �� ��X�� �� ����2��� ��������� � ������� ��� 4�� � _� ��0� � ���� _��� ������������ ��8 �� ��� ��������� ���W���� ������������V� ������ &- � ������ &-� ����������V� � �������� ��� � ̂ ��8 ^���'� � ����X�� ��2��' ���� ��� ����W������ ���8 ���� � ��� U�'� � ����'� ( ��U�� �� �����W�� �����2X������2 ���'����V� ���� ��V ���'� ��' Z�� '' � ����� ����� #Z��. � ����2�V' ����� �������' Z� "'`�'� ����������V� 0���'� �� �� ��V� �������� ��2�� �V��_����� ��8 '�U����� ������ ���'�� ��_���� \���a��� �' ( ��U�� �� ������ �� �����2X������2 ������ �� '���8 ������ � ��X��� �'��2 ^��^��� � ������' ���� 8 ������� ������ U�� � V ��'���� ��� ���W���� �X8 '�� ���2 � ��� �� ���bL ��'���� ���V� ���^��2 ������W����� � �U��� 2� aZbL /�0�U�� �������� *Σ �X'�� ���2 � �����X��� cc���[\��� &� &�� ���W8 ����� &- 0�X ���������� �������2��� �������� '�8 �������� #* d;e\ . �X'�� ���2 �� �' ��0������ � ��8 X���� �'��2 �X� � &�� ���W����� ������ &-� ����8 ���'V� � �������� ��� � ^��^���'� ��� ��+���� �� ���� fe c gd;e \ #γ. �X'�� ���2 � ����Z �� ���Z� �� �' �X'����� �� ��� �'��� ^��^��� � ������' �� ���V+��� ���������� � ��_��V � ����2���� ����� ������ ������ &-*% �����2X������2 ����8 ���V� ����� V �������2��� ���� ������ h����X��8 �V���X�� �����W�� [ 0����� �� �� � �����2X���8 ���' ������� �X ���0��� ���'�� ���_��� ���W8 ����V� ������ ������� ���2 ��� ��'�_� ���� ��8 ^� �'� �� ifj8df 5kB;>l6 �� ������� ���� ��� ��� � ������������V� ������ &-� ����U���V� ������X�' ������ �������8 ���� '���������� ���0���� ����� ������� �����08 ������8���� �U���� '����2� ������W���� � YZ�� Zc]� �� ��� 0�X���� � �� ������_�� ����_��� �= [ ��'�U���� ������ ���W���� &- �� � � �� ��������� �������� Z8�� ��� ���m [ ������� � ��X���� ^�X� �� ����'� ����� � � � �� ���2 � �����2X��'V� ���� �U���� �����X�8 ��� ������� � �'���� ��V ��U �W�� '���m [ ��� ���������� � ��������� 2� '������� '�8 W� ���X� 2� � ���0��� X����' #�����W��'. ����8 ���0������' ��� � ���� � �� ���' ��� ��^^����8 �������� � ���� �� � ����� � ����� � ����� ����� ����� ����� ����� � ����� �� � ��������� �� �� �� ��� ������� ����� ���������� � �� � �� � �� � �� �� ��� �� ��� ��� �� � ���!� ����������� � � ���!� ������" ���� �� � �� #��� � �� #� ���#������ �� ��������� � ���!� �� � ��� ���� �� ������ /�� Z 1���8���'� ��'�U������ ���W���� ������ &- �X ��X���� ^�XV ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �Z ��������� ������ ��� ��� �� �� ���� ���� �� ��'����0���� � ��� �� ��8 ���0���� � 1���8���'� ��'�U������ ���W���� �X ��X���� ^�XV ������ �������� ����U������ ���'�� ����8 � ������ �� ���� � Yc� � \]� � X�����'�� � ������ � ���W���� ������������V� ������ &- � �������28 ���� ������� '��������� [ �� ���� � h���2 ������ U � ������ 2 ���W���� '��� ���� ��X��� �� � ���8 ��U����' �'���� ��V � * d;e\ �� �� ��������� ������� Z8�� ��� ��� ������ 2 ��� � ������ '�W� 0V 2 �V��W��� ��� ;n<θ= � � #Z. L ����2 X�������� �����0�����V� ��� ��� '�8 ��������' ������� � � �V��W����' θnατ.g= � m #�. ��� α n�*Σg#�π>?@.Zg�nγ*Σ� #c. &�����'������ ��������� #Z. �� ��U��2��� ��8 �� ��� 2 ��������� . � � �U� V�� ^��'��V #�. � #c.� ����U�' ;nβ*.g. � � #\. ��� βn<γτ. � [ ���� �� �� �� ��� �� X����� � ���8 ���� '���������� � . X����� � � ����� X�������� ��������� �� ������� �'�� ��������'� �����0���8 �����0��� '������ '��������� � ��������� �� �8 _���� ������ �' ��'�U����� ������� &�� '��V� θ ���� ��� 2 ��������� �� X����� � θ� � ��� ��� � �U�� 0��2+�� θ ��� ��X�� �'��2+�8 � � � � ����� � 0������U�� '���� �0��X� ���V_�8 �� ��������� � 3������ ��������V� �� ����� ��8 ���� � *���'���� �� ��X��� � �0o ��� 2 ����0�V� X�����'�� � ( YZZ� � cZc[c��] ������W��� '����2 �����0���� �U� V���_� ��������� ��� ��^^�X�� � �X��'����� ��� �����0�������V� '������ ���� '����2 ��X��� � ��U�� ����� � ����U�� ����� ���8 �� 2 �������'�� ��2�V� X�����'�� � ���� ��� � ��������� � ���^^����� � X�������� �� �������� ����� �����0��� � ��X'�W��� ��8 ���0���� ^���'�� �� '������ 0�X �U� � �X��'����8 � �� 5�����0� [ �����0� 6 YZZ] X�����'�� 2 .#θ. '�W� 0V 2 ����� ������ �V��W����' ( ) 1 0 1 2 1 / 1 1 , 1 S S K −      = + −   − θ   #�. &�� '��V� ������� � θppZ� .g. � nZ� ��� �'� X�8 ����'�� 2 ������ � ���W���� � ������� �����8 �� &� ������� ���� ������� ������V� �U�� ��� X�8 ����'�� �� ;#* d;e\ . #��� �. 0V�� ���������V U��8 ����V� X��U��� β �� ��X��U�V� �'���� �� ���W8 ���� � �� ������������V� ������ &- ��� ��''��8 ��' �������� cc��� � \��� &� #�' ����� �. &��� ��8 � � � X��U��� β � ��������� #\.� '�W�� ����U�8 � 2 ��� �� � ���_�� ����U��V .g. � ��� < Z n ?A � ?B [ � [ ?Ag#?Bq?A.nZr. � gCm #�. ���� �� V ������ � �����0��� � �����0��� �� ��'�8 ���0�����V� ��� ���m ���^^����� ����������� ;� �'g'�� Z� ! \ *Σncc &� ���bL �s� ��� �Z� ���bL � Z� �� c� * d;e\ /�� � h�����'�� � ������ � ���W���� �����������8 �V� ������ &- � �������2���� ������� '��������� ��� ��X��U�V� �'���� ���� ���W���� #����+�V� [ �������'�� m ���� �� [ ���U� . ��� < [ = � [ ; [ θ [ ���� �� � ������ � �� ��������� �������m ������ ���� �����0�����V� ��� ��� �� ��������� �m ������ 2 ��� � ������� �V��W���� � ����U�� �� � �8 '�� ���'�� � ���W����V� �� ���_��2 Z �'� X� Z �m � ����2 X�������� �����0�����V� ��� ��� α [ τ [ . [ > [ ? [ @ [ U���� ������ '������ ������ � � ��������� 2 �����U��� ���_��� � ������� ���'���m ������� ���' ���0V���� '������ '��������� �� ��8 ������� �m ���� ��� 2 5��������� 6 '������V '��������� � ��8 ������� �m '���� '������V '���������m ��� � ��� 1��2�'���m �'���� ��� ��X� � ���°$� ����%&� �&� τ�'��&'%&(��� β��&')*�+%&�%&� �� ��Σ,**�)(���� (-'� '�..� &�./� &'�//� '�/-.� (/(� '�-/� '�0� 1�.&&� &�''/� (1'� '�00� '�0� 0�1/� &�)(� -&'� &�(� '�./� /�'&� &�-/� -)'� &�1� '�-/� -�(/-� &�1..� -('� .�)1� &�'&� (�'/� *�**� �� ��Σ,.1���� (-'� '�.(� &�(*� &)�)&� '�00(.� (/(� '�-1� '�0)� &'�.� &�&.-� (1'� '�1*� '�0� 1�/-� &�.*0� -&'� &�(0(� '�(.� /�01(� &�1(0� -)'� )�'-� '�-/� /�./*� )�*1-� -('� .�**� &�'-� (�/*-� *�0')� ��0���� Z D��4��$3� � �"������ &�������$8156$&� �� E�"" "�2���$3� ���� ��9 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� L ������ � ����V� �����'� ����U��� = � � ���8 ��� ��������� ��� ��� ��� � � �'�� ���'�� #!`Z�Z\ �'r�.� '�W�� �������� 2 ����U��� <θ � ��8 � ��� 2 X�����'�� 2 .g. � nF#<θ.� ����� �����_�� �X'������ ���� ��� � ��������� �� '��� ��� � � �8 ���� X�������� ��������� � ���W���� � � ��� ^������������ �'���� ��� <nDtGA> ����� X�����8 '�� � �� ��X��U�V� �'���� �� ���W���� ��� ��'8 '����' �������� cc��� &� ��������V �� ���� � h���2 ������ U � �����U���� �'���� ��V ���W���� ���8 ���� � �'�_���� ����V� � � ����� �����U��� ��8 ��U��V <θ � 0���� ������� ̂ ��'� ������ _��� �U�8 � �� h�����'�� � .g. � nF#<θ. ��� *Σn\��� &� �'�� �������U�V� ��� &���U���V� ����V� ����� ��2� ��� � �'� U � ��� ��X��� �'���� ���� � �����U����' �������2���� ������� '��������� � ����2 X�������� ��������8 � � �X'�� � � �����2�� 0V� ��� ��� � �' ���� 8 ��� 2 ��������� 0V� �� �'��2+�� � � � � �����8 U����' * d;e\ ������ 2 ���W���� 0V� �� ��� ���� ���V_��� � U � � ��0����� � �� ���� ��� &�� 0�8 ��� �V����� �'���� ���� � ����2 X�������� ������8 ��� � � �����U����' �������2���� ������� '���8 ������ �X'�� � � '��������� ��� �� � ����� '��8 ������ �'��2+�� � ���� ��� 2 ��������� � 0���� ������ ��� ���� � �V��� ������ � ���W���� �� ���V_���� �� ������ '�����X'� �����0��� ��� ��X��U�V� �� ���� '��������� �����2X������2 ������ ����8 �� X�����'�� 2 ���� ����'��� ��2�V� ^������� ������� �'V� �X �������'�� ��2��� X�����'�� � ; � #* d;e\ . �� '� ������ ������W����� � YZ\]= GnZg; � m #s. Hn; � g#β*r; � . #!. �� ���� �����������V� X��U���� �'���� ��V � ������� � � X�����'�� � ��� ��������V� �����8 ��� ������� ��2�� �����0�� [ �������� ���� � � ��� ��� ��������� ���������� '������V '�8 �������� �� d;e � #:�. � e � � ��W�� �X �� ��V� X���8 '�� ���� �����0�����V� ��� � h��U��� < � < Z �� ��� �� � ���_�� �'���� �� � �������� 0V�� ���������V '� ���' ���'��2+�� ������ �� � �����2X������' ��������� #Z.� #\.� #�. � �������'�� ��2�V� X�����'�� �� ; � #* d;e\ . h��U��� τ. � ����U� V�����2 ��� ��'�_� ��������� #c. � #\. $X �0� Z ������ U � ��� �����U���� �'���� ��V ���W���� ����U��V <� β � τ. � ��X��� �� � � � W� ���' �� ����U��V < Z �� 0V�� �0����W��� ��� �8 '� �U����� �X'������ L �����U����' �0_��� ���8 ���� � ���� ��� ��0����� � ��X��� ���� ����U�� <� β � τ. � ����� �U����� X�����'�� � ; #* d;e\ . 0V�� ��8 � ����V ������_�' �0��X�' L����� 2 ���W���� ����U� V�����2 �� X������'� X��U���� θ �X ����8 ���� #Z.� � �������� ������� ���2 �X �������� �X�8 ��'V �����0���� ����U������ �� �' ����� ����8 �� ����V� U�� �� ��������� #Z. � #\. � �U� �' ����8 ���� #�.= 0 2 0 (2 ) 1 . (1 ) n P K S  θ θ − θ= + γτ − θ  #�. -�� ����� �X ��� �� ����U���V� ���� �U����� ����V� ����+� �������� � � �������'�� ��2�V'� ����V'� 4���U�� �������_�� ��0���� ��_�� ����� �X'�8 � � ���� ��� ���W���� ������ �������� ����U�8 ����� ���'�� L����� 2 ���W���� ��� �������� /4 c � KA4 c �'��2+�� � YZ�] %����� Y�] �U� �� � U � X�8 '������� �VX���� �����0���� ���� ��V �� �� ���V� ��� ��� ��������� � T�+ '�� YZ�] � ��'�_2� '�8 ���� L� � ������ '�����X' ������� � X�����'�� 2 ������ � ���W���� &-*%� �����2X� ���� ��� *��8 �'���rT��+��2���� K� ��V YZ�] u � 3������� �U�8 �� � U � ������� ������ � ���W���� ������ ����8 ���� ����U������ ���'�� ��� �������'����' ��� ����������� ^��^���' ��������� ������ ��� 0��8 �������� �� ���V� ��� ��� %��^�� ����+� �����8 0���� � ���'���'� � � ������� �������� � ̂ ��^�8 .g. � ��! ��\ � ��� Z Z�� � <θ� �rZ *Σncc��� &� ���bL �s� ��� �Z� ��� ���bL /�� c h�����'�� � .g. � � <θ ��� ��X��U�V� �'����8 ���� ���W���� ;� �'g'�� �� Z� � ���� ��Z� ��Z� * fec � &� *Σn\��� &� ���bL �s� ��� ��� ���bL /�� \ h�����'�� � ������ � ���W���� ������ &-*% � �������2���� ������� ^��^��� ��� ��X��U�V� �'8 ���� ���� ���W���� #����+�V� [ �������'�� m ���� �� [ ���U� . ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �c ��������� ������ ��� �� �_� 0��2+� �����U���� �����W���� ^��^���� 0�������_��� �����0��� '��������� $X ����� ������V� �� ���� � X�����'�� �� ���8 ��� U � ��� �'���� ���� ��� � ���bL ��0����� � ��X��� �'��2+���� ������ � ���W���� � �����U�8 ���' �������2���� ������� ̂ ��^��� &�� �'����8 ���� W� ���[���bL � �����U����' * fec ������ 2 ���W���� �'��2+�� � �� �� ���2��� � ��� 0��28 +�� X��U��� � * fec ��� ��+2 ��X��U� ��2�� � ��U�8 � � � ������ � ���W���� ��� �'���� ���� ��� � ���bL (�� � � ����� ��2� ��� � �������� ��' ��8 ��� ��� �����0��� '��������� � ̂ ��^��� ����'� � �'� W� ��� ��'� Y!] &�� ���W����� &-*% � ��� �'� 5������ ����8 ����V� '�������� [ ^��^��6 �������� #Z.[#\. �� �� � ����������V'� YZ�] "����� ����U��� .g. � � � �' ���U�� 0��� X����� 2 � ��''����� � ����� X�������� ��������� � θΣ '�������'� '��������� � ^��^��� #��� � �' ����������� � � U � � '�����8 ��� � ̂ ��^�� �����0���� � ����'� � �'� W� ���8 ��'�.= ( ) 1 0 1 2 1 / 1 1 . 1 S S K − Σ      = + −   − θ   #Z�. h��U��� θΣ � θ '�W�� �������� 2 �� �������8 '�� ��2��� X�����'�� � ;#� /4c . #��� \.� �����2X� ^��'��V #Z.[#\.� #Z�. � X��U��� � Z � β �� ��8 � �� � ���_�� �'���� ��V #�' �0� Z. L ����2 X�������� ��������� � ^��^���' θ /4c ����� ��X8 ��� � '�W�� θΣ � θ d;e\ ����U�V� X�����'�� � θΣ� θ d;e\ � θ /4c � * /4c ����� �����V �� ���� � /��U� V ����XV��� � U � ��� � �� n���bL ��U��� �W� � f /4c ≈��Z &� X��U���� ��''����� � ����� X�������� �����0�����V� ��� ��� ������� � � � �������' ��8 ���0���� ^��^��� L �����U����' �'���� ��V �� ���bL � � �������� ���W�� � �� ���� &� ( � W� ���' �� θ /4c ����������V ��� ��+�8 �� YZZ] θ /4c nβ′/ /4c .′gd′ � m #ZZ. β′nγ′τ′.′ � g= � m #Z�. γn#�π> /4c ?@.Zg�� #Zc. (���U��� β′ ������� �� �� ������� ���� ������� ��������� �U�� �� X�����'�� � θ /4c #� /4c . *����8 �V� X�����'�� � ��0����� � ��� �������2�V� ���8 ���� � ^��^��� '���� ���c &�� � �����2X����� ���2�� ��X0������V� ̂ ��^�� &���U���V� X��U��� β′ ��������V � ����� � h�����'�� 2 .′ � θ /4c '�W�� ����� 2 ��������8 �' #�.� X�'���� < Z �� < Z ′ [ ���� �� �� ����� ���X�8 �_�� ������� �����0��� '������ ̂ ��^��� YZ�] �� ���������� ����� �����0��� YZZ� � cZ�] ��������� #ZZ. ����0��X�� � �� ����'��� ��2��� ^������ In< Z g#ZrθΣ.r< Z � Inβ′� fec gθ fec rZ #Z\. h�����'�� � I � #ZrθΣ. �� ��W��� �X �������8 ����V� �'���� �� ��� X��U��� � ��''������ ���8 ���� cc��� � \��� &� 0V�� ��� ����V � �����2X���8 ���' ��� �� � ���_�� X��U���� β′ � ���U� �V� X�8 ����'�� �� θ � θ fec � / fec (�� ��� �'�� �������8 �V� ����� ��� U � ����� ��2� ��� � �����'���'�8 � � '����� ���������� ����� �����0��� �� �����8 �� �����0��� '������ ̂ ��^��� h� �' ��� ��'�_� ��������� #Z�.[#Zc. 0V�� ����U� ��V X��U��� < Z ′ � τ′.′ � �� �����������V� �'���� �� � �������� ���W���� ������ &-*% #�' �0� �. -�� ����� �X �0� �� ��� �����U���� �'���� �8 �V ���W���� ��X��� �� X��U��� β′ � τ. � � � ����8 U��� < Z ′ ��� �'� �U����� �X'������ �� �'�� ( � W� ���' ��0����� � �����U���� < Z ′ � ��� �' ���8 ����2���� ������� ^��^��� &�� �����U���� ��'8 '������ ������� X��U��� β′ � τ.′ � �'��2+�� � ���2$� β′� �&′� τ�'′��&'%*��� �� ��Σ,**�)(�������+*,'�')//&3'�&).-1���� -('� &0�'/� '�''//3'�')� 1�/&-� -)'� &(�*(0� '�''*3'�''0*� 0�&))0� (1'� &*�.-/� '�'')(3'�''01� /�'')� (/(� &&�/10� '�''))3'�''-(� -�'0� (-'� 0�'/(� '�''&3'�''**� .�&).0� �� ��Σ,.1�1�������+*,'�'.&(03'�&0/&*���� -('� &&�-/(� '�''--3'�'&.0� -�)/)� -)'� &'�*00� '�''/3'�''1� (�.1.� (1'� /�)(&� '�''&3'�''/.� *�//� (/(� -�'/1� '�'')-3'�''(-� *�&**� (-'� .�.)/� '�'')&3'�''(1� )�)-&� ��0���� � D��4��$3� � �"������ &�������$8156$&� �� E�"" "�2���$3� ���� ��9 �: ��� τ′ [ d′ [ d′ � [ > fec [ ������� ���' ���0V���� '������ ̂ ��^��� �� ������8 ��� �m ���� ��� 2 ��������� '������V ^��^��� � ������8 ��� �m ��U��2�� ���� ��� 2 ��������� m '���� '������V ̂ ��^��� θ Σ� θ d ;e \ � θ f e c Z�� ��! ��� ��\ ��� � ���� ���\ ���� ���! ��Z� * fec � &� *Σncc��� &� /�� � h�����'�� � θΣ� θ d;e\ � θ fec � �������2���� ���8 ���� ^��^��� ��� ���� X��U��� � �'���� ��V ���W8 ���� = (1'2$�3� �θ45*�� θ675.�� θΣ8� -('2$�3� θ45*�� θ675.�� θΣ� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �\ ��������� ������ ��� ��� ��� < Z ′ppZ� ���^^����� �����0��� ̂ ��^��� ��8 '���� 0��2+� ���^^����� � ��� �����0���� � ����8 �� ��'���0�0��� '������ ^��^��� �U��2 '��� ����� �U����� X�����'�� � ;#� /4c .� ����� �����8 �V� �� ��� \� 0V�� ����U��V �� *Σn\��� &� � ��8 ���2X������' ��������� #Z.� #\.� #Z�.[#Zc. (����� U � ��� ����+� ��������'���� �������'�� ��2�V� X��U��� ������ � ���W���� K������U�V� ��X��28 � V 0V�� ����U��V � ��� *Σncc��� &� &�� ���� �U����� �����X���� �������� ���W��8 �� &-*% � ��'� ����o �� � � ������_�� ��8 ����V� ��0����� = ����'��'� ������ 2 ���W��8 �� m ���������� 2 ��_��V ������ �� ���� ��� � �� ��������m ��� �W���� ��0��'��� ����2���� ��8 ��� ������ #����� ���������� . � ��� �������8 ��� �m ���^��'��� X��������� �������U������ ��8 �2�^� ( Y\� s] ����X���� U � ������2 ���������� � ����'��'V� � 0��2+��� �� ���U��� ���'����� ���8 ��� &- #pZ��� '�"'`�'.� ��� ���� � ��� �'����8 ��� ���W���� ���bL � ��W� �� 0���� �V����� �'���� �� ��0����� � ��X��� ���� ����2���� ��8 ��� ������ � � ��W� �������� ��� X�����'�� � � ��� ��+��� �0o�'�V� �� ���� fe c gd;e \ �� �V����������������� &-*% ����� �'� ���8 ��0��U2 +������ �0�������� X��V �� �������� X�8 ���� � ���� ����� ������� &-*% '�W�� ����� �8 �� 2 ��� ��''� ����� ������� ��0� ����� X���� #���8 � ���� ��. � ����� ������� �� ������ Y\� � s�] &���8 �� &-*%� ���W����V� ��� �'���� ���� ���bL � ��W�� ����� � W��� �'�� 0��2+�� ��X'�� X����� U�' ���W����V� ��� 0���� �V����� �'���� ����� ������� ��2��� ��X'�W�� ��� �W���� 0���� ��X��� ����2�V� ����� ������� -��'� ���� �V�� � '��8 ���������� �� ������ &-*%� ���W����V� ��� � �� ≤���bL� �� ����V+�� ���� '�'� � � W� ���' �V�� � '������������ �� ������� �V��_���V� ��� � �� ≥���bL� ��� ���� ��Z� '�' � 0���� Y\� s] L��W�8 ��� +������� �� � ��������� � ������ �������� ��8 ��U������ ���'�� �U��2 ��W�� �� L1$L � v1$L ( Y\� Zs] ����X���� U � � �����U����' ��� ��+�8 �� �� ���� γ ���^^����� X�������� ��� ����2��� � ����2�� # X . ������'� &-*% �'��2+�� � ���� ��� � �� n�s�bL � γn����Z X n���c� ��� �����U���� γ �� ����\ ���^^����� X�������� ��� ��� � �� '�8 ��� ��!� � ��� γn���Z� X n���! ( YZ�] ����X���� U � ��� �'���� ���� 0���� ���bL /4 c �����0���� � � �� ���� �������� ( � W� ���' � ��X��W���� '��������� '�W� ��� ��� 2 ���' �� '�= �����0�� � ��������_�� ��X��W�8 ��� d;e \ �� ��������� � ��� ��X��W���� d;e \ �� d;e � #�������. � ��������_� ��� �����0�� � ��X��8 W���� �� ��������� � K����0�� ̂ ��^��� �� ����8 ����� � d;e \ 0���� ������U � ��2��� � ���� �� � ��� �����0��� ��_�� ����� 0��2+� YZ�] (��� 8 ��� 2 0���������� ^��^���' � ����� �� � ���W8 ���� X��U� ��2�� '��2+�� ������2�� d;e � [ ����8 �V_���V� 0��������� �� ��V� ����+� �����0���8 � � ��������� 2� $X��� ��� U � �� ������� ��������� � ����� '�8 �������� � ��� ������ �'��2+�� � ��� ��X��� �8 ��� ������ ���� �����W��� ̂ ��^��� � ��X���� ̂ �X� YZ!] ( ��'�' ����� ����� � ��� ^��^��� ��� �� ���W���'�� ������ 0������� ��'����0��� ��'�8 U���� ���0��� ����� '������V '��������� �X8X� 0���� �V����� ���� ��� ���� ��2��� � ^��^��� �� ��������� � ���'���' YZ!] w � ������� � 0��2+�8 '� ������ �������� � ���W����� ��������� � � �'��2+���� �0_�� ������ � ���W���� 3�����8 ��� #���^^����� ��������� Z�rc YZ!]. 0��� �����8 '���� �����0����� 2� � ��0�' '�� � �������U�8 ����� ���2�^� L ������ � ����V� ������� #���^^�8 ���� ��������� 0��X�� � �������. 0��� 0V� �� ��8 ������� 2 �� ������� ��������� � � ���2�� �0��� 28 � �� ��� ����2��� � ����2�� #��� � ���� �������. &�� �'� �������� ����� � ��� ������ &-*% �� ��8 ������� � ����� �������� � �� � ����� �������8 U������ ���2�^� [ '�������� ����' �0��X�'� �����0������8���� �U���� '�8 ���2� � �U����� �� ���U� 5������ ��������V� '�8 ������� [ ̂ ��^��6� ���XV��� �� �� U � �� ��� �8 W��� ����'��'V� ������ �� � ���������� � ���W8 ���� ������ &-*% ��W�� �0����U� 2 '����'��2�� ��X'�W��� � ����2 X�������� �����0�����V� ���8 ��� '�������'� '��������� $X ���������V� �V+� ����V� ������ U � �� ���� ��� �������0��X��� ��0�8 � 2 ��� �'���� ��� ��W� ���bL� ��''����' �����8 ��� ��� ��� �� &� � �/4c n���\[���s &� #U � ��� 8 �� � ��� �����X��� X��U���� γn����Zx����� ��� *Σn�� &�. ( ���� ������ � �_� �� ��������� ������� 0���������� �����0��� '��������� '�8 ������'� ^��^���� � ���'� ���� �0����U���� � ���^��'��� X��������� �������U������ ���2�^� ������'� &-*% � ��� �W���� �V������ ����� ��8 �������� ������ #����2��� ����� ������� ��W� Z��� '�"'`�'. L �����2X������' ��X��0� ���V� ��W�'�� ���W8 ���� &-*% 0V�� ����U��V � ��� ��V ��������8 ���� � �W���U��� ���� ������ v� ��������V� X�8 ����'����� � ��� � &-*% '��� �����2X��� 2� ��8 W� ��� ��X��0� �� ��������� ���W���� �� ���� �8 ��� ���'� ��' Z�� � ��� '' ��� � ����X�� ��2�V�� �� � � ��� ����2�V� ���� ���� ����W������ ���8 ���� $L&"*Ph"(K44S) $L�"N4$-$ Z &������� ����U����� �������������� g &�� ��� R T��8 0��� [ 3 = 3��� Z�!� � ��������� L1$L � Z g &�� ��� L h� [ 3 = 3��� Z�!� c y:9;GA z ft<JD@JA>:<<;GB A;<;DtG {t@ ;G>BH@:>B| D;@D?;>A :G| |;A}<:JA [ ~t@�B<<� i�� �d�= y<?�B@ �D:|B9;D f?I<;AEB@A� Z��! \ �������U K L � K��^���� * & &����� �������� ����U��8 ���� ���'�� � ��������� ����X���� �� �� �����2�V� ���' � ���������������V� ���0���� [ 3����= 1��������� ������ ���� � i?<|B@ � � i � 7}}BG|: f � eBG|@;DA i � ztGH � 7 �G ;G|?A>@;:< kf�j� }@tDBAA {t@ ;G8A;>? fEtA}Et@?A8�t}B| }t<JA;<;DtG gg � 7<BD>@tDEB9 dtD [ Z��� [ jt< Zcs� ~ Z [ f �sc[�s� � kB:@G � � � �tA>B@ � � �B}tA;>;tG :G| B<BD>@;D:< }@t}B@>;BA t{ ;G A;>? }EtA}Et@?A8|t}B| A;<;DtG {;<9A IJ <t�8}@BAA?@B DEB9;D:< C:}t?@ |B}tA;>;tG gg � t{ �}}<;B| fEJA;DA [ Z�!s [ jt< �Z� ~ � [ f Z!�![Z��\ s kBAG;�tC: j f � z?@>ABC;DE � d � y@:AG;>A�J j � B> :< zEB A>@?D>?@B� 9t@}Et<tHJ :G| @BA;A>;C;>J t{ ;G A;>? }EtA}Et@?A }t<JA;<;DtG {;<9A gg zE;G dt<;| �;<9A [ Z��\ [ jt< �\s [ f Z��[Z�Z ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� ! z?@>ABC;DE � d � y@:AG;>A�J j � � 79B<J:GtC j � B> :< zEB B{{BD> t{ }@t|?D>;tG DtG|;>;tGA {t@ ;G A;>? }EtA}Et@?A |t}B| kf�j� }t<JA;<;DtG ;G 9tGtA;<:GBg}EtA}E;GB AJA>B9 tG >EB |B}tA;>;tG }@tDBAA �;GB>;DA gg zE;G dt<;| �;<9A [ Z��\ [ jt< �\! [ f �![cZ � �:@@t� � � � zEB �;GB>;DA t{ A;<;DtG |B}tA;>;tG tG A;<;DtG IJ }J@t<JA;A t{ A;<:GB gg � 7<BD>@tDEB9 dtD [ Z�s\ [ jt< Z�Z� ~ s [ f !��[��s Z� e;>DE9:G i k � �E9B| � dt9B @BDBG> >@BG|A ;G >EB }@B}:8 @:>;tG t{ >E;G <:JB@A IJ <t� }@BAA?@B DEB9;D:< C:}t?@ |B}tA;>;tG gg j:D??9 [ Z�!\ [ jt< c\� ~ Z�8ZZ [ f �s�[�!� ZZ /�0�� � 3 � 3���� N T�'� ��������� � ��X���� '� ��� r ��X [ 3 = 3��� Z�!Z Z� -�0�� ( R � v+����� u ( K����0������8���� �U���� '����2 �������� ���W���� ������ �������� ����U������ ���'8 �� � ���� ��� ����W������ ������� gg &�������� 2 [ Z�!� [ � ! [ � !s[�c Zc �������U K L � /�'�� 4 ( � 4�������� " u � 3�������U $ $ -��� ��� ��� � ������ �������� ����U������ ���'�� � ��8 ��U���V� ������X�' ������ ����������� '��������� ��� ��8 ��W����' �������� gg w��� ����� ������ L�� s [ Z��c [ (V� \8� [ � c�[c� Z\ L���� 3 L 3�����X' ������X� '��������� ��� ����8 W����' �������� gg $X��� � K4 LLL/ ��� 4�������U����� '� �����V [ Z�!� [ � Z!� � s [ � Z�ss[Z�!� Z� 7CB@A>BJG � � � f?> � e �G{<?BGDB t{ �Ae c � fe c :G| � � e � tG >EB H@t�>E @:>B :G| @BA;>;C;>J t{ }t<JD@JA>:<<;GB A;<;DtG {;<9A |B}tA;>B| {@t9 : d;e\8e� 9;�>?@B gg � 7<BD>@tDEB9 dtD [ Z�sc [ jt< Z��� ~ Z [ f Z��[ZZ� Z� �? i k � iBJB@AtG i d � �|At@}>;tG t{ fe c tG d;#Z��. :G| ;>A B{{BD>A tG >EB Dt:|At@}>;tG t{ d;e \ gg � j:D dD; :G| zBDEGt<tHJ [ Z�!� [ �� [ ~ � [ f \\s[\\� Zs �������U K L � R���2�� ( $ � 4�������� " u -��^��8 '��� 2 �������X������ �������U������ ���2�^� ��������� � �� �����2�V� ���' ��� ���W����� �������� ����U������ ���'8 �� � ������������� � �������� ��� � ^��^���' � 0���' gg w���8 ����� ������ L�� s [ Z��c [ � \8� [ � ��[�s Z! �@;A e � �:?AA:> � � �t> � B> :< kf�j� A;<;DtG8I:AB| {;<9 {t@9:>;tG ;G A?I9;D@t9B>B@ >@BGDEBA ;G ;G|?A>@;:< B�?;}9BG>= B�}B8 @;9BG>A :G| A;9?<:>;tG gg �EB9 j:} �B}tA;>;tG [ ���� [ jt< !� ~ � [ f �Zc[�Z� ���� � ��� � � � � � � � � �������� �� �� �� �� �� ��� � � �� ����� ��� � � � ��� ���� ��� ��� ����� ������������������ ��� �� ��!��!�" � !�#�$�"������%&'& ��(%)�� ��������� ��� �� ���������������� ���� ���������������������� ����� �� ����� �������� ����������������� ����� ����� ������� ��������������� ��� � ����������� ���������������� ����� ��� ������ ����� ������������������ � ����� !�"���#� ����������������� �������������� $ ��� � ������ �����%� ���� ����� ����������� ������� �������������� ����� �������� ������ ������ �� %��$ ��������������������������������� �������� �� ��� ������ ��������� ��� ���� ����� ������ �������� ���$ #� ��� ����� ����� ����������� ���� ������ ��� ������$ ������� ������� ���� �������������� � ����������� %��$ ������� ������ ���� ������ ����������� � !��������$ �� ��������������������� ��� ������� ������� ��� �� ����� ���� ������ ����������������� � �������� ��� �$ ������������ ������� ������ � ��#� �����&���������$ �� ���� �������� ��� ����� ��������� ������� ������$ ��� ���#� �������� ������������� ������������ ����� �����#������ ����������������������� ����� ��!�'��$ � ��������� ������ ����� ������ ���������� ���� ��� ��� ����� ���$ �� ��� �������� ���� ����%��� �� � ���� ������������ ������� ��$ �� ������������ ��� ���������� ����������� ������������� ����������������� ()*� ��+,*-!�'����� �� ���� ��� �� �������� ���� �� �� � ��� � ������ � � ��������������������� ������ ��������� ������������� ������ �� � ��������� � ! .������������� ���� ����������� ��������� � �� ������ �������� ������� ����������������� �%������� ������������ �� ���� ��������� �����/�$ 0/1/2�������� ��� ������������ �����/�3"245�� ��������������� �������$ ������� ���������� ����� �� ������� ��������������� ��������� ������� �$ ������� �� ��������� ������ �� ��� �� � ������� ����� ��!� ��������� ����� � ���� � ������������������ ����� ������������������ � ���#����$ �����# � � ���#��� &�������������� �� �����!�'��������� � �� ������� �� � ��������� � ���������������������� ������ �� ������ ����������� ��� '61"7! 8���� ���������������������������� ����� ����� ����������������������� ���$ ����� ����� �����#��������� ���������� ����������������#������ �� ���������$ ������� �������������������������!�9����� ���� ������� �������� ��� ���!