Buchumschlag

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста

Определена область оптимальных соотношений потоков PH₃/SiH₄ и температуры осаждения, обеспечивающих приемлемую скорость и однородность осаждения, высокий уровень легирования и конформное заполнение топологического рельефа пленками ПКЛФ....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Наливайко, О.Ю., Турцевич, А.С.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Schlagworte:	Материалы электроники
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52332
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста / О.Ю. Наливайко, А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 50-55. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Смынтына, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
von: Джавадов, Н.Г.
Veröffentlicht: (2005)

Способ электродугового восстановления кремния
von: Соловьев, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Получение и свойства пористого карбида кремния
von: Светличная, Л.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
von: Жавжаров, Е.Л., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Отжиг радиационных дефектов в сплавах Н36, легированных фосфором и титаном
von: Данилов, С.Е., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Физические свойства и зонная структура кристаллов (3HgTe)1-x(Al₂Te₃)x, легированных марганцем
von: Марьянчук, П.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Разработка процесса электрохимического осаждения никель-алмазного покрытия с модифицированными фосфором ДНА
von: Долматов, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Яцунский, И.Р.
Veröffentlicht: (2013)

Размерно-геометрические параметры моделей микроструктуры толстых резистивных пленок
von: Стерхова, А.В.
Veröffentlicht: (2002)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
von: Алиева, Х.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Кулинич, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Фотохромная чувствительность модифицированных пленок бактериородопсина для устройств молекулярной электроники
von: Адамов, Г.Е., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок
von: Ротнер, С.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
von: Храмов, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Попов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oy
von: Самойлович, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок
von: Стерхова, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Алиева, Х.С.
Veröffentlicht: (2012)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
von: Катеринчук, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO₂—Nd₂O₃
von: Казаков, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
von: Гладковский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Контактное взаимодействие и смачивание поликристаллического кремния металлическими расплавами
von: Красовский, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
von: Агаев, Ф.Г.
Veröffentlicht: (2001)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
von: Семенов, A.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
von: Искендер-заде, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
von: Завадский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Ivanchykou, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Молекулярная модель и химическая связь теллура
von: Ащеулов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Применение метода лазерной интерферометрии для определения скорости роста тонких пленок CdSe в процессе электролиза
von: Васько, А.Т., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Деградационные превращения в топологически разупорядоченных твердых телах: 2. Мономолекулярная модель кинетики
von: Балицкая, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)