Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов - Турцевич, А.С. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Исследовано влияние условий осаждения на структуру и электрофизические свойства пленок поликристаллического кремния, легированного кислородом. Результаты использованы при изготовлении изделий силовой электроники.