Cover Image

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов

Исследовано влияние условий осаждения на структуру и электрофизические свойства пленок поликристаллического кремния, легированного кислородом. Результаты использованы при изготовлении изделий силовой электроники....

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2008
Main Author:	Турцевич, А.С.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Subjects:	Технологические процессы и оборудование
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52391
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов / А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 35-41. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
by: Turtsevich, A. S.
Published: (2008)

Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p—i—n-структур методом ЖФЭ
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
by: Наливайко, О.Ю., et al.
Published: (2012)

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅
by: Александров, С.Б., et al.
Published: (2011)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
by: Голишников, А.А., et al.
Published: (2014)

Монтаж микросборок с подложкой из кремния
by: Спирин, В.Г.
Published: (2005)

Технология изготовления контактов к карбиду кремния
by: Кудрик, Я.Я., et al.
Published: (2013)

Получение активных слоев InP в составе гетероструктур для диодов Ганна
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2010)

Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
by: Крапивко, Г.И.
Published: (2005)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
by: Наливайко, О.Ю., et al.
Published: (2012)

Получение высокочистых гранулированных металлов: кадмия, цинка, свинца
by: Щербань, А.П., et al.
Published: (2017)

Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии
by: Коваленко, Л.Ф., et al.
Published: (2008)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
by: Иванчиков, А.Э., et al.
Published: (2008)

Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния
by: Спирин, В.Г.
Published: (2005)

Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А⁴В⁶
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
by: Венгер, Е.Ф., et al.
Published: (2014)

Получение соединений повышенной плотности термозвуковой микросваркой в 3D интегральных микросхемах
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2014)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
by: Пилипенко, В.А., et al.
Published: (2013)

Исследование качества пайки кристаллов мощных транзисторов релаксационным импеданс-спектрометром
by: Турцевич, А.С., et al.
Published: (2012)

Измерительно-вычислительный комплекс СМ-100 для характеризации жидкокристаллических дисплеев
by: Сорокин, В.М., et al.
Published: (2008)

Подключающее МЭМС-устройство для контроля BGA-компонентов
by: Невлюдов, И.Ш., et al.
Published: (2012)

Установка для экспресс-контроля глубины охлаждения термоэлектрических микромодулей Пельтье
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2007)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
by: Борисенко, А.Г.
Published: (2013)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2011)

Установка для регенерации сорбентов в электромагнитном поле
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)

Высокочувствительная установка для оценки изменения показателя преломления водных растворов
by: Подкамень, Л.И., et al.
Published: (2011)

Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
by: Митягин, А.Ю., et al.
Published: (2009)

Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
by: Федорович, О.А., et al.
Published: (2009)

Информационные параметры для реализации адаптивной зарядки вторичных химических источников тока
by: Житник, Н.Е., et al.
Published: (2008)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)

Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
by: Ануфриев, Л.П., et al.
Published: (2005)

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
by: Босый, В.И., et al.
Published: (2008)

Источник питания для контактной микросварки с программируемой формой сварочного импульса
by: Паэранд, Ю.Э., et al.
Published: (2006)

Фрезеровально-гравировальные плоттеры для изготовления печатных плат
by: Кудрявцев, Е.М.
Published: (2005)

Макет экспериментальной установки для исследования пространственно-временного интегрирования в акустооптической среде
by: Рудякова, А.Н., et al.
Published: (2008)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
by: Джангидзе, Л.Б., et al.
Published: (2009)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2008)