APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Иванчиков, А., Кисель, А., Медведева, А., & Плебанович, В. (2008). Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Иванчиков, А.Э, А.М Кисель, А.Б Медведева, und В.И Плебанович. Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.

MLA-Zitierstil (8. Ausg.)

Иванчиков, А.Э, et al. Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.