APA (7th ed.) Citation

Иванчиков, А., Кисель, А., Медведева, А., & Плебанович, В. (2008). Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Иванчиков, А.Э, А.М Кисель, А.Б Медведева, and В.И Плебанович. Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.

MLA (8th ed.) Citation

Иванчиков, А.Э, et al. Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.