Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52392 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862652541732388864 |
|---|---|
| author | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| author_facet | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
| citation_txt | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов.
|
| first_indexed | 2025-12-01T21:09:02Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52392 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T21:09:02Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. 2013-12-30T23:11:32Z 2013-12-30T23:11:32Z 2008 Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52392 Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния Методи видалення дефектів, що виникають при рідинному травленні поверхні полікристалічного кремнію Methods of removal of defects arising at liquid etching of polycrystalline silicon Article published earlier |
| spellingShingle | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния Иванчиков, А.Э. Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Технологические процессы и оборудование |
| title | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_alt | Методи видалення дефектів, що виникають при рідинному травленні поверхні полікристалічного кремнію Methods of removal of defects arising at liquid etching of polycrystalline silicon |
| title_full | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_fullStr | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_full_unstemmed | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_short | Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| title_sort | методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52392 |
| work_keys_str_mv | AT ivančikovaé metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT kiselʹam metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT medvedevaab metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT plebanovičvi metodyudaleniâdefektovvoznikaûŝihprižidkostnomtravleniipoverhnostipolikristalličeskogokremniâ AT ivančikovaé metodividalennâdefektívŝovinikaûtʹprirídinnomutravlennípoverhnípolíkristalíčnogokremníû AT kiselʹam metodividalennâdefektívŝovinikaûtʹprirídinnomutravlennípoverhnípolíkristalíčnogokremníû AT medvedevaab metodividalennâdefektívŝovinikaûtʹprirídinnomutravlennípoverhnípolíkristalíčnogokremníû AT plebanovičvi metodividalennâdefektívŝovinikaûtʹprirídinnomutravlennípoverhnípolíkristalíčnogokremníû AT ivančikovaé methodsofremovalofdefectsarisingatliquidetchingofpolycrystallinesilicon AT kiselʹam methodsofremovalofdefectsarisingatliquidetchingofpolycrystallinesilicon AT medvedevaab methodsofremovalofdefectsarisingatliquidetchingofpolycrystallinesilicon AT plebanovičvi methodsofremovalofdefectsarisingatliquidetchingofpolycrystallinesilicon |