Шангереева, Б. (2008). Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationШангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.
MLA (8th ed.) CitationШангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.