Шангереева, Б. (2008). Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationШангереева, Б.А. "Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2008.
MLA (8th ed.) CitationШангереева, Б.А. "Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.