Шангереева, Б. (2008). Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Шангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Шангереева, Б.А. Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2008.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.