Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем
Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52394 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862588972724649984 |
|---|---|
| author | Шангереева, Б.А. |
| author_facet | Шангереева, Б.А. |
| citation_txt | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками.
|
| first_indexed | 2025-11-27T02:03:07Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52394 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T02:03:07Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Шангереева, Б.А. 2013-12-30T23:17:00Z 2013-12-30T23:17:00Z 2008 Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем / Б.А. Шангереева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 54-56. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52394 Полученные оптимальные технологические режимы процесса диффузии фосфора с применением твердого планарного источника позволяют получать транзисторы с улучшенными электрофизическими характеристиками. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем Дифузія фосфору з використанням твердого планарного джерела у виробництві інтегральних схем Phosphorus diffusion with the help of the solid planar source in the manufacturing of the integrated circuit Article published earlier |
| spellingShingle | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем Шангереева, Б.А. Технологические процессы и оборудование |
| title | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_alt | Дифузія фосфору з використанням твердого планарного джерела у виробництві інтегральних схем Phosphorus diffusion with the help of the solid planar source in the manufacturing of the integrated circuit |
| title_full | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_fullStr | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_full_unstemmed | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_short | Диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| title_sort | диффузия фосфора с применением твердого планарного источника в производстве интегральных схем |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52394 |
| work_keys_str_mv | AT šangereevaba diffuziâfosforasprimeneniemtverdogoplanarnogoistočnikavproizvodstveintegralʹnyhshem AT šangereevaba difuzíâfosforuzvikoristannâmtverdogoplanarnogodžerelauvirobnictvííntegralʹnihshem AT šangereevaba phosphorusdiffusionwiththehelpofthesolidplanarsourceinthemanufacturingoftheintegratedcircuit |